Общие сведения о мембранных насосах
Мембранные вакуумные насосы относятся к категории "сухих" форвакуумных механических вакуумных насосов объемного действия.
(
Классификация) Другое название мембранных насосов - диафрагменные насосы.
Предельное давление остаточных газов, которое может быть достигнуто с использованием мембранного насоса, 1-5 Торр.
Максимальная (быстрота откачки) обычно не превышает 4-5 м
3/ч. Применение ограничено достаточно высоким предельным
остаточным давлением и невысокой производительностью. Используются для откачки небольших объемов. В компактных откачных
постах применяются в паре с небольшими турбомолекулярными насосами, допускающими высокие давления на выхлопном патрубке.
Мембранные насосы имеют простую конструкцию и, как следствие, высокую ремонтопригодность.
Достоинства и недостатки мембранных вакуумных насосов
Недостатки:
- мембранные насосы имеют высокое остаточное давление;
- невысокая производительность;
Достоинства:
- мембранные насосы компактны, имеют небольшие размеры и малый вес
- отсутствие рабочей жидкости ("сухие")
- мембранный насос имеет простую конструкцию и высокую ремонтопригодность
- низкий уровень шума
- низкие эксплуатационные расходы
- низкая цена
Конструкция мембранного вакуумного насоса
Мембранный насос имеет очень простую конструкцию и дешевые расходные материалы.
Основным элементом мембранного вакуумного насоса является эластичная мембрана 2, являющаяся одной из стенок рабочей камеры 3. Мембрана по периметру
жестко закреплена, центральная часть эластичной мембраны может совершать
возвратно-поступательные движения, изменяя объем рабочей камеры насоса. Входной и выхлопной порты 6 и 7 мембранного насоса снабжены
обратными клапанами 5 и 4, пропускающими поток газа в одном направлении.