Слабое внешнее магнитное поле - нет воздействия на расположенные рядом приборы и устройства;
Наличие керамического покрытия гермоввода (в хим. стойком исполнении), устойчивость к агрессивным средам;
Нет витоновых уплотнений (высоковакуумное исполнение);
Аналоговый выход 0-10 В;
Возможность использования в автоматизированных системах управления;
Простота монтажа (установки), высокая надежность при эксплуатации
Общие сведения
Датчики IKR360, IKR361 относятся к датчикам инверсно-магнетронного типа с холодным катодом и обеспечивают измерение остаточного давления в диапазоне от 1 × 10-2 до 1 × 10-8 мбар (в качестве средства технологического контроля может использоваться до 1 × 10-9 мбар). Особенностью датчиков серий IKR360, IKR361 является слабое внешнее магнитное поле (см. рис. справа), что позволяет использовать эти датчики вблизи приборов, чувствительных к воздействию магнитных полей. Присоединение к вакуумной системе - посредством стандартных фланцевых соединений (KF25, KF40 или СF40). IKR360, IKR361 рассчитаны на применение в высоковакуумных и сверхвысоковакуумных системах - в гермовводах не используется витон, только металлические уплотнения.
Рабочие токи преобразователя IKR360 ≤100 мА; преобразователя IKR361 - ≤500 мА. Поэтому, если датчик в основном работает в условиях высокого вакуума, рекомендуется использование IKR361. Если датчик часто работает при высоких давлениях лучше использовать IKR360 - меньше распыление конструктивных элементов датчика.
Исполнения для работы с химическими активными средами - IKR360С, IKR361С.
Сравнение внешнего магнитного поля датчиков IKR251 и IKR361
Варианты исполнения:
Модель
P/N (артикул)
Особенности исполнения
IKR360
PT T00 140 010
фланец ISO-KF25, низкий ток разряда (до 100 мА), стандартное исполнение
IKR360C
PT T00 140 011
фланец ISO-KF25, низкий ток разряда (до 100 мА), хим. стойкое исполнение
IKR360
PT T00 150 010
фланец ISO-KF40, низкий ток разряда (до 100 мА), стандартное исполнение
IKR360C
PT T00 150 011
фланец ISO-KF40, низкий ток разряда (до 100 мА), хим. стойкое исполнение
IKR360
PT T00 350 010
фланец СF40, низкий ток разряда (до 100 мА), стандартное исполнение
IKR360C
PT T00 350 011
фланец СF40, низкий ток разряда (до 100 мА), хим. стойкое исполнение
Модель
P/N (артикул)
Особенности исполнения
IKR361
PT T01 140 010
фланец ISO-KF25, ток разряда (до 500 мА), стандартное исполнение
IKR361C
PT T01 140 011
фланец ISO-KF25, ток разряда (до 500 мА), хим. стойкое исполнение
IKR361
PT T01 150 010
фланец ISO-KF40, ток разряда (до 500 мА), стандартное исполнение
IKR361C
PT T01 150 011
фланец ISO-KF40, ток разряда (до 500 мА), хим. стойкое исполнение
IKR361
PT T01 350 010
фланец СF40, ток разряда (до 500 мА), стандартное исполнение
IKR361C
PT T01 350 011
фланец СF40, ток разряда (до 500 мА), хим. стойкое исполнение
Основные технические характеристики
Характеристика / Параметр
Ед.изм.
IKR 360
IKR 360 C
IKR 361
IKR 361 C
Тип датчика:
–
магниторазрядный инверсно-магнетронный с холодным катодом
Диапазон измерения:
мбар
1×10-2 ÷ 1×10-8
1×10-2 ÷ 1×10-8
1×10-2 ÷ 1×10-8
1×10-2 ÷ 1×10-8
Диапазон отображаемых значений:
мбар
1×10-2 ÷ 1×10-9
1×10-2 ÷ 1×10-9
1×10-2 ÷ 1×10-9
1×10-2 ÷ 1×10-9
Максимальный рабочий ток датчика:
мА
100
100
500
500
Рекомендуемый для использования диапазон давлений:
–
средний и высокий вакуум
высокий вакуум
Материал анода:
–
молибден
молибден
молибден
молибден
Материал изолятора гермовводов:
–
стекло
стекло+Al2O3
стекло
стекло+Al2O3
Выходной сигнал (аналоговый выход):
В
2.5-8.5
2.5-8.5
2.5-8.5
2.5-8.5
Погрешность измерений в диапазоне 1×10-2 ÷ 1×10-8 мбар:
%
± 30
± 30
± 30
± 30
Диапазон температур окружающей среды:
oC
5 - 55
5 - 55
5 - 55
5 - 55
Напряжение питания (постоянное):
В
14.5-30
14.5-30
14.5-30
14.5-30
Максимальная потребляемая мощность:
Вт
2
2
2
2
Присоединительные фланцы:
–
KF25, KF40, CF40
Внутренний объем:
см3
19.9 (с фланцем KF25); 20.9 (с фланцем KF40); 25.2 (с фланцем СF40)
Максимальная температура на фланце (без электроники):
oC
150
150
150
150
Масса:
г
280 (с фланцем KF25); 320 (с фланцем KF40); 570 (с фланцем CF40)
давления
