ООО "АВАКС"
Научно-производственная фирма

ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ













Консультации on-line:
ICQ: 281785897
Skype: AVACUUM

E-mail: info@avacuum.ru
Web: https://www.avacuum.ru

Тел: +7 (812) 702-82-28
+7 (812) 372-55-45
Факс: +7 (812) 372-55-45

Главная > Вакуумные установки > Установки напыления > Установки магнетронного распыления >

Установки магнетронного распыления


  • возможность нанесения нескольких покрытий в одном технологическом цикле;
  • при изготовлении установки используются комплектующие ведущих мировых производителей компонентов вакуумного оборудования;
  • оптимальное соотношение цена / качество



• ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ

При изготовлении технологического вакуумного оборудования во многих случаях необходима оптимизация конструкции установки и ее оснастки под планируемые заказчиком технологические процессы и операции. Поэтому ООО "АВАКС" изготавливает установки вакуумного напыления по индивидуальному техническому заданию, разработанному совместно с заказчиком.

Для оптимизации стоимости установок мы используем следующий подход:

  • В ООО "АВАКС" разработан ряд унифицированных узлов и систем для вакуумных установок. При проектировании и изготовлении максимально используются тот или иной вариант исполнения этих унифицированных систем. При необходимости в них производятся доработки или изменения в соответствии с техническим заданием. Поэтому, несмотря на то, что установки изготавливаются по индивидуальному техническому заданию, в основе конструкции систем установки оказывается достаточно большая доля деталей и узлов, изготавливающихся серийно.
  • При создании установки могут быть использованы вакуумные камеры и станины от выпускавшегося ранее оборудования (например, УВН и др.) - это позволяет уменьшить стоимость изготавливаемого вакуумного оборудования. При необходимости, по желанию заказчика, а также для решения нестандартных задач, проектируются и изготавливаются новые вакуумные камеры.


• ТИПОВЫЕ ИСПОЛНЕНИЯ

В приведенной ниже таблице перечислены основные варианты исполнения и комплектации установок магнетронного распыления, изготавливаемых ООО "АВАКС".

Габаритные размеры вакуумной камеры: - Ø500×650 мм или
- Ø500×400 мм или
- по заказу
Высоковакуумный насос: - паромасляный или
- турбомолекулярный (Leybold Turbovac 600C для вакуумной камеры Ø500×650 мм)
Насос предварительной откачки: - пластинчато-роторный (для паромасляного насоса) или
- спиральный (ISP-250C для турбомолекулярного насоса Leybold Turbovac 600C)
Вакуумная система: - DN25 (ДУ25) ISO-KFили
- DN25 - DN50 ISO-KF (для вакуумных камер других размеров)
Запорная арматура вакуумной системы: - байпасный клапан
- клапан откачки форвакуумного насоса
- клапан напуска воздуха в форвакуумную магистраль
- клапан напуска воздуха в вакуумную камеру
- высоковакуумный затвор
Блок управления вакуумной системой: - АВ2107,
с функцией управления системой стабилизации давления рабочего газа в вакуумной камере
Система поддержания постоянного давления рабочего газа в вакуумной камере: - АВ6901,
(система управляемого дросселирования откачки в автоматическом режиме)
Система подачи рабочего газа в вакуумную камеру: - двухканальная АВ4202, с блоком управления АВ2201 или
- по заказу
Устройства магнетронного распыления: - постоянного тока АВ5100 или
- высокочастотные АВ5200 или
- постоянного тока АВ5100 и высокочастотные АВ5200
Количество устройств магнетронного распыления в вакуумной камере: - от 1 до 3 шт в вакуумных камерах Ø500×650 мм и Ø500×400 мм или
- по заказу
Расположение устройств магнетронного распыления в вакуумной камере: - горизонтально, на основании вакуумной камеры или
- вертикально (мишень магнетрона перепендикулярна основанию вакуумной камеры)
Система ионной очистки в плазме тлеющего разряда: - АВ5411 тлеющий разряд над распределенным электродом,
включается в комплектацию установки по заказу
Система нагрева: - АВ5310 до 450°С ,
включается в комплектацию установки по заказу
- по заказу
Привод перемещения карусели/планетарного механизма с блоком управления: - АВ6010, на основе шагового двигателя, с регулируемым числом оборотов карусели/планетарного механизма. Для карусели предусмотрен механизм автоматического позиционирования над заданной позицией.
Размещение подложек (объектов, на которые производится напыление): - на карусели или
- на планетарном механизме
Система контроля толщины: - Inficon, включается в комплектацию установки по заказу
Дополнительное оборудование: - экраны
- гермовводы охлаждения
- гермовводы электрические
- заслонки
- и др.