ООО "АВАКС"
    Научно-производственная фирма

    ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ












    Консультации on-line:
    ICQ: 281785897
    Skype: AVACUUM

    E-mail: info@avacuum.ru
    Web: https://www.avacuum.ru

    Тел: +7 (812) 702-82-28
    +7 (812) 372-55-45
    Факс: +7 (812) 372-55-45

    Главная > Вакуумные установки > Установки напыления > Установки магнетронного распыления >

    Установки магнетронного распыления


    • возможность нанесения нескольких покрытий в одном технологическом цикле;
    • при изготовлении установки используются комплектующие ведущих мировых производителей компонентов вакуумного оборудования;
    • оптимальное соотношение цена / качество



    • ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ

    При изготовлении технологического вакуумного оборудования во многих случаях необходима оптимизация конструкции установки и ее оснастки под планируемые заказчиком технологические процессы и операции. Поэтому ООО "АВАКС" изготавливает установки вакуумного напыления по индивидуальному техническому заданию, разработанному совместно с заказчиком.

    Для оптимизации стоимости установок мы используем следующий подход:

    • В ООО "АВАКС" разработан ряд унифицированных узлов и систем для вакуумных установок. При проектировании и изготовлении максимально используются тот или иной вариант исполнения этих унифицированных систем. При необходимости в них производятся доработки или изменения в соответствии с техническим заданием. Поэтому, несмотря на то, что установки изготавливаются по индивидуальному техническому заданию, в основе конструкции систем установки оказывается достаточно большая доля деталей и узлов, изготавливающихся серийно.
    • При создании установки могут быть использованы вакуумные камеры и станины от выпускавшегося ранее оборудования (например, УВН и др.) - это позволяет уменьшить стоимость изготавливаемого вакуумного оборудования. При необходимости, по желанию заказчика, а также для решения нестандартных задач, проектируются и изготавливаются новые вакуумные камеры.


    • ТИПОВЫЕ ИСПОЛНЕНИЯ

    В приведенной ниже таблице перечислены основные варианты исполнения и комплектации установок магнетронного распыления, изготавливаемых ООО "АВАКС".

    Габаритные размеры вакуумной камеры: - Ø500×650 мм или
    - Ø500×400 мм или
    - по заказу
    Высоковакуумный насос: - паромасляный или
    - турбомолекулярный (Leybold Turbovac 600C для вакуумной камеры Ø500×650 мм)
    Насос предварительной откачки: - пластинчато-роторный (для паромасляного насоса) или
    - спиральный (ISP-250C для турбомолекулярного насоса Leybold Turbovac 600C)
    Вакуумная система: - DN25 (ДУ25) ISO-KFили
    - DN25 - DN50 ISO-KF (для вакуумных камер других размеров)
    Запорная арматура вакуумной системы: - байпасный клапан
    - клапан откачки форвакуумного насоса
    - клапан напуска воздуха в форвакуумную магистраль
    - клапан напуска воздуха в вакуумную камеру
    - высоковакуумный затвор
    Блок управления вакуумной системой: - АВ2107,
    с функцией управления системой стабилизации давления рабочего газа в вакуумной камере
    Система поддержания постоянного давления рабочего газа в вакуумной камере: - АВ6901,
    (система управляемого дросселирования откачки в автоматическом режиме)
    Система подачи рабочего газа в вакуумную камеру: - двухканальная АВ4202, с блоком управления АВ2201 или
    - по заказу
    Устройства магнетронного распыления: - постоянного тока АВ5100 или
    - высокочастотные АВ5200 или
    - постоянного тока АВ5100 и высокочастотные АВ5200
    Количество устройств магнетронного распыления в вакуумной камере: - от 1 до 3 шт в вакуумных камерах Ø500×650 мм и Ø500×400 мм или
    - по заказу
    Расположение устройств магнетронного распыления в вакуумной камере: - горизонтально, на основании вакуумной камеры или
    - вертикально (мишень магнетрона перепендикулярна основанию вакуумной камеры)
    Система ионной очистки в плазме тлеющего разряда: - АВ5411 тлеющий разряд над распределенным электродом,
    включается в комплектацию установки по заказу
    Система нагрева: - АВ5310 до 450°С ,
    включается в комплектацию установки по заказу
    - по заказу
    Привод перемещения карусели/планетарного механизма с блоком управления: - АВ6010, на основе шагового двигателя, с регулируемым числом оборотов карусели/планетарного механизма. Для карусели предусмотрен механизм автоматического позиционирования над заданной позицией.
    Размещение подложек (объектов, на которые производится напыление): - на карусели или
    - на планетарном механизме
    Система контроля толщины: - Inficon, включается в комплектацию установки по заказу
    Дополнительное оборудование: - экраны
    - гермовводы охлаждения
    - гермовводы электрические
    - заслонки
    - и др.