• ВАРИАНТЫ ИСПОЛНЕНИЯ СЕМЕЙСТВА АВ5100:
Семейство устройств магнетронного распыления АВ5110 имеет унифицированный корпус диаметром 120 мм и включает в себя магнетроны постоянного тока для работы с с мишенями непосредственного и (или) косвенного охлаждения:
- АВ5100 магнетрон постоянного тока для работы с мишенями косвенного охлаждения;
- АВ5101 магнетрон постоянного тока для работы с мишенями непосредственного охлаждения
- АВ5102 магнетрон постоянного тока для работы с мишенями косвенного и непосредственного охлаждения
• ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ МАГНЕТРОНОВ СЕМЕЙСТВА АВ5100:
- Назначение: распыление проводящих мишеней
- Тип: магнетрон постоянного тока
- Габаритные размеры корпуса магнетрона: Ø120 х 25 мм
- Габаритные размеры магнетрона в сборе с экраном и анодом: Ø126 х 50 мм
- Способ монтажа в вакууммной камере: на одной стойке
- Kоличество вводов охлаждения: 2 шт.
- Способ монтажа вводов охлаждения: с использованием фланцев семейства АВ3710 или посредством иного вакууммно плотного соединения
- Внешний диаметр вводов охлаждения: Ø6 + 0.1 мм
- Тип магнитной системы: постоянные магниты
- Диаметр магнитной системы: Ø93 мм
- Охлаждение мишени: непосредственное или косвенное
- Диаметр мишени непосредственного охлаждения: Ø98 мм
- Диаметр мишени косвенного охлаждения: Ø93 мм
- Максимальная толщина мишени непосредственного охлаждения: 10 мм
- Максимальная толщина мишени косвенного охлаждения: 5 мм
- Рабочее напряжение: 300 – 400 В
- Рабочий ток: до 3 А
- Напряжение поджига: 700-1000 В
- Основной конструкционный материал: нерж. сталь 12Х18Н10Т
Вводы охлаждения магнетронов наружным диаметром 6 мм выполнены гибкими трубками из нержавеющей стали, что позволяет легко располагать и монтировать магнетроны в любом удобном месте вакуумной камеры.
Устройства магнетронного распыления могут быть укомплектованы фланцами, обеспечивающими подачу и слив охлаждающей жидкости, в том числе фланцами, выполненными по техническому заданию заказчика. Минимальный размер монтажного отверстия в вакуумной камере для размещения фланца, обеспечивающего
подвод обеих трубок охлаждения, составляет 17 мм.
|
давления
