Инверсно-магнетронные активные датчики с холодным катодом Pfeiffer IKR251, IKR261
Компактные размеры;
Нет нагреваемого катода;
Аналоговый выход 0-10 В;
Возможность использования в автоматизированных системах управления;
Простота монтажа (установки), высокая надежность при эксплуатации
Общие сведения
Датчики (манометрические преобразователи) IKR251, IKR261 относятся к датчикам инверсно-магнетронного типа датчикам с холодным катодом и обеспечивают измерение остаточного давления в диапазоне от 1 × 10-2 до 2 × 10-9 мбар. В преобразователях IKR251 уплотнение электрического гермоввода выполнено из витона (FKM), в IKR261- из металла. Присоединение к вакуумной системе - посредством стандартных фланцевых соединений (KF25, KF40 или СF40). Кроме стандартного исполнения, преобразователи IKR261 выпускаются в исполнении с удлиненной измерительной трубкой (позволяют производить измерение остаточного давления на камерах с прогревом).
Варианты исполнения:
— IKR251 PT R25 500 - уплотнение анода - FKM, фланец ISO-KF25, макс. температура на фланце (без электроники и магнита) - 150oC;
— IKR251 PT R25 501 - уплотнение анода - FKM, фланец ISO-KF40, макс. температура на фланце (без электроники и магнита) - 150oC;
— IKR251 PT R25 502 - уплотнение анода - FKM, фланец СF40, макс. температура на фланце (без электроники и магнита) - 150oC;
— IKR261 PT R25 750 - уплотнение анода - металл, фланец ISO-KF40, макс. температура на фланце (без электроники и магнита) - 250oC;
— IKR261 PT R25 751 - уплотнение анода - металл, фланец СF40, макс. температура на фланце (без электроники и магнита) - 250oC;
— IKR261 PT R25 761 - уплотнение анода - металл, фланец СF40, удлиненный датчик: макс. температура на фланце (с электроникой и магнитом) - 250oC
Основные технические характеристики датчиков IKR251
Характеристика / Параметр
Ед. изм.
IKR251 PT R25 500
IKR251 PT R25 501
IKR251 PT R25 502
Принцип измерения:
–
магниторазрядный инверсно-магнетронный с холодным катодом
Диапазон измерения:
мбар
1×10-2 ÷ 2×10-9
1×10-2 ÷ 2×10-9
1×10-2 ÷ 2×10-9
Материал анода:
–
молибден
молибден
молибден
Уплотнение анода:
–
FKM (витон)
FKM (витон)
FKM (витон)
Выходной сигнал (аналоговый выход):
В
1.8 - 8.5
1.8 - 8.5
1.8 - 8.5
Погрешность измерений в диапазоне 1×10-8 ÷ 1×10-3 мбар:
%
± 30
± 30
± 30
Диапазон рабочих температур окружающей среды:
oC
5 - 55
5 - 55
5 - 55
Напряжение питания (постоянное):
В
15 - 30
15 - 30
15 - 30
Максимальная потребляемая мощность:
Вт
15 - 30
15 - 30
15 - 30
Присоединительные фланцы:
Вт
ISO-KF25
ISO-KF40
CF40
Внутренний объем:
см3
≈ 20
≈ 20
≈ 20
Максимальная температура на фланце (без электроники и магнита):
*) Прогрев со снятым электронным блоком и магнитом; **) Модификация с фланцем CF40 и удлиненным корпусом (IKR261 PT R25 761) допускает прогрев до температуры 250 oC в рабочем состоянии (с магнитом и электроникой).
Габаритные размеры
Датчики PKR251 (PT R25 500) Размеры в мм
Датчики PKR251 (PT R25 501, PT R25 502), PKR261 (PT R25 750, PT R25 751) Размеры в мм
Датчики PKR261 (PT R25 761) (удлиненный корпус) Размеры в мм
Градуировка аналогово выхода
p = 10 U - C
p – давление в вакуумной системе;
U – напряжение на аналоговом выходе;
С – коэффициент, зависящий от выбора единиц измерения:
мбар
Па
Торр
C
10.5
8.5
10.625
Аксессуары для присоединения и подключения датчиков
давления
