ООО "АВАКС"
Научно-производственная фирма

ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ













Консультации on-line:
ICQ: 281785897
Skype: AVACUUM

E-mail: info@avacuum.ru
Web: https://www.avacuum.ru

Тел: +7 (812) 702-82-28
+7 (812) 372-55-45
Факс: +7 (812) 372-55-45

Главная > Вакуумметры > Активные датчики и их контроллеры > Активные емкостные датчики Pfeiffer CCR36х, CMR36х с термокомпенсацией >

Активные емкостные датчики Pfeiffer CCR36х, CMR36х с термокомпенсацией

Активные емкостные датчики CCR36х, CMR36х Логотип Pfeiffer Vacuum


  • Прецизионное измерение давления (точность - до 0,15%);
  • Независимость измерений от типа газа;
  • Аналоговый (0-10 В) выход;
  • Керамический сенсор (чувствительный элемент);
  • Полная совместимость датчиков серии CCR с баратронами (Baratron®) MKS Instruments;
  • Возможность использования в автоматизированных системах управления;
  • Простота монтажа (установки), высокая надежность

• ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ

Емкостные датчики (также называемые "баратронами" по наименованию серии приборов MKS Instruments) обеспечивают прецизионное измерение остаточного давления (предназначены для низкого и среднего вакуума, от атмосферного давления до 1×10-5 Торр). Серия CCR является прямым аналогом MKS Baratron® (включая цоколевку разъема DSUB15 и градуировку аналогового выхода) и, соответственно могут использоваться с контроллерами от MKS Instruments. Серия CMR по своим техническим характеристикам вполне аналогична серии CCR, но предназначены для использования с контроллерами TPG от Pfeiffer Vacuum (имеют другой разъем и градуировку аналогового выхода).


• ВАРИАНТЫ ИСПОЛНЕНИЯ

Термостабилизированные (с контролем температуры) емкостные датчики серии CCR37х, CMR37х

Емкостные датчики выпускаются в термокомпенсированном исполнении - серии CCR36х, CMR36х и в термостабилизированном исполнении (с контролем температуры) - серии CCR37х, CMR37х. Термостабилизированные датчики (CCR37х, CMR37х) позволяют производить измерение давления с более высокой точностью (0.15%), чем термокомпенсированные (0,20% для CCR36х, CMR36х).

CCR361, CCR362, CCR363, CCR364, CCR365 - с термокомпенсацией, с разъемом DSUB15, прямые аналоги MKS Baratron®; варианты присоединения к вакуумной системе: OD1/2" (под компрессионное соединение), ISO-KF16, CF16, FVCR1/2";

CMR361, CMR362, CMR363, CMR364, CMR365 - с термокомпенсацией, для использования с контроллерами TPR от Pfeiffer Vacuum; варианты присоединения к вакуумной системе: OD1/2" (под компрессионное соединение), ISO-KF16, CF16, FVCR1/2";



• ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ЕМКОСТНЫХ ДАТЧИКОВ CCR36x, CMR36x (x=1,2,3,4,5) (с термокомпенсацией)

Характеристика / Параметр Ед.изм. CCR 361,
CMR 361
CCR 362,
CMR 362
CCR 363,
CMR 363
CCR 364,
CMR 364
CCR 365,
CMR 365
Тип датчика: емкостной (баратрон)
Диапазон измерения: мбар 1×10-1 ÷ 1×103 1×10-2 ÷ 1×102 1×10-3 ÷ 1×101 1×10-4 ÷ 1×100 1×10-5 ÷ 1×10-1
Предельно допустимое давление (абс.): бар 3 2 2 2 1.3>
Погрешность измерения давления: % 0.2 0.2 0.2 0.2 0.5
Материал мембраны: керамика (Al2O32 - 99.5%)
Материал корпуса датчика: нерж.сталь нерж.сталь нерж.сталь нерж.сталь нерж.сталь
Время отклика: мс 30 30 30 30 30
Встроенный индикатор: нет нет нет нет нет
Присоединение к вакуумной системе: ISO-KF16; CF16; F-VCR1/2" или компрессионное (грибковое) соединение OD1/2"
Диапазон рабочих температур: °С 5 - 50 5 - 50 5 - 50 5 - 50 5 - 50
Максимальная температура на фланце: °С 110 110 110 110 110
Напряжение питания (постоянное): °С 14 - 30 14 - 30 14 - 30 14 - 30 14 - 30
Потребляемая мощность: Вт <1.0 <1.0 <1.0 <1.00 <1.0
Цифровой выход: нет нет нет нет нет
Аналоговый выход: В 0-10 0-10 0-10 0-10 0-10
Класс защиты: IP30 IP30 IP30 IP30 IP30
Масса: г 310-370 310-370 310-370 310-370 310-370



• ГАБАРИТНЫЕ РАЗМЕРЫ

ЕМКОСТНЫЕ ДАТЧИКИ CCR ЕМКОСТНЫЕ ДАТЧИКИ CMR

Габаритный чертеж CCR
Размеры в мм

Габаритный чертеж CMR
Размеры в мм


• КАЛИБРОВКА АНАЛОГОВОГО ВЫХОДА ДАТЧИКОВ CCR36x, CMR36x

КАЛИБРОВКА АНАЛОГОВОГО ВЫХОДА ДАТЧИКОВ CCR36x КАЛИБРОВКА АНАЛОГОВОГО ВЫХОДА ДАТЧИКОВ CCR36x

КАЛИБРОВКА АНАЛОГОВОГО ВЫХОДА ДАТЧИКОВ CCR36x

КАЛИБРОВКА АНАЛОГОВОГО ВЫХОДА ДАТЧИКОВ CCR36x

p [мбар] = 1.3332 × F.S. [мбар] × (U [В] / 10)
p - давление в вакуумной системе;
U - напряжение на аналоговом выходе;
F.S. - максимальное измеряемое давление:

Model F.S., мбар
CCR361 1000
CCR362 100
CCR363 10
CCR364 1
CCR365 0.1

p [мбар] = 0.125 × F.S. [мбар] × (U [В] - 1)
p - давление в вакуумной системе;
U - напряжение на аналоговом выходе;
F.S. - максимальное измеряемое давление:

Model F.S., мбар
CMR361 1000
CMR362 100
CMR363 10
CMR364 1
CMR365 0.1

АКСЕССУАРЫ ДЛЯ ПРИСОЕДИНЕНИЯ И ПОДКЛЮЧЕНИЯ ДАТЧИКОВ
Кабель для датчика с выходом 0-10 В
Кабель для
датчиков с
выходом 0-10 В
Блок индикации TPG361
TPG361 Блок
индикации
1 канал
Блок индикации TPG362
TPG362 Блок
индикации
2 канала
Блок индикации VD10
TPG256 Блок
индикации
6 каналов
Центрующие кольца ISO-KF
Центрующие
кольца с
уплотнением
Центрующие кольца ISO-KF с фильтром
Центрующие
кольца с
фильтром
Хомуты ISO-KF
Хомуты для
соединений
ISO-KF
Переходники ISO-KF
Адаптеры
(переходники)
ISO-KF