Комплекты для модернизации вакуумной системы установок

Фрагмент вакуумной системы установки УВН-71 на основе компонентов SMC (клапаны), HTC (пассивная арматура)

При заказе можно включить в комплект поставки следующие компоненты. (Ниже приведен список типовых компонентов, которые наиболее часто включаются в комплект поставки, но который не исчерпывает всех возможных вариантов - в каждом конкретном случае комплект подбирается индивидуально с учетом особенностей оборудования заказчика):

• Высоковакуумный насос:

  Турбомолекулярные насосы Leybold Turbovac, Edwards nEXT и др. (для установок травления турбомолекулярные насосы в химически стойком исполнении).
  В комплект поставки входит переходник для насоса для монтажа на вакуумную камеру (подзатворную камеру и т.п.).

• Форвакуумный насос:

  Спиральный насос ISP (Anest Iwata), XDS (Edwards) и др. или пластинчато-роторный насос.

• Запорная арматура:

  Вакуумные клапаны с пневматическим приводом XLA (SMC), AVB (HTC, Тайвань) и др. с диаметром условного прохода от 16 до 50 мм в зависимости от объема вакуумной камеры и выбранных средств откачки. В комплект поставки также входят клапаны для напуска воздуха в форвакуумную магистраль и вакуумную камеру.

• Пассивная вакуумная арматура:

  Фитинги, переходники, сильфоны, адаптеры, уплотнения, крепежные компоненты (хомуты, струбцины и т.п.) - производства HTC (Тайвань) и ООО "АВАКС". Материал фитингов, переходников, адаптеров - нерж.сталь SUS304, 12Х18Н10Т и др. Материал уплотнений - витон или нитрил. Стандарты вакуумных соединений - ISO-KF, ISO-K (ISO-F) (для СВВ установок - CF). В комплект поставки входит полный комплект арматуры, необходимый для монтажа вакуумной системы "под ключ", в том числе все необходимые переходники. Каталог пассивной вакуумной арматуры pdf, 4.25 Mb

• Пневматические компоненты:

  Компоненты, необходимые для управления пневматическими клапанами - SMC (Япония). В комплект поставки входят все компоненты, необходимые для монтажа пневматической системы "под ключ" (фитинги, пневматические распределители (пилотные клапаны) с монтажными плитами, пневматическая трубка, фильтры-влагоотделители, датчик давления воздуха в пневматических магистралях и др.). Отдельные узлы поставляются в комплекте в собранном и готовом к использованию состоянии. В случае необходимости замены пневматических цилиндров поставляется также комплект деталей для его монтажа на место штатного пневматического цилиндра установки.

• Блок управления откачкой:

  АВ2107, разработчик и изготовитель - ООО "АВАКС". Осуществляет управление средствами откачки и запорной арматурой вакуумной системы, а также объектами инфраструктуры вакуумной системы (пневматика, охлаждение и т.п.). Подробнее>>>

• Манометрические преобразователи:

  Активные манометрические преобразователи Pfeiffer Vacuum, Thyracont Instruments, Edwards, InstruTech и др.
  Манометрические преобразователи с трансдюсерами (первичными преобразователями) производства ООО "АВАКС".

• Компоненты системы охлаждения средств откачки и вакуумной камеры:

  Набор запорной арматуры и датчиков потока для сборки системы охлаждения средств откачки и системы охлаждения / прогрева вакуумной камеры. Предусмотрено управление запорной арматурой и контроль над потоком охлаждающей жидкости с блока управления откачкой АВ2107. Возможна поставка замкнутой (автономной) системы охлаждения на основе чилеров SMC (Япония).