ООО "АВАКС"
Научно-производственная фирма

ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ













Консультации on-line:
ICQ: 281785897
Skype: AVACUUM

E-mail: info@avacuum.ru
Web: https://www.avacuum.ru

Тел: +7 (812) 702-82-28
+7 (812) 372-55-45
Факс: +7 (812) 372-55-45

Главная > Вакуумные насосы > Турбомолекулярные насосы > Турбомолекулярные насосы с гибридным подвесом ротора >

Турбомолекулярные насосы с гибридным подвесом ротора.


Подвес ротора турбомолекулярных насосов может быть обеспечен тремя способами:
- классический подвес: ротор насоса вращается в специальных подшипниках;
- гибридный подвес: нижняя часть ротора вращается в специальном подшипнике, верхняя удерживается магнитным полем;
- магнитный подвес: и верх, и низ ротора удерживаются магнитным полем.
Каждый из вариантов имеет свои преимущества и недостатки (которые, во многих случаях, достаточно условны - для многих приложений одинаково хорошо подойдут насосы с любым подвесом ротора).
Турбомолекулярные насосы с классическим подвесом обычно имеют меньшую стоимость. К недостаткам относятся износ подшипников, присутствие небольшого количества смазки.
Гибридные насосы наиболее распространены в настоящее время и являются промежуточным вариантом: подшипник (как правило, керамический) только один с нижней стороны ротора.
Турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом ротора - самые чистые (смазка отсутствует). Отсутствует (только при вращении) механический контакт ротора с другими частями насоса, поэтому отсутствует и износ. Современные насосы с магнитным подвесом умеют совершать плавную остановку и посадку ротора на основание даже при аварийном отключении питания. Стоимость, как правило, наиболее высокая по сравнению со стоимостью насосов с другим типом подвеса ротора.





Турбомолекулярные насосы HiPace10, 30, 80, 300, 400, 800

Серия турбомолекулярных насосов с гибридным (кроме HiPace10) подвесом ротора (нижний подшипник - керамический, верхний - магнитный) от Pfeiffer Vacuum. HiPace10 и HiPace30 - самые маленькие из серийно выпускаемых турбомолекулярных насосов. Скорость откачки по азоту - от 10 л/c (HiPace10) до 790 л/c (HiPace800). Контроллер смонтирован непосредственно на корпусе насоса (также в качестве внешнего контроллера могут быть использованы контроллеры DCU). Входные фланцы (в зависимости от исполнения) - стандарта ISO-KF, ISO-K, ISO-F или CF. Турбомолекулярные насосы HiPace допускают достаточно высокое давление на выхлопном фланце, поэтому требования к выбору форвакуумного насоса становятся менее жесткими. Могут устанавливаться в любом положении.
Турбомолекулярные насосы HiPace1200, 1500, 1800, 2300

Серия турбомолекулярных насосов с гибридным подвесом ротора (нижний подшипник - керамический, верхний - магнитный) от Pfeiffer Vacuum. Скорость откачки по азоту - от 1250 л/c (HiPace1200) до 1900 л/c (HiPace2300). Контроллер смонтирован непосредственно на корпусе насоса. Входные фланцы (в зависимости от исполнения) - стандарта ISO-K, ISO-F или CF. Турбомолекулярные насосы HiPace допускают достаточно высокое давление на выхлопном фланце. Для всех насосов этой серии есть коррозионно стойкое исполнение, что позволяет использовать эти насосы, например, в установках плазмохимического травления. Имеют большой межсервсисный интервал, подшипники могут быть замены пользователем самостоятельно. Успешно используются как в исследовательских установках, так и в различных отраслях промышленности.
Турбомолекулярные насосы nEXT (nEXT-240, nEXT-300, nEXT-400)

Гибридные турбомолекулярные насосы от Edwards, скорость откачки по азоту - от 250 л/c до 400 л/c. Нижний подшипник - керамический (для замены не требуется специальное оборудование, инструменты или приспособления), верхний - магнитный. Контроллер смонтирован непосредственно на корпусе насоса (также в качестве внешнего контроллера могут быть использованы контроллеры TIC). Входные фланцы - стандарта ISO или CF.