Угловые сильфонные вакуумные клапаны плавной откачки с пневматическим управлением XMD-xxD (фланцы ISO-K, корпус из нерж.стали, 2×P1)
XMD-xxD
i
Техническая справка по вакуумным клапанам
 |
|
- Высокая надежность, низкая стоимость;
- Компактность, небольшой вес;
- Корпус изготовлен из единой заготовки: на корпусе нет сварных швов;
- Высокая проводимость;
- Электрополировка поверхностей, находящихся в контакте с вакуумом;
- Большой ресурс - более 2 млн. циклов;
- Большой выбор опций, расширяющих возможности использования клапанов
|
Общие сведения
Угловые клапаны серии XMD сильфонного типа с пневматическим приводом одностороннего
действия предназначены для обеспечения плавной откачки и рассчтаны на диапазон давлений от атмосферного до 1х10-6 Па. Материал корпуса и
сильфонного узла- нержавеющая сталь. С фланцами ISO-K выпускаются модификации с диаметром условного
прохода (ДУ) 63, 80 мм. В зависимости от исполнения диапазон рабочих температур составляет 5-60оС (стандартное исполнение) или 5-150оС (высокотемпературное исполнение, доступно
не для всех модификаций).
Для клапанов серий XMD предусмотрено большое количество опций:
визуальный индикатор открытого состояния,
сигнализация открытого и (или) закрытого состояния, различные материалы для уплотнения седла.
Стандартным материалом уплотнения является FKM (фторкаучук (витон)). По заказу уплотнение клапана может
быть выполнено из материалов с повышенной химической стойкостью (в том числе к агрессивным газам).
| Тип/Геометрия: |
тарельчатый угловой |
| Изоляция штока привода: |
сильфонная (нерж. сталь, гидроформованный) |
| Внешнее уплотнение: |
FKM (по заказу - другие материалы) |
| Уплотнение седла клапана: |
FKM (по заказу - другие материалы) |
| Диаметр условного прохода (DN): |
63, 80 мм |
| Материал корпуса: |
нержавеющая сталь AISI304 |
| Минимальное остаточное давление: |
1×10-8 Торр |
| Производитель: |
SMC Corp., Япония |
Основные технические характеристики
| Характеристика (параметр) |
Ед. изм. |
XMD-63D |
XMD-80D |
| Тип привода |
– |
Н.З. (нормально закрытый) |
| Диапазон рабочих температур |
°C |
стандартное исп.: 5 – 60 высокотемпер. исп.: 5 – 150 |
| Проводимость, главный выхлопной клапан |
л/с |
≥160 |
≥200 |
| Проводимость, клапан предварительного выхлопа |
л/с |
≥4 - 18 |
≥4 - 18 |
| Натекание, внутреннее уплотнение |
м3×Па/с |
≤1.3×10-10 |
| Натекание, внешнее уплотнение |
м3×Па/с |
≤1.3×10-11 |
| Диапазон давлений |
Па |
от атмосферного до 1×10-6 |
| Присоединительные фланцы |
– |
ISO-K63 |
ISO-K80 |
| Рабочее (управляющее) давление воздуха |
МПа |
0.4-0.7 |
0.4-0.7 |
| Масса |
кг |
4.10 |
6.8 |
| Материал корпуса |
– |
нерж. сталь SCS13 (SUS304) |
| Материал сильфона |
– |
нержавеющая сталь AISI316L |
| Материал уплотнений |
– |
фторкаучук (FKM, витон) |
| Присоединительные порты для подачи/сброса давления воздуха |
– |
Rc⅛" |
Rc⅛" |
| Ресурс, циклов |
– |
не менее 2 млн. циклов |
Конструкция
Габаритные размеры
| Модель |
A, мм |
B, мм |
C, мм |
D, мм |
Fn, мм |
Fd, мм |
Fc, мм |
G, мм |
H, мм |
J, мм |
K, мм |
P.C.D L1 |
L2 |
| XMD-63D |
88 |
217 |
100 |
3 |
87 |
95 |
114 |
70 |
72 |
20 |
19.5 |
P.C.D 92.1 |
8ר8.4 |
| XMD-80D |
90 |
256 |
117 |
3 |
114 |
110 |
– |
83 |
98 |
20 |
26.5 |
– |
– |
|