Активные емкостные датчики Pfeiffer CCR37х, CMR37х с термостабилизацией
|
- Прецизионное измерение давления (точность - до 0,15%);
- Независимость измерений от типа газа;
- Аналоговый (0-10 В) выход;
- Керамический сенсор (чувствительный элемент);
- Полная совместимость датчиков серии CCR с баратронами (Baratron®) MKS Instruments;
- Возможность использования в автоматизированных системах управления;
- Простота монтажа (установки), высокая надежность.
|
Общие сведения
Емкостные датчики (также называемые "баратронами" по наименованию серии приборов MKS Instruments) обеспечивают прецизионное (с точностью до 0,15%) измерение остаточного давления (предназначены для низкого и среднего вакуума, от атмосферного давления до 1×10-5 Торр). Серия CCR является прямым аналогом MKS Baratron® (включая цоколевку разъема DSUB15 и градуировку аналогового выхода) и, соответственно могут использоваться с контроллерами от MKS Instruments. Серия CMR по своим техническим характеристикам вполне аналогична серии CCR, но предназначены для использования с контроллерами TPG от Pfeiffer Vacuum (имеют другой разъем и градуировку аналогового выхода).
|
Емкостные датчики выпускаются в термокомпенсированном исполнении - серии CCR36х, CMR36х и в термостабилизированном исполнении - серии CCR37х, CMR37х. Термостабилизированные датчики (CCR37х, CMR37х) позволяют производить измерение давления с более высокой точностью (0.15%), чем датчики с термокомпенсацией (0,20% для CCR36х, CMR36х).
Варианты исполнения:
CCR371, CCR372, CCR373, CCR374, CCR375 - с контролем температуры (термостабилизированные), с разъемом DSUB15, прямые аналоги MKS Baratron®; варианты присоединения к вакуумной системе: OD1/2" (под компрессионное соединение), ISO-KF16, CF16, FVCR1/2";
CMR371, CMR372, CMR373, CMR374, CMR375 - с контролем температуры (термостабилизированные), для использования с контроллерами TPR от Pfeiffer Vacuum; варианты присоединения к вакуумной системе: OD1/2" (под компрессионное соединение), ISO-KF16, CF16, FVCR1/2".
|
Основные технические характеристики
| Характеристика / Параметр |
Ед.
изм. |
CCR 371,
CMR 371 |
CCR 372,
CMR 372 |
CCR 373,
CMR 373 |
CCR 374,
CMR 374 |
CCR 375,
CMR 375 |
| Тип датчика: |
|
емкостной (баратрон), термостабилизированный |
| Диапазон измерения: |
мбар |
1×10-1 ÷ 1×103
| 1×10-2 ÷ 1×102 |
1×10-3 ÷ 1×101
| 1×10-4 ÷ 1×100 |
1×10-5 ÷ 1×10-1 |
| |
| Предельно допустимое давление (абс.): |
бар |
3 |
2 |
2 |
2 |
1.3 |
| Погрешность измерения давления: |
% |
0.15 |
0.15 |
0.15 |
0.15 |
0.15 |
| Материал мембраны: |
|
керамика (Al2O32 - 99.5%) |
| Материал корпуса датчика: |
|
нерж.сталь |
нерж.сталь |
нерж.сталь |
нерж.сталь |
нерж.сталь |
| Время отклика: |
мс |
30 |
30 |
30 |
30 |
30 |
| Встроенный индикатор: |
|
нет |
нет |
нет |
нет |
нет |
| Присоединение к вакуумной системе: |
|
ISO-KF16; CF16; F-VCR1/2"
или компрессионное (грибковое) соединение OD1/2" |
| Диапазон рабочих температур: |
°С |
5 - 50 |
5 - 50 |
5 - 50 |
5 - 50 |
5 - 50 |
| Максимальная температура на фланце: |
°С |
110 |
110 |
110 |
110 |
110 |
| Напряжение питания (постоянное): |
°С |
14 - 30 |
14 - 30 |
14 - 30 |
14 - 30 |
14 - 30 |
| Потребляемая мощность: |
Вт |
<12 |
<12 |
<12 |
<12 |
<12 |
| Цифровой выход: |
|
нет |
нет |
нет |
нет |
нет |
| Аналоговый выход: |
В |
0-10 |
0-10 |
0-10 |
0-10 |
0-10 |
| Класс защиты: |
|
IP30 |
IP30 |
IP30 |
IP30 |
IP30 |
| Масса: |
г |
840-900 |
840-900 |
840-900 |
840-900 |
840-900 |
Габаритные размеры
| Емкостные датчики CCR |
Емкостные датчики CMR |
 |
 |
Размеры в мм |
Размеры в мм |
Калибровка аналогового выхода датчика CCR
 |
p [мбар] = 1.3332 × F.S. [мбар] × (U [В] / 10)
p - давление в вакуумной системе;
U - напряжение на аналоговом выходе;
F.S. - максимальное измеряемое давление:
| Model |
F.S., мбар |
| CCR371 |
1000 |
| CCR372 |
100 |
| CCR373 |
10 |
| CCR374 |
1 |
| CCR375 |
0.1 |
|
Калибровка аналогового выхода датчика CMR
 |
p [мбар] = 0.125 × F.S. [мбар] × (U [В] - 1)
p - давление в вакуумной системе;
U - напряжение на аналоговом выходе;
F.S. - максимальное измеряемое давление:
| Model |
F.S., мбар |
| CMR371 |
1000 |
| CMR372 |
100 |
| CMR373 |
10 |
| CMR374 |
1 |
| CMR375 |
0.1 |
|
Аксессуары для присоединения и подключения датчиков
Кабель для
датчиков
с выходом 0-10 В
|
|
|
|
|
|
давления
