Активные емкостные датчики Pfeiffer CCR36х, CMR36х с термокомпенсацией
Прецизионное измерение давления (точность - до 0,15%);
Независимость измерений от типа газа;
Аналоговый (0-10 В) выход;
Керамический сенсор (чувствительный элемент);
Полная совместимость датчиков серии CCR с баратронами (Baratron®) MKS Instruments;
Возможность использования в автоматизированных системах управления;
Простота монтажа (установки), высокая надежность.
Общие сведения
Емкостные датчики (также называемые "баратронами" по наименованию серии приборов MKS Instruments) обеспечивают прецизионное измерение остаточного давления (предназначены для низкого и среднего вакуума, от атмосферного давления до 1×10-5 Торр). Серия CCR является прямым аналогом MKS Baratron® (включая цоколевку разъема DSUB15 и градуировку аналогового выхода) и, соответственно могут использоваться с контроллерами от MKS Instruments. Серия CMR по своим техническим характеристикам вполне аналогична серии CCR, но предназначены для использования с контроллерами TPG от Pfeiffer Vacuum (имеют другой разъем и градуировку аналогового выхода).
Емкостные датчики выпускаются в термокомпенсированном исполнении - серии CCR36х, CMR36х и в термостабилизированном исполнении (с контролем температуры) - серии CCR37х, CMR37х. Термостабилизированные датчики (CCR37х, CMR37х) позволяют производить измерение давления с более высокой точностью (0.15%), чем термокомпенсированные (0,20% для CCR36х, CMR36х).
Варианты исполнения:
CCR361, CCR362, CCR363, CCR364, CCR365 - с термокомпенсацией, с разъемом DSUB15, прямые аналоги MKS Baratron®; варианты присоединения к вакуумной системе: OD1/2" (под компрессионное соединение), ISO-KF16, CF16, FVCR1/2";
CMR361, CMR362, CMR363, CMR364, CMR365 - с термокомпенсацией, для использования с контроллерами TPR от Pfeiffer Vacuum; варианты присоединения к вакуумной системе: OD1/2" (под компрессионное соединение), ISO-KF16, CF16, FVCR1/2".
Основные технические характеристики
Характеристика / Параметр
Ед. изм.
CCR 361, CMR 361
CCR 362, CMR 362
CCR 363, CMR 363
CCR 364, CMR 364
CCR 365, CMR 365
Тип датчика:
емкостной (баратрон)
Диапазон измерения:
мбар
1×10-1 ÷ 1×103
1×10-2 ÷ 1×102
1×10-3 ÷ 1×101
1×10-4 ÷ 1×100
1×10-5 ÷ 1×10-1
Предельно допустимое давление (абс.):
бар
3
2
2
2
1.3>
Погрешность измерения давления:
%
0.2
0.2
0.2
0.2
0.5
Материал мембраны:
керамика (Al2O32 - 99.5%)
Материал корпуса датчика:
нерж.сталь
нерж.сталь
нерж.сталь
нерж.сталь
нерж.сталь
Время отклика:
мс
30
30
30
30
30
Встроенный индикатор:
нет
нет
нет
нет
нет
Присоединение к вакуумной системе:
ISO-KF16; CF16; F-VCR1/2" или компрессионное (грибковое) соединение OD1/2"
Диапазон рабочих температур:
°С
5 - 50
5 - 50
5 - 50
5 - 50
5 - 50
Максимальная температура на фланце:
°С
110
110
110
110
110
Напряжение питания (постоянное):
°С
14 - 30
14 - 30
14 - 30
14 - 30
14 - 30
Потребляемая мощность:
Вт
<1.0
<1.0
<1.0
<1.00
<1.0
Цифровой выход:
нет
нет
нет
нет
нет
Аналоговый выход:
В
0-10
0-10
0-10
0-10
0-10
Класс защиты:
IP30
IP30
IP30
IP30
IP30
Масса:
г
310-370
310-370
310-370
310-370
310-370
Габаритные размеры
Емкостные датчики CCR
Емкостные датчики CMR
Размеры в мм
Размеры в мм
Калибровка аналогового выхода
p [мбар] = 1.3332 × F.S. [мбар] × (U [В] / 10)
p - давление в вакуумной системе;
U - напряжение на аналоговом выходе;
F.S. - максимальное измеряемое давление:
Model
F.S., мбар
CCR361
1000
CCR362
100
CCR363
10
CCR364
1
CCR365
0.1
Калибровка аналогового выхода датчика CMR
p [мбар] = 0.125 × F.S. [мбар] × (U [В] - 1)
p - давление в вакуумной системе;
U - напряжение на аналоговом выходе;
F.S. - максимальное измеряемое давление:
Model
F.S., мбар
CMR361
1000
CMR362
100
CMR363
10
CMR364
1
CMR365
0.1
Аксессуары для присоединения и подключения датчиков
давления
