Комбинированные вакуумметры могут работать с двумя датчиками: один из них работает на низком вакууме, второй - на высоком. Такие приборы позволяют измерять остаточное давление во всем диапазоне, необходимом потребителю. В этом разделе представлены комбинированные вакуумметры, работающие с ионизационными (высоковакуумными) и тепловыми (низковакуумными) датчиками.

Принцип действия вакуумметра с ионизационным манометрическим преобразователем основан на измерении зависимости ионного тока от величины остаточного давления. Эмиссия электронов, обеспечивающих ионизацию газа в камере, происходит с нагреваемого катода. Остаточное давление определяется по величине ионного тока: при постоянном токе эмиссии электронов и постоянном анодном ускоряющем напряжении количество образующихся ионов пропорционально молекулярной концентрации газа в межэлектродном пространстве преобразователя.

Измерение величины остаточного давления в вакуумной камере тепловыми манометрическими преобразователями основано на принципе зависимости теплопроводности газа от его давления в вакуумной магистрали (камере): при изменении давления в вакуумной камере камере теплопроводность газа также изменяется, вследствие чего изменяется и температура чувствительного элемента манометрического преобразователя (термопары или терморезистора). Тепловые процессы происходят достаточно медленно, поэтому тепловые вакуумметры обладают значительной инерционностью.