Комплекты для модернизации систем подачи рабочего газа вакуумных установок

Комплекты для модернизации систем подачи рабочего газа вакуумных установок могут быть использованы для замены морально устаревших газовых систем установок, в которых технологический цикл предусматривает использование рабочего газа (установки напыления, вакуумные печи, установки для выращивания кристаллов и др.). Как показывает опыт модернизации вакуумного оборудования, газовые системы в большинстве случаев являются наиболее "запущенной" частью оборудования при том, что чистота рабочего газа и возможность поддержания заданных технологом параметров являются одним из наиболее важных условий воспроизводимости технологического процесса.

В комплект поставки могут быть включены следующие компоненты:

• Газовая панель:

  АВ4202 или аналогичная, количество каналов подачи газа - по согласованию с заказчиком (Разработчик и изготовитель - ООО "АВАКС").

• Блок управления газовой панелью:

  АВ2201, с комплектом кабелей (Разработчик и изготовитель - ООО "АВАКС").

• Комплект газовых магистралей с фитингами для монтажа:

  Материал магистралей - нержавеющая сталь, длина магистралей - по техническому заданию заказчика. Тип фитингов - VCR (Swagelok) с комплектом уплотнительных прокладок. Присоединение к баллону или редуктору - по техническому заданию заказчика.

• Комплект комплект пневматических фитингов для подачи сжатого воздуха к пневматическим клапанам газовой панели:

  Тип фитингов - быстроразъемные, под трубку Ø4, 6 или 8 мм. Пневматическая трубка - SMC, входит в комплект поставки. Фильтр-влагоотделитель с комплектом крепежа - может быть включен в комплект поставки при необходимости. Присоединение к баллону или редуктору - по техническому заданию заказчика.