|
ООО "АВАКС"
Научно-производственная фирма
ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ •
КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
|
|
|
|
|
Консультации on-line:
|
|
|
|
|
| Главная > Вакуумная арматура > Гермовводы и манипуляторы для передачи движения в вакуумные системы > Вводы вращения с магнитной связью ("магнитные") > |
Вводы вращения с магнитной связью ("магнитные")
|
|
• НАЗНАЧЕНИЕ И ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ
|
Вводы вращения с магнитной связью ("магнитные") используются в высоковакуумных и свервысоковакуумных системах и имеют присоединительные фланцы CF (conflat). И корпус гермоввода, и вал выполнены из нержавеющей стали. Вал ввода вращения не имеет непосредственной механической связи с приводом, находящимся с атмосферной стороны. Следовательно, наличие утечек в вакуумную камеру через такой гермоввод исключено. Для передачи вращения используется сильный магнит, перемещающий магнитный сердечник, жестко закрепленный на валу гермоввода. Магнит находится с атмосферной стороны, а вал с подшипниками (с сухой смазкой) и сердечник находятся внутри герметичного корпуса гермоввода (в вакууме). Как правило, такие гермовводы способны передавать меньшие усилия, чем другие типы гермовводов, причем при превышении максимального усилия магнитная связь нарушается (рукоятка с магнитом "проскальзывает"). Диапазон рабочих давлений от 1×10-10 мбар до избыточного давления 500 мбар.
Присоединительные фланцы гермовводов - CF16, CF40. Исполнение: с ручным или электроприводом (шаговый двигатель).
|
1. Вводы вращения с магнитной связью с ручным приводом
| Гермоввод |
A, мм |
B, мм |
ØC, мм |
ØD, мм |
| RFT-M-CF16-H-PV6 |
50 |
93 |
6 |
40 |
| RFT-M-CF40-H-PV6 |
100 |
150 |
10 |
80 |
|
|
• ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
| Параметр |
RFT-M-CF16-H-PV6 |
RFT-M-CF40-H-PV10 |
| • Присоединительный фланец гермоввода |
CF16 |
CF40 |
| • Угол вращения град |
360 |
360 |
| • Диаметр вала, мм |
6 |
10 |
| • Максимальная нагрузка на вал (аксиальная), Н |
75 |
200 |
| • Максимальная нагрузка, перпендикулярная оси вала (на конце вала), Н |
80 |
200 |
| • Максимальный момент, Н × м |
0,6 |
8 |
| • Присоединение к валу |
М3х6 (вент.) |
М5х10 (вент.) |
| • Максимальная температура прогрева, °С |
200 |
200 |
| • Материал корпуса |
нерж.сталь |
нерж.сталь |
| • Материал штока |
нерж.сталь |
нерж.сталь |
| • Рабочее положение |
любое |
любое |
| • Рабочая температура, °С |
-15 ÷ 80 |
-15 ÷ 80 |
| • Диапазон давлений, мбар |
500 (изб.) - 1×10-10 |
500 (изб.) - 1×10-10 |
| • Тип гермоввода |
с магнитной связью |
| • Привод |
микрометрическая рукоятка (1/10°) |
| • Герметичность, мбар × л/с |
1 × 10-11 |
1 × 10-11 |
|
|
2. Вводы вращения с магнитной связью с шаговым двигателем
| 2.1 Ввод вращения с шаговым двигателем (макс: 3 Н м, 500 об/мин) RFT-M-CF40-SM-PV10 |
 |
 |
2.2 Прецизионный ввод вращения с шаговым двигателем (1000 шагов/оборот; макс: 8 Н м, 30 об/мин) RFT-M-CF40-SMH-PV10 |
 |
 |
| Гермоввод |
A, мм |
B, мм |
ØC, мм |
Разрешение, град |
| RFT-M-CF40-SM-PV10 |
100 |
299 |
10 |
0,45 |
| RFT-M-CF40-SMH-PV10 |
100 |
302 |
10 |
0,0036 |
|
|
• ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
| Параметр |
RFT-M-CF16-SM-PV10 |
RFT-M-CF40-SMH-PV10 |
| • Присоединительный фланец гермоввода |
CF40 |
CF40 |
| • Угол вращения град |
360 |
360 |
| • Диаметр вала, мм |
10 |
10 |
| • Максимальная нагрузка на вал (аксиальная), Н |
200 |
200 |
| • Максимальная нагрузка, перпендикулярная оси вала (на конце вала), Н |
200 |
200 |
| • Максимальный момент, Н × м |
3 |
8 |
| • Присоединение к валу |
М5х10 (вент.) |
М5х10 (вент.) |
| • Макс. температура прогрева c электроникой/без электроники, °С |
80/200 |
80/200 |
| • Материал корпуса |
нерж.сталь |
нерж.сталь |
| • Материал штока |
нерж.сталь |
нерж.сталь |
| • Рабочее положение |
любое |
любое |
| • Рабочая температура, °С |
-10 ÷ 50 |
-10 ÷ 50 |
| • Диапазон давлений, мбар |
500 (изб.) - 1×10-10 |
500 (изб.) - 1×10-10 |
| • Тип гермоввода |
с магнитной связью |
| • Герметичность, мбар × л/с |
1 × 10-11 |
1 × 10-11 |
| • Привод |
шаговый двигатель |
| • Шаговый двигатель |
2ф |
1000 шагов/оборот |
| • Максимальная скорость вращения, об/мин |
500 |
30 |
| • Разрешение, град |
0,45 |
0,0036 |
| • Драйвер и контроллер |
нет |
да |
| • Максимальный потребляемый ток, А |
4,2 (на фазу) |
2,7 (контроллера) |
| • Вес, кг |
4,8 |
5 |
|
|
|
|
|
|
давления
