|
ООО "АВАКС"
Научно-производственная фирма
ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ •
КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
|
|
|
|
|
Консультации on-line:
|
|
|
|
|
| Главная > Вакуумметры > Активные датчики и их контроллеры > Активные емкостные датчики Pfeiffer CCR36х, CMR36х с термокомпенсацией > |
Активные емкостные датчики Pfeiffer CCR36х, CMR36х с термокомпенсацией
|
|
- Прецизионное измерение давления (точность - до 0,15%);
- Независимость измерений от типа газа;
- Аналоговый (0-10 В) выход;
- Керамический сенсор (чувствительный элемент);
- Полная совместимость датчиков серии CCR с баратронами (Baratron®) MKS Instruments;
- Возможность использования в автоматизированных системах управления;
- Простота монтажа (установки), высокая надежность
|
• ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ
Емкостные датчики (также называемые "баратронами" по наименованию серии приборов MKS Instruments) обеспечивают прецизионное измерение остаточного давления (предназначены для низкого и среднего вакуума, от атмосферного давления до 1×10-5 Торр). Серия CCR является прямым аналогом MKS Baratron® (включая цоколевку разъема DSUB15 и градуировку аналогового выхода) и, соответственно могут использоваться с контроллерами от MKS Instruments. Серия CMR по своим техническим характеристикам вполне аналогична серии CCR, но предназначены для использования с контроллерами TPG от Pfeiffer Vacuum (имеют другой разъем и градуировку аналогового выхода).
• ВАРИАНТЫ ИСПОЛНЕНИЯ
|
Емкостные датчики выпускаются в термокомпенсированном исполнении - серии CCR36х, CMR36х и в термостабилизированном исполнении (с контролем температуры) - серии CCR37х, CMR37х. Термостабилизированные датчики (CCR37х, CMR37х) позволяют производить измерение давления с более высокой точностью (0.15%), чем термокомпенсированные (0,20% для CCR36х, CMR36х).
|
| — |
CCR361, CCR362, CCR363, CCR364, CCR365 - с термокомпенсацией, с разъемом DSUB15, прямые аналоги MKS Baratron®; варианты присоединения к вакуумной системе: OD1/2" (под компрессионное соединение), ISO-KF16, CF16, FVCR1/2";
|
| — |
CMR361, CMR362, CMR363, CMR364, CMR365 - с термокомпенсацией, для использования с контроллерами TPR от Pfeiffer Vacuum; варианты присоединения к вакуумной системе: OD1/2" (под компрессионное соединение), ISO-KF16, CF16, FVCR1/2";
|
|
• ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ЕМКОСТНЫХ ДАТЧИКОВ CCR36x, CMR36x (x=1,2,3,4,5) (с термокомпенсацией)
| Характеристика / Параметр |
Ед.изм. |
CCR 361,
CMR 361 |
CCR 362,
CMR 362 |
CCR 363,
CMR 363 |
CCR 364,
CMR 364 |
CCR 365,
CMR 365 |
| Тип датчика: |
|
емкостной (баратрон) |
| Диапазон измерения: |
мбар |
1×10-1 ÷ 1×103
| 1×10-2 ÷ 1×102 |
1×10-3 ÷ 1×101
| 1×10-4 ÷ 1×100 |
1×10-5 ÷ 1×10-1 |
| |
| Предельно допустимое давление (абс.): |
бар |
3 |
2 |
2 |
2 |
1.3> |
| Погрешность измерения давления: |
% |
0.2 |
0.2 |
0.2 |
0.2 |
0.5 |
| Материал мембраны: |
|
керамика (Al2O32 - 99.5%) |
| Материал корпуса датчика: |
|
нерж.сталь |
нерж.сталь |
нерж.сталь |
нерж.сталь |
нерж.сталь |
| Время отклика: |
мс |
30 |
30 |
30 |
30 |
30 |
| Встроенный индикатор: |
|
нет |
нет |
нет |
нет |
нет |
| Присоединение к вакуумной системе: |
|
ISO-KF16; CF16; F-VCR1/2" или компрессионное (грибковое) соединение OD1/2" |
| Диапазон рабочих температур: |
°С |
5 - 50 |
5 - 50 |
5 - 50 |
5 - 50 |
5 - 50 |
| Максимальная температура на фланце: |
°С |
110 |
110 |
110 |
110 |
110 |
| Напряжение питания (постоянное): |
°С |
14 - 30 |
14 - 30 |
14 - 30 |
14 - 30 |
14 - 30 |
| Потребляемая мощность: |
Вт |
<1.0 |
<1.0 |
<1.0 |
<1.00 |
<1.0 |
| Цифровой выход: |
|
нет |
нет |
нет |
нет |
нет |
| Аналоговый выход: |
В |
0-10 |
0-10 |
0-10 |
0-10 |
0-10 |
| Класс защиты: |
|
IP30 |
IP30 |
IP30 |
IP30 |
IP30 |
| Масса: |
г |
310-370 |
310-370 |
310-370 |
310-370 |
310-370 |
• ГАБАРИТНЫЕ РАЗМЕРЫ
| ЕМКОСТНЫЕ ДАТЧИКИ CCR |
ЕМКОСТНЫЕ ДАТЧИКИ CMR |
Размеры в мм |
Размеры в мм |
|
• КАЛИБРОВКА АНАЛОГОВОГО ВЫХОДА ДАТЧИКОВ CCR36x, CMR36x
| КАЛИБРОВКА АНАЛОГОВОГО ВЫХОДА ДАТЧИКОВ CCR36x |
КАЛИБРОВКА АНАЛОГОВОГО ВЫХОДА ДАТЧИКОВ CCR36x |
 |
 |
p [мбар] = 1.3332 × F.S. [мбар] × (U [В] / 10)
p - давление в вакуумной системе;
U - напряжение на аналоговом выходе;
F.S. - максимальное измеряемое давление:
| Model |
F.S., мбар |
| CCR361 |
1000 |
| CCR362 |
100 |
| CCR363 |
10 |
| CCR364 |
1 |
| CCR365 |
0.1 |
|
p [мбар] = 0.125 × F.S. [мбар] × (U [В] - 1)
p - давление в вакуумной системе;
U - напряжение на аналоговом выходе;
F.S. - максимальное измеряемое давление:
| Model |
F.S., мбар |
| CMR361 |
1000 |
| CMR362 |
100 |
| CMR363 |
10 |
| CMR364 |
1 |
| CMR365 |
0.1 |
|
|
|
АКСЕССУАРЫ ДЛЯ ПРИСОЕДИНЕНИЯ И ПОДКЛЮЧЕНИЯ ДАТЧИКОВ
|
|
Кабель для
датчиков с
выходом 0-10 В
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
давления
