Вакуумные затворы

Сильфонные вакуумные затворы с ручным приводом используются в высоковакуумных и сверхвысоковакуумных магистралях и системах в качестве проходной запорной арматуры. Открытие и закрытие затвора осуществляется оператором вручную. Возможные варианты присоединительных фланцев - ISO-KF, ISO-F, CF("conflat"). Материал - нержавеющая сталь.

Имеют пневматический привод двойного действия (давление воздуха необходимо прикладывать как для открытия, так и для закрытия затвора). Для подачи давление 5-8 атм могут быть использованы стандартные пневматические распределители (пилотные клапаны). Сильфонные вакуумные затворы используются в высоковакуумных и сверхвысоковакуумных магистралях и системах в качестве проходной запорной арматуры. Возможные варианты присоединительных фланцев - ISO-KF, ISO-F, CF("conflat"). Материал - нержавеющая сталь.

Сильфонные вакуумные затворы с электомеханическим приводом приводом используются в высоковакуумных и сверхвысоковакуумных магистралях и системах в качестве проходной запорной арматуры. Открытие и закрытие затвора осуществляется с помощью электродвигателя или шагового двигателя. Во втором случае могут использоваться в качестве регулирующей арматуры для управления скоростью откачки (дросселирование). Возможные варианты присоединительных фланцев - ISO-F, CF("conflat"). Материал - нержавеющая сталь.

Дисковые затворы относятся к категории высоковакуумных, уплотнение штока привода обеспечивается без применения сильфона - кольцом круглого сечения (o-ring). На штоке привода закреплена тарелка, при повороте обеспечивающая изоляцию вакуумных объемов. Дисковые затворы могут иметь ручной, пневматический или электромеханический привод. В последнем случае могут успешно использоваться в системах поддержания (стабилизации) давления за счет управляемого дросселирования откачки. Доступны дисковые затворы с фланцами ISO-KF, ISO-F, CF.

Используются в технологических высоковакуумных и свервысоковакуумных установках для вакуумно плотной изоляции камер (или портов) установки, а также для организации процессов шлюзования (загрузки, передачи в вакууме). Основная область применения - в полупроводниковом исследовательском и промышленном оборудовании. Имеют пневматический привод двухстороннего действия (давление воздуха подается в исполнительный пневматический цилиндр затвора как для его открытия, так и для его закрытия). Материал основных компонентов щелевого затвора - нержавеющая сталь. Рассчитаны на использование для передачи подложек диаметром до 12 дюймов (300 мм).