Семейство АВ5100 магнетронов постоянного тока

Семейство устройств магнетронного распыления АВ5110 имеет унифицированный корпус диаметром 120 мм и включает в себя магнетроны постоянного тока для работы с с мишенями непосредственного и (или) косвенного охлаждения:

• АВ5100 магнетрон постоянного тока для работы с мишенями косвенного охлаждения;
• АВ5101 магнетрон постоянного тока для работы с мишенями непосредственного охлаждения
• АВ5102 магнетрон постоянного тока для работы с мишенями косвенного и непосредственного охлаждения

• Назначение: распыление проводящих мишеней
• Тип: магнетрон постоянного тока
• Габаритные размеры корпуса магнетрона: Ø120 х 25 мм
• Габаритные размеры магнетрона в сборе с экраном и анодом: Ø126 х 50 мм
• Способ монтажа в вакууммной камере: на одной стойке
• Kоличество вводов охлаждения: 2 шт.
• Способ монтажа вводов охлаждения: с использованием фланцев семейства АВ3710 или посредством иного вакууммно плотного соединения
• Внешний диаметр вводов охлаждения: Ø6 + 0.1 мм
• Тип магнитной системы: постоянные магниты
• Диаметр магнитной системы: Ø93 мм
• Охлаждение мишени: непосредственное или косвенное
• Диаметр мишени непосредственного охлаждения: Ø98 мм
• Диаметр мишени косвенного охлаждения: Ø93 мм
• Максимальная толщина мишени непосредственного охлаждения: 10 мм
• Максимальная толщина мишени косвенного охлаждения: 5 мм
• Рабочее напряжение: 300 – 400 В
• Рабочий ток: до 3 А
• Напряжение поджига: 700-1000 В
• Основной конструкционный материал: нерж. сталь 12Х18Н10Т

Вводы охлаждения магнетронов наружным диаметром 6 мм выполнены гибкими трубками из нержавеющей стали, что позволяет легко располагать и монтировать магнетроны в любом удобном месте вакуумной камеры.

Устройства магнетронного распыления могут быть укомплектованы фланцами, обеспечивающими подачу и слив охлаждающей жидкости, в том числе фланцами, выполненными по техническому заданию заказчика. Минимальный размер монтажного отверстия в вакуумной камере для размещения фланца, обеспечивающего подвод обеих трубок охлаждения, составляет 17 мм.

• Фланцы системы охлаждения магнетронов
• Системы магнетронного распыления "под ключ"

Техническое описание и инструкция по эксплуатации устройств магнетронного распыления серий АВ5100 / АВ5200 (605 Kb)