Паромасляные насосы (диффузионные насосы)

Диффузионные насосы (другое название - паромасляные насосы) относятся к высоковакуумным средствам откачки. В качестве рабочей жидкости используются вакуумные масла с низким давлением паров или эфиры. Форвакуумный насос необходим для обеспечения предварительной откачки вакуумной системы, а также для эвакуации откачиваемых газов с выхлопного порта диффузионного насоса. В процессе работы диффузионного паромасляного насоса в вакуумную камеру попадает некоторое количество паров паров рабочей жидкости. Для того, чтобы этого избежать, на входном фланце используются ловушки различной конструкции. Наиболее эффективны ловушки охлаждаемые жидким азотом, обеспечивающие конденсацию паров рабочей жидкости на элементах конструкции ловушки.