Функция запорного клапана в сочетании с функцией регулировки и поддержания давления на заданном пользователем уровне;
Точная регулировка скорости откачки/потока;
Встроенный контроллер для регулировки давления
Компактность;
Общие сведения
Дисковые клапаны / затворы BFV-ISOFxx-APC сочетают функции запорного клапана с функцией регулировки и поддержания давления на заданном пользователем уровне. Привод - на основе шагового двигателя, клапан оснащен контроллером, который может устанавливать диск затвора в заданном положении, в том числе по сигналу обратной связи с активного датчика остаточного давления, имеющего аналоговый выход 0-10 В (тем самым обеспечивая поддержание давления на предустановленном уровне). Общая схема подключения для обеспечения автоматической регулировки давления приведена на рисунке ниже.
1 -
BFV-ISOFxx-APC
2 -
Вакуумная камера / система
3 -
Магистраль подачи газа с отсечным клапаном
4 -
Активный датчик остаточного давления / вакуумметр с аналоговым выходом 0-10 В и напряжением питания 24 В постоянного тока
5 -
Кабель датчика / вакуумметра
6 -
Контроллер и исполнительный механизм клапана BFV-ISOFxx-APC
7 -
Кабель для подключения внешней системы управления (компьютер, PLC и др.) - RS232 или RS485
8 -
Кабель подключения источника питания
9 -
Вакуумный насос
Тип/Геометрия:
дисковый, электромеханический (шаговый двигатель) запорный + автоматическая регулировка и поддержание давления
Изоляция штока привода:
компрессионное уплотнение (FKM, o'ring)
Материал внешнего уплотнения:
FKM
Уплотнение поворотного диска:
FKM
Диаметр условного прохода (DN):
63, 80, 100, 160(150) мм
Материал корпуса:
нерж.сталь AISI 304
Минимальное остаточное давление:
1×10-8 Торр
Производитель:
Highlight Tech. Corp., Тайвань
Основные технические характеристики
Характеристика (параметр)
Ед.изм.
BFV-ISOF63-APC
BFV-ISOF80-APC
BFV-ISOF100-APC
BFV-ISOF160-APC
Тип привода
–
электромеханический
Исполнительный механизм
–
шаговый двигатель
Макс. температура (без контроллера)
°C
110
110
110
110
Макс. температура (с контроллером)
°C
70
70
70
70
Мин. рабочее давление
мбар
10-8
10-8
10-8
10-8
Макс. рабочее давление
бар
1.2
1.2
1.2
1.2
Макс. перепад давлений для открытия
бар
0.2
0.2
0.2
0.2
Стандарт фланцев
–
ISO-F63
ISO-F80
ISO-F100
ISO-F160
Натекание, уплотнение седла
мбар×л/с
10-9
10-9
10-9
10-9
Натекание, внешнее уплотнение
мбар×л/с
10-9
10-9
10-9
10-9
Материал корпуса, диска, штока
–
AISI304
AISI304
AISI304
AISI304
Материал уплотнений
–
FKM
FKM
FKM
FKM
Монтажное положение
–
любое
любое
любое
любое
Время открытия/закрытия
с
0.85
0.85
0.85
3.5
Напряжение питания (пост.ток)
В
24
24
24
24
Макс. отклонение напряжения питания
%
10
10
10
10
Кол-во каналов для датчика давления
шт
2
2
2
2
Выходное напряжение датчика *)
В
0-10
0-10
0-10
0-10
Время измерения сигнала с датчика
мс
≤1
≤1
≤1
≤1
Входное сопротивление
кОм
21
21
21
21
Точность поддержания давления
% F.R.
0.1
0.1
0.1
0.1
Макс. момент
кг×см
30
30
30
30
Разрешение по позиции
шаг
8000
8000
8000
8000
Примечание:*) Выходное напряжение активного датчика остаточного давления должно быть линейным в полулогарифмическом масштабе
Габаритные размеры
Модель
A, мм
B, мм
C, мм
D, мм
E, мм
F, мм
G, мм
BFV-ISOF63-APC (ISOF63BFVC)
30
15
21
130
267
327
90
BFV-ISOF80-APC (ISOF80BFVC)
30
26
26
145
275
344
90
BFV-ISOF100-APC (ISOF100BFVC)
30
36
36
165
286
363
90
BFV-ISOF160-APC (ISOF160BFVC)
40
57
57
225
429
536
110
Модель
H, мм
I×No
W, мм*)
P.C.D., мм
Стандарт фланцев
BFV-ISOF63-APC (ISOF63BFVC)
130
M8×4
12
110
ISO-F63
BFV-ISOF80-APC (ISOF80BFVC)
130
M8×8
12
125
ISO-F80
BFV-ISOF100-APC (ISOF100BFVC)
130
M8×8
12
145
ISO-F100
BFV-ISOF160-APC (ISOF160BFVC)
140
M10×8
15
200
ISO-F160
*) W - глубина резьбы в корпусе клапана / затвора
Конструкция
Устройство клапана / затвора и внешнего уплотнения
Вся информация о товарах, услугах и ценах, предоставленная на данном интернет-сайте, носит исключительно информационный характер и
ни при каких условиях не является публичной офертой, определяемой положениями Статьи 437 Гражданского кодекса Российской Федерации.
давления
