Общие сведения
Вводы вращения с магнитной связью ("магнитные") используются в высоковакуумных и свервысоковакуумных системах и имеют присоединительные фланцы CF (conflat). И корпус гермоввода, и вал выполнены из нержавеющей стали. Вал ввода вращения не имеет непосредственной механической связи с приводом, находящимся с атмосферной стороны. Следовательно, наличие утечек в вакуумную камеру через такой гермоввод исключено. Для передачи вращения используется сильный магнит, перемещающий магнитный сердечник, жестко закрепленный на валу гермоввода. Магнит находится с атмосферной стороны, а вал с подшипниками (с сухой смазкой) и сердечник находятся внутри герметичного корпуса гермоввода (в вакууме). Как правило, такие гермовводы способны передавать меньшие усилия, чем другие типы гермовводов, причем при превышении максимального усилия магнитная связь нарушается (рукоятка с магнитом "проскальзывает"). Диапазон рабочих давлений от 1×10-10 мбар до избыточного давления 500 мбар.
Присоединительные фланцы гермовводов - CF16, CF40. Исполнение: с ручным или электроприводом (шаговый двигатель).
1. Вводы вращения с магнитной связью с ручным приводом
| Гермоввод
| A, мм |
B, мм |
ØC, мм |
ØD, мм |
| RFT-M-CF16-H-PV6 |
50 |
93 |
6 |
40 |
| RFT-M-CF40-H-PV10 |
100 |
150 |
10 |
80 |
Основные технические характеристики
| Параметр |
Ед.изм. |
RFT-M-CF16-H-PV6 |
RFT-M-CF40-H-PV10 |
| Присоединительный фланец гермоввода |
– |
CF16 |
CF40 |
| Угол вращения |
° (градусы) |
360 |
360 |
| Диаметр вала |
мм |
6 |
10 |
| Максимальная нагрузка на вал (аксиальная) |
Н |
75 |
200 |
Максимальная нагрузка, перпендикулярная оси вала
(на конце вала) |
Н |
80 |
200 |
| Максимальный момент |
Н × м |
0,6 |
8 |
| Присоединение к валу |
– |
М3х6 (вент.) |
М5х10 (вент.) |
| Максимальная температура прогрева |
°С |
200 |
200 |
| Материал корпуса |
– |
нерж.сталь |
нерж.сталь |
| Материал штока |
– |
нерж.сталь |
нерж.сталь |
| Рабочее положение |
– |
любое |
любое |
| Рабочая температура |
°С |
-15 ÷ 80 |
-15 ÷ 80 |
| Диапазон давлений |
мбар |
500 (изб.) - 1×10-10 |
500 (изб.) - 1×10-10 |
| Тип гермоввода |
– |
с магнитной связью |
| Привод |
– |
микрометрическая рукоятка (1/10°) |
| Герметичность |
мбар × л/с |
1 × 10-11 |
1 × 10-11 |
2. Вводы вращения с магнитной связью с шаговым двигателем
| 2.1 Ввод вращения с шаговым двигателем (макс: 3 Н м, 500 об/мин) RFT-M-CF40-SM-PV10 |
 |
 |
2.2 Прецизионный ввод вращения с шаговым двигателем (1000 шагов/оборот; макс: 8 Н м, 30 об/мин) RFT-M-CF40-SMH-PV10 |
 |
 |
| Гермоввод
| A, мм |
B, мм |
ØC, мм |
Разрешение, град |
| RFT-M-CF40-SM-PV10 |
100 |
299 |
10 |
0.45 |
| RFT-M-CF40-SMH-PV10 |
100 |
302 |
10 |
0.0036 |
Основные технические характеристики
| Параметр |
Ед.изм. |
RFT-M-CF16-SM-PV10 |
RFT-M-CF40-SMH-PV10 |
| Присоединительный фланец гермоввода |
– |
CF40 |
CF40 |
| Угол вращения |
° (градусы) |
360 |
360 |
| Диаметр вала |
мм |
10 |
10 |
| Максимальная нагрузка на вал (аксиальная) |
Н |
200 |
200 |
Максимальная нагрузка, перпендикулярная оси вала
(на конце вала) |
Н |
200 |
200 |
| Максимальный момент |
Н × м |
3 |
8 |
| Присоединение к валу |
– |
М5х10 (вент.) |
М5х10 (вент.) |
Максимальная температура прогрева
c электроникой/без электроники |
°С |
80/200 |
80/200 |
| Материал корпуса |
– |
нерж.сталь |
нерж.сталь |
| Материал штока |
– |
нерж.сталь |
нерж.сталь |
| Рабочее положение |
– |
любое |
любое |
| Рабочая температура |
°С |
-10 ÷ 50 |
-10 ÷ 50 |
| Диапазон давлений |
мбар |
500 (изб.) - 1×10-10 |
500 (изб.) - 1×10-10 |
| Тип гермоввода |
– |
с магнитной связью |
| Герметичность |
мбар × л/с |
1 × 10-11 |
1 × 10-11 |
| Привод |
– |
шаговый двигатель |
| Шаговый двигатель |
– |
2ф |
1000 шагов/оборот |
| Максимальная скорость вращения |
об/мин |
500 |
30 |
| Разрешение |
° (градусы) |
0,45 |
0,0036 |
| Драйвер и контроллер |
– |
нет |
да |
| Максимальный потребляемый ток |
А |
4,2 (на фазу) |
2,7 (контроллера) |
| Вес |
кг |
4,8 |
5 |
|
давления
