Основные методы поиска течи с использованием гелиевого масс-спектрометрического течеискателя
С применением гелиевого масс-спектрометрического течеискателя для поиска течи в вакуумных системах и герметичных изделиях могут быть использованы следующие методы: метод обдува, метод щупа, метод "вакуумной камеры" и метод накопления.
Метод обдува
Метод обдува - один из наиболее распространенных методов для поиска и локализации течей. Позволяет локализовать место течи, имеет максимальную чувствительность. Хорошо подходит для распределенных вакуумных систем.
При необходимости используются собственные средства откачки вакуумной системы / камеры.
Последовательность действий при проверке на герметичность методом обдува:
| – |
Течеискатель вакуумно плотно присоединяется к испытуемой вакуумной системе или изделию (объекту), герметичность которого необходимо проверить. |
| – |
Вакуумная система (камера, изделие и пр.) откачивается средствами откачки течеискателя или, дополнительно, средствами откачки, входящими в состав вакуумной системы (или присоединяемыми к ней) - это определяется, прежде всего, объемом системы (изделия).
|
| – |
Испытуемое изделие (или вакуумная система) последовательно обдувается гелием. При наличии течи гелий проникает в испытуемый объект и далее в вакуумную систему течеискателя. Масс-спектрометрический анализатор течеискателя с высокой точностью определяет наличие гелия в системе (т.е. негерметичность объекта), а по месту обдува определяется место течи.
|
Этот метод может быть использован различными способами - например, накрывая часть большой системы чехлом и подавая гелий под чехол, можно выделить ту часть, которая имеет течь.
Метод щупа
Метод щупа имеет меньшую чувствительность за счет потерь гелия в атмосфере и щупе, но также как и метод обдува позволяет локализовать место течи. Методом щупа можно исследовать системы или изделия (объекты) любого объема, но это может оказаться очень длительным процессом.
Последовательность действий при проверке на герметичность методом щупа:
| – |
В изделие (объект) или вакуумную систему через порт или штенгель подается гелий или смесь гелия с другим газом (до давлений, слегка превышающих окружающее давление).
|
| – |
Изделие (вакуумная система) обследуется с помощью щупа, присоединенного к входному порту течеискателя. Фактически с помощью щупа организуется дифференциальная откачка: между входной частью щупа, предназначенной для забора
пробы и вакуумной системой течеискателя поддерживается большая разность давлений. Гелий попадает из щупа в вакуумную систему течеискателя, его анализатор детектирует наличие гелия, позволяя установить факт негерметичности, а по месту забора пробы локализуется место течи.
|
Метод "вакуумной камеры"
Метод "вакуумной камеры" используется для проверки герметичности изделий (объектов), которые могут быть предварительно заполнены гелием или смесью газов, содержащей гелий.
Изделия могут быть заполнены и герметизированы до размещения в вакуумной камере или заполнены через штенгель непосредственно в вакуумной камере. Метод вакуумной камеры позволяет тестировать изделия на герметичность,
но не позволяет локализовать расположение течи. Иначе говоря, метод вакуумной камеры используется в основном для отбраковки изделий.
Последовательность действий при проверке на герметичность методом "вакуумной камеры":
| – |
При предварительном заполнении изделий: В изделие (объект) через штенгель подается гелий. Изделие отсоединяется от магистрали подачи гелия, штенгель изделия герметизируется и помещается в вакуумную камеру.
|
| – |
При заполнении изделий в вакуумной камере: изделие (объект) размещается в вакуумной камере. Штенгель изделия присоединяется к магистрали подачи гелия.
|
| – |
Течеискатель вакуумно плотно присоединяется к вакуумной камере
|
| – |
Остаточное давление в вакуумной камере с размещенными в ней изделиями доводится до необходимой величины средствами откачки течеискателя (или течеискателя и дополнительными средствами откачки, в зависимости от объема вакуумной камеры).
|
| – |
При наличии течи в испытуемом изделии (объекте) гелий проникает в вакуумную камеру, а затем и вакуумную систему течеискателя. Анализатор течеискателя с высокой точностью определяет наличие гелия в системе, т.е. негерметичность испытуемого объекта.
|
Метод накопления
Метод накопления используется для проверки герметичности изделий, которые по технологии изготовления не могут быть предварительно заполнены гелием или смесью газов, содержащей гелий.
Метод накопления позволяет тестировать изделия на герметичность,
но не позволяет локализовать расположение течи. Иначе говоря, метод накопления используется в основном для отбраковки изделий.
Последовательность действий при проверке на герметичность методом накопления, включает в себя 2 этапа - подготовка изделия (объекта) и проверка на герметичность:
| – |
Этап 1: Испытуемое изделие (объект) помещается в камеру опрессовки. В камеру опрессовки подается гелий или смесь газов, содержащая гелий. Давление в камере опрессовки должно превышать давление в испытуемом изделии.
|
| – |
Этап 1: Изделие выдерживается в камере опрессовки определенное время в соответствии с технологическим процессом (определяется экспериментально). При наличии течи в испытуемом изделии гелий проникает в полость изделия (объекта).
|
| – |
Этап 1 -> Этап 2: Изделие извлекается из камеры опрессовки и размещается в вакуумной камере.
|
| – |
Этап 2: Течеискатель вакуумно плотно присоединяется к вакуумной камере
|
| – |
Этап 2: Остаточное давление в вакуумной камере с размещенными в ней изделиями доводится до необходимой величины средствами откачки течеискателя (или течеискателя и дополнительными средствами откачки, в зависимости от объема вакуумной камеры).
|
| – |
При наличии течи в испытуемом изделии (объекте) гелий проникает в вакуумную камеру, а затем и вакуумную систему течеискателя. Масс-спектрометрический анализатор течеискателя с высокой точностью определяет наличие гелия в системе, т.е. негерметичность испытуемого объекта.
|
|
давления
