Угловые сильфонные вакуумные клапаны с пневматическим управлением XLD-xxD (фланцы ISO-K, корпус из Al сплава, P2)
XLD-xxD, XLDV-xxD
i
Техническая справка по вакуумным клапанам
 |
|
- Высокая надежность при низкой стоимости;
- Высокая стойкость по отношению к агрессивным газам;
- Отсутствие загрязнений, связанных с тяжелыми металлами;
- Малый вес и габариты, компактность;
- Однородность температуры в объёме клапана при прогреве;
- Большой выбор опций, расширяющих возможности использования клапанов
|
Общие сведения
Угловые клапаны серии XLD-xxD сильфонного типа с пневматическим приводом одностороннего действия рассчтаны на диапазон давлений от атмосферного до 1х10-6 Па. Материал корпуса - алюминиевый сплав, сильфонного узла - нержавеющая сталь. С фланцами ISO-K выпускаются модификации с диаметром условного прохода (ДУ) 63, 80 мм. В зависимости от исполнения диапазон рабочих температур составляет 5-60оС (стандартное исполнение) или 5-150оС (высокотемпературное исполнение, доступно не для всех модификаций). Достоинством клапанов с корпусом, выполненым из алюминия, является низкая стоимость, низкий вес, возможность использования при работе с агрессивными газами и существенно более высокая однородность температуры во внутреннем объеме клапана при его прогреве.
Угловые клапана серии XLDV имею аналогичную конструкцию и отличаются наличием дополнительного соленоида, управляющего подачей воздуха в пневмоцилиндр. Клапана XLDV не выпускаются в исполнении, предназначенном для работы при высоких темпетатурах.
Для клапанов серий XLD/XLDV предусмотрено большое количество опций:
визуальный индикатор открытого состояния, встроеный нагреватель (до 100 или 120оС), сигнализация открытого и(или) закрытого состояния, различные материалы для уплотнения седла, питание дополнительного соленоида различных стандартов.
Стандартным материалом уплотнения является FKM (фторкаучук (витон)). По заказу уплотнение клапана может быть выполнено из материалов с повышенной химической стойкостью (в том числе к агрессивным газам).
| Тип/Геометрия: |
тарельчатый угловой |
| Изоляция штока привода: |
сильфонная (нерж. сталь, гидроформованный) |
| Внешнее уплотнение: |
FKM (по заказу - другие материалы) |
| Уплотнение седла клапана: |
FKM (по заказу - другие материалы) |
| Диаметр условного прохода (DN): |
63,80 мм |
| Материал корпуса: |
Al сплав A6063 |
| Минимальное остаточное давление: |
1×10-8 Торр |
| Производитель: |
SMC Corp., Япония |
Основные технические характеристики
| Характеристика (параметр) |
Ед.изм. |
XLD-63D |
XLD-80D |
XLDV-63D |
XLDV-80D |
| Тип привода |
– |
Н.З. (нормально закрытый) |
| Диапазон рабочих температур |
°C |
стандартное исп.: 5 – 60 высокотемпер. исп.: 5 – 150 |
5 – 50 |
| Проводимость, главный выхлопной клапан |
л/с |
≥160 |
≥200 |
≥160 |
≥200 |
| Проводимость, клапан предварительного выхлопа |
л/с |
≥14-18 |
≥14-18 |
≥14-18 |
≥14-18 |
| Натекание, внутреннее уплотнение (седло) |
м3×Па/с |
≤1.3×10-10 (при нормальных условиях) |
| Натекание, внешнее уплотнение |
м3×Па/с |
≤1.3×10-11 (при нормальных условиях) |
| Диапазон давлений |
Па |
от атмосферного до 1×10-6 |
| Присоединительные фланцы |
– |
ISO-K63 |
ISO-K80 |
ISO-K63 |
ISO-K80 |
| Рабочее (управляющее) давление воздуха |
МПа |
0.4-0.7 |
0.4-0.7 |
0.4-0.7 |
0.4-0.7 |
| Масса |
кг |
3.4 |
5.6 |
3.5 |
5.7 |
| Материал корпуса |
– |
Al сплав A6063 |
| Материал сильфона |
– |
нержавеющая сталь AISI316L |
| Материал уплотнений |
– |
фторкаучук (FKM, витон) |
| Присоединительные порты для подачи давления воздуха |
– |
Rc(PT)⅛" |
Rc(PT)⅛" |
M5 |
M5 |
| Присоединительные порты для сброса давления воздуха |
– |
– |
– |
M5 |
M5 |
| Время закрытия, главный выхлопной клапан *) |
сек |
0.26 |
0.28 |
0.26 |
0.28 |
| Время закрытия, клапан предварительного выхлопа *) |
сек |
0.23 |
0.27 |
0.23 |
0.27 |
| Ресурс, циклов |
– |
не менее 2 млн. циклов |
Примечание:
*) При управляющем давлении 0,5 МПа.
Габаритные размеры
Клапаны XLD-xxD (без пневмораспределителя)
| Модель |
A, мм |
B, мм |
C, мм |
D, мм |
E *), мм |
Fn, мм |
Fd, мм |
G, мм |
H, мм |
J, мм |
K, мм |
| XLD-63D |
88 |
217 |
100 |
3 |
11 |
87 |
95 |
70 |
72 |
20 |
18.5 |
| XLD-80D |
90 |
256 |
117 |
3 |
11 |
114 |
110 |
83 |
98 |
20 |
26.5 |
Примечания:
*) Размер E - для клапанов с установленными нагревателями.
Буквами (a), (b), (c) обозначено возможное расположение нагревателя.
Клапаны XLDV-xxD (с пневмораспределителем)
| Модель |
A, мм |
B, мм |
C, мм |
Fn, мм |
Fd, мм |
G, мм |
M, мм |
N, мм |
K, мм |
| XLDV-63D |
88 |
217 |
100 |
87 |
95 |
70 |
13 |
73.2 |
18.5 |
| XLDV-80D |
90 |
256 |
117 |
114 |
110 |
83 |
13 |
83.6 |
25.5 |
|