• ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ
Вакуумные откачные посты предназначены для безмасляной откачки вакуумных систем. В состав поста входят турбомолекулярный и спиральный насосы, вакуумная система с байпасной линией откачки, средства измерения остаточного давления. Откачиваемый объект присоединяется к фланцу ысоковакуумного затвора, отсекающего турбомолекулярный насос от откачиваемого объема (непосредственно или через гибкое сильфонное соединение).
Вакуумные откачные посты изготавливаются по техническому заданию Заказчика (например, могут быть использованы манометрические преобразователи различного типа и различных производителей).
• ТИПОВЫЕ ИСПОЛНЕНИЯ
| • Высоковакуумный насос |
|
Edwards EXT75DX |
|
Leybold Turbovac 151C |
| • Скорость откачки высоковакуумного насоса по азоту, л/с: |
|
61 |
|
145 |
| • Присоединительный фланец |
|
ISO-K63 |
|
ISO-K100 |
| • насос предварительной откачки: |
|
XDS-10 |
|
ISP-90 |
| • Байпасная линия откачки |
|
DN16 (ДУ16) |
|
DN25 (ДУ25) |
| • Форвакуумный и байпасный клапаны |
|
XLS-16 или XLH-16 |
|
XLS-25 или XLH-25 |
| • Высоковакуумный затвор |
|
GVB-SS-ISO63 |
|
GVB-SS-ISO100 |
| • Манометрический преобразователь форвакуумной линии |
|
APG100 или аналог |
|
APG100 или аналог |
| • Манометрический преобразователь высоковакуумного объема |
|
WRG или аналог |
|
WRG или аналог |
|
давления
