• НАЗНАЧЕНИЕ И ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ
Клапаны АВ7710 и АВ7712 с электромагнитным приводом предназначены для организации напуска воздуха или иного газа в вакуумную камеру или магистраль.
Клапан крепится к вакуумной системе посредством стандартного фланца ISO-KF25 (NW), второй порт клапана соединяется с атмосферой.
Второй порт клапана может быть дополнен фитингом для присоединения газовой магистрали - в этом случае он может быть использован,
например, для напуска азота в технологическую камеру при ее перезагрузке. Корпус клапана выполнен из нержавеющей стали, уплотнение - NBR (нитрил).
Диапазон давлений от атмосферного до 1х10-7 Торр. Выпускаются в двух модификациях - нормально открытые (АВ7712) и нормально закрытые (АВ7710). Нормально открытые клапаны применяются для напуска воздуха в форвакуумную магистраль - при отключении питания воздух в форвакуумный насос напускается автоматически.
Выпускаются модификации:
Диапазон рабочих температур составляет 5-70оС.
• ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
| • Тип привода: |
|
АВ7710 электромагнитный НЗ
АВ7712 электромагнитный Н0 |
| • Диапазон рабочих температур,: |
|
5-70oC |
| • Натекание,: |
|
1.3×10-10 Торр×л/с |
| • Диапазон давлений,: |
|
от атмосферного до < 1×10-7 Торр |
| • Монтажное положение,: |
|
произвольное |
| • напряжение питания: |
|
24 В DC (пост.) |
| • Тип присоединительного фланца: |
|
ISO-KF (ДУ 25 мм)
|
| • Пропускная способность: |
|
АВ7710 (НЗ) - не менее 40 л/с,
АВ7712 (НО) - не менее 28 л/c
|
| • Материал корпуса: |
|
нержавеющая сталь 12Х18Н10Т или аналог |
| • Материал уплотнения: |
|
NBR (нитрил) |
|
давления
