Функция запорного клапана в сочетании с функцией регулировки и поддержания давления на заданном пользователем уровне;
Точная регулировка скорости откачки/потока;
Встроенный контроллер для регулировки давления
Компактность;
Общие сведения
Дисковые клапаны / затворы BFV-KFxx-APC сочетают функции запорного клапана с функцией регулировки и поддержания давления на заданном пользователем уровне. Привод - на основе шагового двигателя, клапан оснащен контроллером, который может устанавливать диск затвора в заданном положении, в том числе по сигналу обратной связи с активного датчика остаточного давления, имеющего аналоговый выход 0-10 В (тем самым обеспечивая поддержание давления на предустановленном уровне). Общая схема подключения для обеспечения автоматической регулировки давления приведена на рисунке ниже.
1 -
BFV-KFxx-APC
2 -
Вакуумная камера / система
3 -
Магистраль подачи газа с отсечным клапаном
4 -
Активный датчик остаточного давления / вакуумметр с аналоговым выходом 0-10 В и напряжением питания 24 В постоянного тока
5 -
Кабель датчика / вакуумметра
6 -
Контроллер и исполнительный механизм клапана BFV-KFxx-APC
7 -
Кабель для подключения внешней системы управления (компьютер, PLC и др.) - RS232 или RS485
8 -
Кабель подключения источника питания
9 -
Вакуумный насос
Тип/Геометрия:
дисковый, электромеханический (шаговый двигатель) запорный + автоматическая регулировка и поддержание давления
Изоляция штока привода:
компрессионное уплотнение (FKM, o'ring)
Материал внешнего уплотнения:
FKM
Уплотнение поворотного диска:
FKM
Диаметр условного прохода (DN):
25, 40, 50 мм
Материал корпуса:
нерж.сталь AISI 304
Минимальное остаточное давление:
1×10-8 Торр
Производитель:
Highlight Tech. Corp., Тайвань
Основные технические характеристики
Характеристика (параметр)
Ед. изм.
BFV-KF25-APC
BFV-KF40-APC
BFV-KF50-APC
Тип привода
–
электромеханический
Исполнительный механизм
–
шаговый двигатель
Макс. температура (без контроллера)
°C
110
110
110
Макс. температура (с контроллером)
°C
70
70
70
Мин. рабочее давление
мбар
10-8
10-8
10-8
Макс. рабочее давление
бар
1.2
1.2
1.2
Макс. перепад давлений для открытия
бар
0.2
0.2
0.2
Стандарт фланцев
–
ISO-KF25
ISO-KF40
ISO-KF50
Натекание, уплотнение седла
мбар×л/с
10-9
10-9
10-9
Натекание, внешнее уплотнение
мбар×л/с
10-9
10-9
10-9
Материал корпуса, диска, штока
–
AISI304
AISI304
AISI304
Материал уплотнений
–
FKM
FKM
FKM
Монтажное положение
–
любое
любое
любое
Время открытия/закрытия
с
0.3
0.3
0.3
Напряжение питания (пост.ток)
В
24
24
24
Макс. отклонение напряжения питания
%
10
10
10
Кол-во каналов для датчика давления
шт
2
2
2
Выходное напряжение датчика *)
В
0-10
0-10
0-10
Время измерения сигнала с датчика
мс
≤1
≤1
≤1
Входное сопротивление
кОм
21
21
21
Точность поддержания давления
% F.R.
0.1
0.1
0.1
Макс. момент
кг×см
15
15
15
Разрешение по позиции
шаг
4000
4000
4000
Примечание: *) Выходное напряжение активного датчика остаточного давления должно быть линейным в полулогарифмическом масштабе
Габаритные размеры
Модель
A, мм
B, мм
D, мм
E, мм
F, мм
G, мм
H, мм
Стандарт фланцев
BFV-KF25-APC (KF25BFVC)
27
50
65
231
263.5
90
130
ISO-KF25
BFV-KF40-APC (KF40BFVC)
27
57
80
239.5
279.5
90
130
ISO-KF40
BFV-KF50-APC (KF50BFVC)
27
57
90
245
290
90
130
ISO-KF50
Конструкция
Устройство клапана / затвора и внешнего уплотнения
На рис. показан клапан с фланцами ISO-F. Конструкция клапана с фланцами ISO-KF аналогична.
Вся информация о товарах, услугах и ценах, предоставленная на данном интернет-сайте, носит исключительно информационный характер и
ни при каких условиях не является публичной офертой, определяемой положениями Статьи 437 Гражданского кодекса Российской Федерации.
давления
