ООО "АВАКС"
    Научно-производственная фирма

    ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ












    Консультации on-line:
    ICQ: 281785897
    Skype: AVACUUM

    E-mail: info@avacuum.ru
    Web: https://www.avacuum.ru

    Тел: +7 (812) 702-82-28
    +7 (812) 372-55-45
    Факс: +7 (812) 372-55-45

    Главная > Компоненты установок > Магнетроны > Семейство АВ5100 магнетронов постоянного тока >

    Семейство АВ5100 магнетронов постоянного тока


    • Любое расположение в вакууммной камере
    • Компактные размеры
    • Монтажное отверстие для вводов охлаждения диаметром от 17 мм
    • Использование мишеней прямого и косвенного охлаждения
    • Возможность распыления магнитных материалов
    • Широкий диапазон давлений рабочего газа
    • Широкий диапазон скорости распыления
    • Простота монтажа в серийное отечественное оборудование для нанесения покрытий, в том числе в установки типа УВН, УРМ и другие

    Техническое описание и инструкция по эксплуатации устройств магнетронного распыления серий АВ5100 / АВ5200 (605 Kb)




    • ВАРИАНТЫ ИСПОЛНЕНИЯ СЕМЕЙСТВА АВ5100:

    Семейство устройств магнетронного распыления АВ5110 имеет унифицированный корпус диаметром 120 мм и включает в себя магнетроны постоянного тока для работы с с мишенями непосредственного и (или) косвенного охлаждения:

    • АВ5100 магнетрон постоянного тока для работы с мишенями косвенного охлаждения;
    • АВ5101 магнетрон постоянного тока для работы с мишенями непосредственного охлаждения
    • АВ5102 магнетрон постоянного тока для работы с мишенями косвенного и непосредственного охлаждения


    • ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ МАГНЕТРОНОВ СЕМЕЙСТВА АВ5100:
    • Назначение: распыление проводящих мишеней
    • Тип: магнетрон постоянного тока
    • Габаритные размеры корпуса магнетрона: Ø120 х 25 мм
    • Габаритные размеры магнетрона в сборе с экраном и анодом: Ø126 х 50 мм
    • Способ монтажа в вакууммной камере: на одной стойке
    • Kоличество вводов охлаждения: 2 шт.
    • Способ монтажа вводов охлаждения: с использованием фланцев семейства АВ3710 или посредством иного вакууммно плотного соединения
    • Внешний диаметр вводов охлаждения: Ø6 + 0.1 мм
    • Тип магнитной системы: постоянные магниты
    • Диаметр магнитной системы: Ø93 мм
    • Охлаждение мишени: непосредственное или косвенное
    • Диаметр мишени непосредственного охлаждения: Ø98 мм
    • Диаметр мишени косвенного охлаждения: Ø93 мм
    • Максимальная толщина мишени непосредственного охлаждения: 10 мм
    • Максимальная толщина мишени косвенного охлаждения: 5 мм
    • Рабочее напряжение: 300 – 400 В
    • Рабочий ток: до 3 А
    • Напряжение поджига: 700-1000 В
    • Основной конструкционный материал: нерж. сталь 12Х18Н10Т

    Вводы охлаждения магнетронов наружным диаметром 6 мм выполнены гибкими трубками из нержавеющей стали, что позволяет легко располагать и монтировать магнетроны в любом удобном месте вакуумной камеры.

    Устройства магнетронного распыления могут быть укомплектованы фланцами, обеспечивающими подачу и слив охлаждающей жидкости, в том числе фланцами, выполненными по техническому заданию заказчика. Минимальный размер монтажного отверстия в вакуумной камере для размещения фланца, обеспечивающего подвод обеих трубок охлаждения, составляет 17 мм.




    Техническое описание и инструкция по эксплуатации устройств магнетронного распыления серий АВ5100 / АВ5200 (605 Kb)