Научно-производственная компания "АВАКС" | Вакуумное оборудование, напыление покрытий | Вакуумная арматура | Гермовводы и манипуляторы для передачи движения в вакуумные системы | Вводы вращения с магнитной связью ("магнитные")

Вводы вращения с магнитной связью ("магнитные") используются в высоковакуумных и свервысоковакуумных системах и имеют присоединительные фланцы CF (conflat). И корпус гермоввода, и вал выполнены из нержавеющей стали. Вал ввода вращения не имеет непосредственной механической связи с приводом, находящимся с атмосферной стороны. Следовательно, наличие утечек в вакуумную камеру через такой гермоввод исключено. Для передачи вращения используется сильный магнит, перемещающий магнитный сердечник, жестко закрепленный на валу гермоввода. Магнит находится с атмосферной стороны, а вал с подшипниками (с сухой смазкой) и сердечник находятся внутри герметичного корпуса гермоввода (в вакууме). Как правило, такие гермовводы способны передавать меньшие усилия, чем другие типы гермовводов, причем при превышении максимального усилия магнитная связь нарушается (рукоятка с магнитом "проскальзывает"). Диапазон рабочих давлений от 1×10^-10 мбар до избыточного давления 500 мбар.
Присоединительные фланцы гермовводов - CF16, CF40. Исполнение: с ручным или электроприводом (шаговый двигатель).

1. Вводы вращения с магнитной связью с ручным приводом

Гермоввод	A, мм	B, мм	ØC, мм	ØD, мм
RFT-M-CF16-H-PV6	50	93	6	40
RFT-M-CF40-H-PV6	100	150	10	80

• ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Параметр	RFT-M-CF16-H-PV6	RFT-M-CF40-H-PV10
• Присоединительный фланец гермоввода	CF16	CF40
• Угол вращения град	360	360
• Диаметр вала, мм	6	10
• Максимальная нагрузка на вал (аксиальная), Н	75	200
• Максимальная нагрузка, перпендикулярная оси вала (на конце вала), Н	80	200
• Максимальный момент, Н × м	0,6	8
• Присоединение к валу	М3х6 (вент.)	М5х10 (вент.)
• Максимальная температура прогрева, °С	200	200
• Материал корпуса	нерж.сталь	нерж.сталь
• Материал штока	нерж.сталь	нерж.сталь
• Рабочее положение	любое	любое
• Рабочая температура, °С	-15 ÷ 80	-15 ÷ 80
• Диапазон давлений, мбар	500 (изб.) - 1×10^-10	500 (изб.) - 1×10^-10
• Тип гермоввода	с магнитной связью
• Привод	микрометрическая рукоятка (1/10°)
• Герметичность, мбар × л/с	1 × 10^-11	1 × 10^-11

2. Вводы вращения с магнитной связью с шаговым двигателем

*2.1 Ввод вращения с шаговым двигателем (макс: 3 Н м, 500 об/мин) RFT-M-CF40-SM-PV10*

*2.2 Прецизионный ввод вращения с шаговым двигателем (1000 шагов/оборот; макс: 8 Н м, 30 об/мин) RFT-M-CF40-SMH-PV10*

Гермоввод	A, мм	B, мм	ØC, мм	Разрешение, град
RFT-M-CF40-SM-PV10	100	299	10	0,45
RFT-M-CF40-SMH-PV10	100	302	10	0,0036

• ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Параметр	RFT-M-CF16-SM-PV10	RFT-M-CF40-SMH-PV10
• Присоединительный фланец гермоввода	CF40	CF40
• Угол вращения град	360	360
• Диаметр вала, мм	10	10
• Максимальная нагрузка на вал (аксиальная), Н	200	200
• Максимальная нагрузка, перпендикулярная оси вала (на конце вала), Н	200	200
• Максимальный момент, Н × м	3	8
• Присоединение к валу	М5х10 (вент.)	М5х10 (вент.)
• Макс. температура прогрева c электроникой/без электроники, °С	80/200	80/200
• Материал корпуса	нерж.сталь	нерж.сталь
• Материал штока	нерж.сталь	нерж.сталь
• Рабочее положение	любое	любое
• Рабочая температура, °С	-10 ÷ 50	-10 ÷ 50
• Диапазон давлений, мбар	500 (изб.) - 1×10^-10	500 (изб.) - 1×10^-10
• Тип гермоввода	с магнитной связью
• Герметичность, мбар × л/с	1 × 10^-11	1 × 10^-11
• Привод	шаговый двигатель
• Шаговый двигатель	2ф	1000 шагов/оборот
• Максимальная скорость вращения, об/мин	500	30
• Разрешение, град	0,45	0,0036
• Драйвер и контроллер	нет	да
• Максимальный потребляемый ток, А	4,2 (на фазу)	2,7 (контроллера)
• Вес, кг	4,8	5