|
ООО "АВАКС"
Научно-производственная фирма
ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ •
КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
|
|
|
|
|
Консультации on-line:
|
|
|
|
|
| Главная > Вакуумметры > Активные датчики и их контроллеры > Инверсно-магнетронные активные датчики с холодным катодом Pfeiffer IKR360, IKR361 > |
Инверсно-магнетронные активные датчики с холодным катодом Pfeiffer IKR360, IKR360C, IKR361, IKR361C
|
|
- Компактные размеры и малый вес (от 280 до 570 г);
- Нет нагреваемого катода;
- Слабое внешнее магнитное поле - нет воздействия на расположенные рядом приборы и устройства;
- Наличие керамического покрытия гермоввода (в хим. стойком исполнении), устойчивость к агрессивным средам;
- Нет витоновых уплотнений (высоковакуумное исполнение);
- Аналоговый выход 0-10 В;
- Возможность использования в автоматизированных системах управления;
- Простота монтажа (установки), высокая надежность при эксплуатации
|
• ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ
|
Датчики IKR360, IKR361 относятся к датчикам инверсно-магнетронного типа с холодным катодом и обеспечивают измерение остаточного давления в диапазоне от 1 × 10-2 до 1 × 10-8 мбар (в качестве средства технологического контроля может использоваться до 1 × 10-9 мбар). Особенностью датчиков серий IKR360, IKR361 является слабое внешнее магнитное поле (см. рис. справа), что позволяет использовать эти датчики вблизи приборов, чувствительных к воздействию магнитных полей. Присоединение к вакуумной системе - посредством стандартных фланцевых соединений (KF25, KF40 или СF40). IKR360, IKR361 рассчитаны на применение в высоковакуумных и сверхвысоковакуумных системах - в гермовводах не используется витон, только металлические уплотнения.
Рабочие токи преобразователя IKR360 ≤100 мА; преобразователя IKR361 - ≤500 мА. Поэтому, если датчик в основном работает в условиях высокого вакуума, рекомендуется использование IKR361. Если датчик часто работает при высоких давлениях лучше использовать IKR360 - меньше распыление конструктивных элементов датчика.
Исполнения для работы с химическими активными средами - IKR360С, IKR361С
|
|
Сравнение внешнего магнитного поля
датчиков IKR251 и IKR361 |
• ВАРИАНТЫ ИСПОЛНЕНИЯ
|
|
|
| IKR360 |
PT T00 140 010 |
фланец ISO-KF25, низкий ток разряда (до 100 мА), стандартное исполнение |
| IKR360C |
PT T00 140 011 |
фланец ISO-KF25, низкий ток разряда (до 100 мА), химически стойкое исполнение |
| IKR360 |
PT T00 150 010 |
фланец ISO-KF40, низкий ток разряда (до 100 мА), стандартное исполнение |
| IKR360C |
PT T00 150 011 |
фланец ISO-KF40, низкий ток разряда (до 100 мА), химически стойкое исполнение |
| IKR360 |
PT T00 350 010 |
фланец СF40, низкий ток разряда (до 100 мА), стандартное исполнение |
| IKR360C |
PT T00 350 011 |
фланец СF40, низкий ток разряда (до 100 мА), химически стойкое исполнение |
|
|
|
|
| IKR361 |
PT T01 140 010 |
фланец ISO-KF25, ток разряда (до 500 мА), стандартное исполнение |
| IKR361C |
PT T01 140 011 |
фланец ISO-KF25, ток разряда (до 500 мА), химически стойкое исполнение |
| IKR361 |
PT T01 150 010 |
фланец ISO-KF40, ток разряда (до 500 мА), стандартное исполнение |
| IKR361C |
PT T01 150 011 |
фланец ISO-KF40, ток разряда (до 500 мА), химически стойкое исполнение |
| IKR361 |
PT T01 350 010 |
фланец СF40, ток разряда (до 500 мА), стандартное исполнение |
| IKR361C |
PT T01 350 011 |
фланец СF40, ток разряда (до 500 мА), химически стойкое исполнение |
|
|
• ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ДАТЧИКОВ IKR360, IKR361
| Характеристика / Параметр |
Ед.изм. |
IKR 360 |
IKR 360 C |
IKR 361 |
IKR 361 C |
| Тип датчика: |
|
магниторазрядный инверсно-магнетронный с холодным катодом |
| Диапазон измерения: |
мбар |
1×10-2 ÷ 1×10-8 |
1×10-2 ÷ 1×10-8
| 1×10-2 ÷ 1×10-8 |
1×10-2 ÷ 1×10-8 |
|
| Диапазон отображаемых значений: |
мбар |
1×10-2 ÷ 1×10-9 |
1×10-2 ÷ 1×10-9 |
1×10-2 ÷ 1×10-9 |
1×10-2 ÷ 1×10-9 |
| Максимальный рабочий ток датчика: |
мА |
100 |
100 |
500 |
500 |
| Рекомендуемый для использования диапазон давлений: |
|
средний и высокий вакуум |
высокий вакуум |
| Материал анода: |
|
молибден |
молибден |
молибден |
молибден |
| Материал изолятора гермовводов: |
|
стекло |
стекло+Al2O3 |
стекло |
стекло+Al2O3 |
| Выходной сигнал (аналоговый выход): |
В |
2.5-8.5 |
2.5-8.5 |
2.5-8.5 |
2.5-8.5 |
| Погрешность измерений в диапазоне 1×10-2 ÷ 1×10-8 мбар: |
% |
± 30 |
± 30 |
± 30 |
± 30 |
| Диапазон температур окружающей среды: |
oC |
5 - 55 |
5 - 55 |
5 - 55 |
5 - 55 |
| Напряжение питания (постоянное): |
В |
14,5-30 |
14,5-30 |
14,5-30 |
14,5-30 |
| Максимальная потребляемая мощность: |
Вт |
2 |
2 |
2 |
2 |
| Присоединительные фланцы: |
|
KF25, KF40, CF40 |
KF25, KF40, CF40 |
KF25, KF40, CF40 |
KF25, KF40, CF40 |
| Внутренний объем: |
см3 |
19,9 (с фланцем KF25); 20,9 (с фланцем KF40); 25,2 (с фланцем СF40) |
| Максимальная температура на фланце (без электроники): |
oC |
150 |
150 |
150 |
150 |
| Масса: |
г |
280 (с фланцем KF25); 320 (с фланцем KF40); 570 (с фланцем CF40) |
| Рекомендуемые блоки индикации: |
|
Pfeiffer TPG |
| • ГАБАРИТНЫЕ РАЗМЕРЫ ДАТЧИКОВ IKR360, IKR361 |
|
 |
| Размеры в мм |
Датчики IKR360, IKR361 |
|
| • КАЛИБРОВКА АНАЛОГОВОГО ВЫХОДА IKR360, IKR361 |
|
 |
p = 10 (U [В] - C)
p - давление в вакуумной системе;
U - напряжение на аналоговом выходе;
C - коэффициент, зависящий от единиц измерения:
|
мбар |
Па |
Торр |
| C |
10.5 |
8.5 |
10.625 |
|
|
Расчет остаточного давления
по напряжению на аналоговом выходе IKR360, IKR361 |
|
|
АКСЕССУАРЫ ДЛЯ ПРИСОЕДИНЕНИЯ И ПОДКЛЮЧЕНИЯ ДАТЧИКОВ
|
|
Кабель для
датчиков с
выходом 0-10 В
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
давления
