Угловые сильфонные вакуумные клапаны с пневматическим управлением XMA-xxD (фланцы ISO-K, корпус из нержавеющей стали)
XMA-xxD
i
Техническая справка по вакуумным клапанам
 |
|
- Высокая надежность, низкая стоимость;
- Компактность, небольшой вес;
- Корпус изготовлен из единой заготовки: на корпусе нет сварных швов;
- Высокая проводимость;
- Электрополировка поверхностей, находящихся в контакте с вакуумом;
- Большой ресурс - более 2 млн. циклов;
- Большой выбор опций, расширяющих возможности использования клапанов
|
Общие сведения
Угловые клапаны серии XMA сильфонного типа с пневматическим приводом одностороннего
действия рассчтаны на диапазон давлений от атмосферного до 1х10-6 Па. Материал корпуса и
сильфонного узла - нержавеющая сталь. С фланцами ISO-K выпускаются модификации с диаметром условного
прохода (ДУ) 63, 80 мм. В зависимости от исполнения диапазон рабочих температур
составляет 5-60оС (стандартное исполнение) или 5-150оС (высокотемпературное
исполнение, доступно не для всех модификаций).
Для клапанов серий XMA предусмотрено большое количество опций:
визуальный индикатор открытого состояния,
сигнализация открытого и(или) закрытого состояния, различные материалы для уплотнения седла.
Стандартным материалом уплотнения является FKM (фторкаучук (витон)). По заказу уплотнение
клапана может быть выполнено из материалов с повышенной химической стойкостью (в том числе
к агрессивным газам).
| Тип/Геометрия: |
тарельчатый угловой |
| Изоляция штока привода: |
сильфонная (нерж. сталь, гидроформованный) |
| Внешнее уплотнение: |
FKM (по заказу - другие материалы) |
| Уплотнение седла клапана: |
FKM (по заказу - другие материалы) |
| Диаметр условного прохода (DN): |
63, 80 мм |
| Материал корпуса: |
нержавеющая сталь AISI304 |
| Минимальное остаточное давление: |
1×10-8 Торр |
| Производитель: |
SMC Corp., Япония |
Основные технические характеристики
| Характеристика (параметр) |
Ед.изм. |
XMA-63D |
XMA-80D |
| Тип привода |
– |
Н.З. (нормально закрытый) |
| Диапазон рабочих температур |
°C |
стандартное исполнение: 5 – 60
высокотемпературное исполнение: 5 – 150 |
| Проводимость |
л/с |
≥160 |
≥200 |
| Натекание, внутреннее уплотнение |
м3×Па/с |
≤1.3×10-10 |
| Натекание, внешнее уплотнение |
м3×Па/с |
≤1.3×10-11 |
| Диапазон давлений |
Па |
от атмосферного до 1×10-6 |
| Присоединительные фланцы |
– |
ISO-K63 |
ISO-K80 |
| Рабочее (управляющее) давление воздуха |
МПа |
0.4-0.7 |
0.4-0.7 |
| Масса |
кг |
3.60 |
6.20 |
| Материал корпуса |
– |
нерж. сталь SCS13 (SUS304) |
| Материал сильфона |
– |
нержавеющая сталь AISI316L |
| Материал уплотнений |
– |
фторкаучук (FKM, витон) |
| Присоединительные порты для подачи/сброса давления воздуха |
– |
Rc⅛" |
Rc⅛" |
| Ресурс, циклов |
– |
не менее 2 млн. циклов |
Конструкция
 |
По конструкции клапаны XMA относятся к клапанам тарельчатого типа.
Поступательное движение штока клапана обеспечивает движение тарелки с уплотнением. В закрытом состоянии тарелка с уплотнением (o'ring, зафиксированный в проточке) прижимается к неподвижному седлу, изолируя друг от друга вакуумные объемы. В полностью открытом состоянии тарелка находится на максимальном расстоянии от седла, обеспечивая возможность перемещения газовой среды между вакуумными объемами. В зависимости от типа уплотнения подвижного штока различают сильфонные клапаны и клапаны с уплотнением штока кольцевым уплотнением круглого сечения. Присоединительные фланцы угловых клапанов расположены в перпендикулярных плоскостях.
Вакуумно-плотная изоляция привода обеспечивается с помощью гидроформованного сильфона и внешнего уплотнения (FKM).
|
Перемещение штока привода обеспечивает рабочий пневматический цилиндр, в клапанах XMA - одностороннего действия (сжатый воздух подается через пилотный порт для открытия клапана, после снятия давления пружина возвращает клапан в закрытое состояние). Управление подачей сжатого воздуха обеспечивает пневмораспределитель (пилотный клапан) - не входит в комплект поставки.
Габаритные размеры
| Модель |
A, мм |
B, мм |
C, мм |
D, мм |
Fn, мм |
Fd, мм |
Fc, мм |
G, мм |
H, мм |
P.C.D L1 |
L2 |
| XMA-63D |
88 |
196 |
100 |
3 |
87 |
95 |
114 |
70 |
69 |
P.C.D92.1 |
8-Ø8.4 |
| XMA-80D |
90 |
235 |
117 |
3 |
114 |
110 |
– |
83 |
96 |
– |
– |
|
давления
