ООО "АВАКС"
    Научно-производственная фирма

    ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ












    Консультации on-line:
    ICQ: 281785897
    Skype: AVACUUM

    E-mail: info@avacuum.ru
    Web: https://www.avacuum.ru

    Тел: +7 (812) 702-82-28
    +7 (812) 372-55-45
    Факс: +7 (812) 372-55-45

    Главная > Компоненты установок > Приводы >

    Приводы



    Устройства для перемещения карусели или планетарного механизма на основе шаговых двигателей, управляемых микроконтроллером. Устройства адаптированы для установок типа УВН-71 и аналогичных. По заказу могут быть разработаны и изготовлены приводы для установок другого типа. Приводы позволяют осуществлять точное перемещение и позиционирование различных объектов, в том числе расположенных внутри вакуумной камеры:

    • перемещения и позиционирование карусели с подложкодержателями на позициями в вакуумной камере, оборудованных устройствами распыления (например, резистивными испарителями, магнетронами и др.);
    • организация непрерывного вращения карусели или планетарного механизма с подложкодержателями с заданной скоростью;

    Приводы, изготавливаемые ООО «АВАКС» могут использоваться в составе автоматизированных систем управления технологическими процессами.

    Базовый вариант исполнения состоит из следующих компонентов: шагового двигателя, деталей крепления привода (которые могут быть выполнены по индивидуальному заказу) с механизмом захвата (фиксации первоначальной позиции) и процессорного блока управления с кнопочной операторской панелью. Программное обеспечение микроконтроллера может быть адаптировано под конкретные требования заказчика.

    Ниже рассмотрен пример использования описанного базового варианта привода для организации перемещения карусели с подложкодержателями между различными позициями установки напыления, но которых может осуществляться напыление, предварительный прогрев подложек, ионная очистка или иная технологическая операция.



    Привод перемещения карусели АВ6010

    Обеспечивает удобное управление перемещениями карусели или планетарного механизма с подложкодержателями в вакуумной камере установки напыления покрытий. Устройства адаптированы для установок типа УВН-71 и аналогичных. По заказу могут быть разработаны и изготовлены приводы для установок другого типа.