Электронным пучком

Резистивно

Магнетронное распыление

Испарителя

Тигля

AlSb

Антимонид Алюминия

-

-

ВЧ

-

-

1080

4,3

-

-

-

AlAs

Арсенид Алюминия

-

-

ВЧ

-

-

1600

3,7

-

-

~ 1300

AlBr₃

Бромид
Алюминия

-

+

ВЧ

Mo

Графит

97

2,64

-

-

~ 50

Al₄C₃

Карбид
Алюминия

+

-

ВЧ

-

-

~1400

2,36

-

-

~ 800

Al2%Cu

Алюминий, 2% Медь

-

-

ВЧ, ПТ

-

-

640

2,82

-

-

-

AlF₃

Фторид
Алюминия

+

+

ВЧ

Mo, W, Ta

Графит

1291

2,88

410

490

700

AlN

Алюминия
Нитрид

+

-

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

-

-

>2200

3,26

-

-

~1750

AlP

Алюминия
Фосфид

-

-

ВЧ

-

-

2000

2,42

-

-

-

Al2%Si

Алюминий, 2% Кремний

-

-

ВЧ, ПТ

-

TiB₂-BN

640

2,69

-

-

1010

Sb₂Se₃

Селенид Сурьмы

-

+

ВЧ

Ta

C

611

-

-

-

-

Sb₂S₃

Сульфид Сурьмы

+

+

-

Mo, Ta

Al₂O₃

550

4,64

-

-

~200

Sb₂Te₃

Теллурид Сурьмы

-

-

ВЧ

-

C

629

6,5

-

-

600

As₂Se₃

Мышьяка Селенид

-

-

ВЧ

-

Al₂O₃, КВАРЦ

~360

4,75

-

-

-

As₂S₃

Мышьяка Сульфид

+

+

ВЧ

Mo

Al₂O₃, КВАРЦ

300

3,43

-

-

~400

As₂Te₃

Мышьяка Теллурид

-

+

-

Flash

-

362

-

-

-

-

BaCl₂

Хлорид Бария

-

+

ВЧ

Ta, Mo

-

963

3,92

-

-

~650

BaF₂

Фторид Бария

+

+

ВЧ

Mo

-

1355

4,89

-

-

~700

BaS

Сульфид Бария

-

+

ВЧ

Mo

-

1200

4,25

-

-

1100

Be₂C

Карбид Бериллия

-

-

-

-

-

>2100

1,9

-

-

-

BeCl₂

Хлорид Бериллия

-

-

ВЧ

-

-

405

1,9

-

-

~150

BeF₂

Фторид Бериллия

+

-

-

-

-

800

1,99

-

-

~200

Bi₂Se₃

Селенид Висмута

+

-

ВЧ

-

Графит, КВАРЦ

710

6,82

-

-

~650

Bi₂S₃

Сульфид Висмута

-

-

ВЧ

-

-

685

7,39

-

-

-

Bi₂Te₃

Теллурид Висмута

-

+

ВЧ

W, Mo

Графит, КВАРЦ

573

7,7

-

-

~600

B₄C

Карбид Бора

+

-

ВЧ

-

-

2350

2,52

2500

2580

2650

BN

Бора
Нитрид

+

-

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

-

-

~3000

2,25

-

-

~1600

Cd₃Sb₂

Кадмия Антимонид

-

-

-

-

-

456

6,92

-

-

-

Cd₃As₂

Арсенид Кадмия

-

-

ВЧ

-

КВАРЦ

721

6,21

-

-

-

CdBr₂

Бромид Кадмия

-

-

-

-

-

567

5,19

-

-

~300

CdCl₂

Хлорид Кадмия

-

-

-

-

-

568

4,05

-

-

~400

CdF₂

Фторид Кадмия

-

-

ВЧ

-

-

1100

6,64

-

-

~500

CdI₂

Йодид
Кадмия

-

-

-

-

-

387

5,67

-

-

~250

CdSe

Селенид Кадмия

+

+

ВЧ

Mo, Ta

Al₂O₃, КВАРЦ

>1350

5,81

-

-

540

CdS

Сульфид Кадмия

+

+

ВЧ

W, Mo, Ta

Al₂O₃, КВАРЦ

1750

4,82

-

-

550

CdTe

Теллурид Кадмия

-

+

ВЧ

W, Mo, Ta

-

1121

5,85

-

-

450

CaF₂

Фторид Кальция

-

+

ВЧ

W, Mo, Ta

КВАРЦ

1423

3,18

-

-

~1100

CaS

Сульфид Кальция

-

+

ВЧ

Mo

-

-

2,5

-

-

1100

CeF₃

Фторид Церия

+

+

ВЧ

W, Mo, Ta

-

1460

6,16

-

-

~900

CsBr

Бромид
Цезия

-

+

ВЧ

W

-

636

3,04

-

-

~400

CsCl

Хлорид
Цезия

-

+

ВЧ

W

-

645

3,99

-

-

~500

CsF

Фторид
Цезия

-

+

ВЧ

W

-

682

4,12

-

-

~500

CsI

Йодид
Цезия

-

+

ВЧ

W

Pt, КВАРЦ

626

4,51

-

-

~500

CrB

Борид
Хрома

-

-

ВЧ, ПТ

-

-

2760(?)

6,17

-

-

-

CrBr₂

Бромид
Хрома

-

+

ВЧ

Incl

-

842

4,36

-

-

550

Cr₃C₂

Карбид
Хрома

+

+

ВЧ, ПТ

W

-

1980

6,68

-

-

~2000

CrCl₂

Хлорид
Хрома

-

+

ВЧ

Fe, Incl

-

824

2,88

-

-

550

Cr₃Si₂

Силицид Хрома

-

-

ВЧ, ПТ

-

-

-

5,5

-

-

-

CoBr₂

Бромид Кобальта

-

+

ВЧ

Incl

-

678

4,91

-

-

400

CoCl₂

Хлорид Кобальта

-

+

ВЧ

Incl

-

724

3,36

-

-

472

CuCl

Медный Хлорид

-

-

ВЧ

-

-

430

4,14

-

-

~600

Cu₂S

Медный Сульфид

-

-

-

-

-

1100

5,6

-

-

-

DyF₃

Фторид Диспрозия

+

+

ВЧ

Ta

-

1360

-

-

-

~800

ErF₃

Фторид
Эрбия

-

+

ВЧ

Mo

-

1350

-

-

-

~750

EuF₂

Фторид Европия

-

+

ВЧ

Mo

-

1380

6,5

-

-

~950

EuS

Сульфид Европия

+

-

ВЧ

-

-

-

5,75

-

-

-

GdC₂

Карбид Гадолиния

-

-

ВЧ

-

C

-

-

-

-

1500

GaSb

Галлия Антимонид

+

+

ВЧ

W, Ta

-

710

5,6

-

-

-

GaAs

Арсенид Галлия

+

+

ВЧ

W, Ta

C

1238

5,3

-

-

-

GaN

Галлия Нитрид

-

-

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

-

Al₂O₃

800

6,1

-

-

~200

GaP

Фосфид Галлия

-

+

ВЧ

W, Ta

КВАРЦ

1540

4,1

-

770

920

Ge₃N₂

Германий Нитрид

-

-

ВЧ РЕАКТИВНОЕ

-

-

450

5,2

-

-

~650

GeTe

Теллурид Германия

-

+

ВЧ

W, Mo

КВАРЦ, Al₂O₃

725

6,2

-

-

381

HfB₂

Борид
Гафния

-

-

ПТ, ВЧ

-

-

3250

10,5

-

-

-

HfC

Карбид Гафния

-

-

ПТ, ВЧ

-

-

~3890

12,2

-

-

~2600

HfN

Гафний Нитрид

-

-

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

-

-

3305

-

-

-

-

HfSi₂

Силицид Гафния

-

-

ВЧ

-

-

1750

7,2

-

-

-

HoF₃

Фторид Гольмия

-

-

ПТ, ВЧ

-

КВАРЦ

1143

-

-

-

~800

InSb

Индия Антимонид

-

+

ВЧ

W

-

535

5,8

-

-

-

InAs

Арсенид Индия

-

+

ВЧ

W

-

943

5,7

780

870

970

InN

Индия
Нитрид

-

-

-

-

-

1200

7

-

-

-

InP

Фосфид Индия

-

+

ВЧ

W, Ta

Графит

1070

4,8

-

630

730

In₂Se₃

Селенид Индия

-

-

ВЧ

-

-

890

5,67

-

-

-

In₂S

Сульфид Индия (I)

-

-

ВЧ

-

Графит

653

5,87

-

-

650

InS

Сульфид Индия (II)

-

-

ВЧ

-

Графит

692

5,18

-

-

650

In₂S₃

Сульфид Индия (III)

-

-

ВЧ

-

Графит

1050

4,9

-

-

850

InTe

Теллурид Индия (II)

-

-

-

-

-

696

6,29

-

-

-

In₂Te₃

Теллурид Индия (III)

-

-

ВЧ

-

-

667

5,78

-

-

-

FeBr₂

Железа
Бромид

-

-

ВЧ

-

Fe

684

4,64

-

-

561

FeCl₂

Железа Хлорид

-

-

ВЧ

-

Fe

670

3,16

-

-

300

FeI₂

Железа
Йодид

-

-

ВЧ

-

Fe

-

5,32

-

-

400

FeS

Железа Сульфид

-

-

ВЧ

-

Al₂O₃

1193

4,74

-

-

-

LaB₆

Борид Лантана

+

-

ВЧ

-

-

2210

2,61

-

-

-

LaBr₃

Бромид Лантана

-

-

ВЧ

-

-

783

5,06

-

-

-

LaF₃

Фторид Лантана

+

+

ВЧ

Ta, Mo

-

1490

~6,0

-

-

900

PbBr₂

Бромид Свинца

-

-

-

-

-

373

6,66

-

-

~300

PbCl₂

Хлорид Свинца

-

+

ВЧ

Pt

Al₂O₃

501

5,85

-

-

~325

PbF₂

Фторид Свинца

-

+

ВЧ

W, Pt, Mo

BeO

855

8,24

-

-

~400

PbI₂

Йодид
Свинца

-

Pt

-

Pt

КВАРЦ

402

6,16

-

-

~500

PbSe

Селенид Свинца

-

+

ВЧ

W, Mo

Графит, Al₂O₃

1065

8,1

-

-

~500

PbS

Сульфид Свинца

-

+

ВЧ

W

КВАРЦ, Al₂O₃

1114

7,5

-

-

500

PbTe

Теллурид Свинца

-

+

ВЧ

Mo, Pt, Ta

Al₂O₃, Графит

917

8,16

780

910

1050

LiBr

Лития
Бромид

-

+

ВЧ

Ni

-

550

3,46

-

-

~500

LiCl

Лития
Хлорид

-

+

ВЧ

Ni

-

605

2,07

-

-

400

LiF

Лития
Фторид

+

+

ВЧ

Ni, Ta, Mo, W

Al₂O₃

845

2,64

875

1020

1180

LiI

Лития
Йодид

-

+

ВЧ

Mo, W

-

449

4,08

-

-

400

MgBr₂

Бромид Магния

-

+

ВЧ

Ni

-

700

3,72

-

-

~450

MgCl₂

Хлорид Магния

-

+

ВЧ

Ni

-

714

2,32

-

-

400

MgF₂

Фторид Магния

+

+

ВЧ

Mo, Ta

Al₂O₃

1261

2,9-3,2

-

-

1000

MgI₂

Йодид
Магния

-

+

ВЧ

Ir

-

<637

4,43

-

-

200

MnBr₂

Бромид Марганца

-

+

ВЧ

Incl

-

-

4,39

-

-

500

MnCl₂

Хлорид Марганца

-

+

ВЧ

Incl

-

650

2,98

-

-

450

MnS

Сульфид Марганца

-

+

ВЧ

Mo

-

-

3,99

-

-

1300

HgS

Ртути Сульфид

-

-

ВЧ

-

Al₂O₃

584

8,1

-

-

250

MoB₂

Борид Молибдена

-

ВЧ, ПТ

-

-

2100

7,12

-

-

-

Mo₂C

Карбид Молибдена

+

-

ВЧ, ПТ

-

-

2687

8,9

-

-

-

MoS₂

Дисульфид Молибдена

-

-

ВЧ

-

-

1185

4,8

-

-

~50

MoSi₂

Силицид Молибдена

-

+

ВЧ

W

-

2050

6,31

-

-

-

NdF₃

Неодима Фторид

+

+

ВЧ

Mo, W

Al₂O₃

1410

6,5

-

-

~900

NiBr₂

Бромид Никеля

-

+

ВЧ

Incl

-

963

5,1

-

-

362

NiCl₂

Хлорид Никеля

-

+

ВЧ

Incl

-

1001

3,55

-

-

444

NbB₂

Борид
Ниобия

-

-

ВЧ, ПТ

-

-

2900(?)

6,97

-

-

-

NbC

Карбид Ниобия

+

-

ВЧ, ПТ

-

-

3500

7,6

-

-

-

NbN

Ниобий Нитрид

-

-

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

-

-

2573

8,4

-

-

-

NbTe

Теллурид Ниобия

-

-

ВЧ

-

-

-

7,6

-

-

-

Nb₃Sn

Олово Ниобия

+

-

ВЧ, ПТ

-

-

-

-

-

-

-

C₈H₈

Стирол

-

-

-

-

-

300-400

1,1

-

-

-

P₃N₅

Фосфора Нитрид

-

-

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

-

-

-

2,51

-

-

-

KBr

Калия
Бромид

-

+

ВЧ

Ta, Mo

КВАРЦ

734

2,75

-

-

~450

KCl

Калия
Хлорид

+

+

ВЧ

Ta, Ni

-

770

1,98

-

-

510

KF

Калия
Фторид

-

-

ВЧ

-

КВАРЦ

858

2,48

-

-

~500

KI

Калия
Йодид

-

+

ВЧ

Ta

-

681

3,13

-

-

~500

RbCl

Хлорид Рубидия

-

-

ВЧ

-

КВАРЦ

718

2,09

-

-

~550

RbI

Йодид Рубидия

-

-

ВЧ

-

КВАРЦ

647

3,55

-

-

~400

Sm₂S₃

Сульфид Самария

+

-

-

-

-

1900

5,73

-

-

-

SiB6

Кремния Борид

-

ВЧ

-

-

-

-

-

-

-

SiC

Кремния Карбид

-

-

ВЧ

-

-

~2700

3,22

-

-

1000

Si₃N₄

Кремния Нитрид

-

-

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

-

-

1900

3,44

-

-

~800

SiSe

Кремния Селенид

-

-

ВЧ

-

КВАРЦ

-

-

-

-

550

SiS

Кремния Сульфид

-

-

ВЧ

-

КВАРЦ

940

1,85

-

-

450

SiTe₂

Кремния Теллурид

-

-

ВЧ

-

КВАРЦ

-

4,39

-

-

550

AgBr

Серебра Бромид

-

+

ВЧ

Ta

КВАРЦ

432

6,47

-

-

~380

AgCl

Серебра Хлорид

-

+

ВЧ

Mo, Pt

КВАРЦ

455

5,56

-

-

~520

AgI

Серебра Йодид

-

+

ВЧ

Ta

-

558

6,01

-

-

~500

NaBr

Натрия Бромид

-

-

ВЧ

-

КВАРЦ

747

3,2

-

-

~400

NaCl

Натрия Хлорид

+

+

ВЧ

Ta, W, Mo

КВАРЦ

801

2.17

-

-

530

NaCN

Натрия Цианид

-

+

ВЧ

Ag

-

564

-

-

~550

NaF

Натрия Фторид

+

+

ВЧ

Mo, Ta, W

BeO

993

2,56

-

-

~1000

SrCl₂

Хлорид Стронция

-

-

-

-

-

875

3,05

-

-

-

SrF₂

Фторид Стронция

-

-

ВЧ

-

Al₂O₃

1473

4,24

-

-

~1000

SrS

Сульфид Стронция

-

+

ВЧ

Mo

-

>2000

3,7

-

-

-

TaB₂

Борид
Тантала

-

-

ВЧ, ПТ

-

-

3000(?)

11,15

-

-

-

TaC

Карбид Тантала

-

-

ВЧ, ПТ

-

-

3880

13,9

-

-

~2500

TaN

Тантала     Нитрид

-

-

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ, ПТ

-

-

3360

16,3

-

-

-

TaS₂

Сульфид Тантала

-

-

ВЧ

-

-

>1300

-

-

-

-

TbF₃

Фторид Тербия

-

-

ВЧ

-

-

1172

-

-

-

~800

TlBr

Бромид Таллия

-

+

ВЧ

Ta

КВАРЦ

480

7,56

-

-

~250

TlCl

Хлорид Таллия

-

+

ВЧ

Ta

КВАРЦ

430

7

-

-

~150

TlI

Йодид
Таллия

-

-

ВЧ

-

КВАРЦ

440

7,1

-

-

~250

ThBr₄

Бромид
Тория

-

+

-

Mo

-

610

5,67

-

-

-

ThC₂

Карбид
Тория

-

-

ВЧ, ПТ

-

C

2655

8,96

-

-

~2300

ThF₄

Фторид
Тория

+

+

ВЧ

Mo

VC

>900

6,32

-

-

~750

ThS₂

Сульфид Тория

-

-

ВЧ

-

-

1925

7,3

-

-

-

Tm

Тулий

+

+

ПТ

Ta

Al₂O₃

1545

9,32

461

554

680

SnSe

Олова
Селенид

+

-

ВЧ

-

КВАРЦ

861

6,18

-

-

~400

SnS

Олова Сульфид

-

-

ВЧ

-

КВАРЦ

882

5,22

-

-

~450

SnTe

Олова Теллурид

-

-

ВЧ

-

КВАРЦ

780

6,48

-

-

~450

TiB₂

Борид
Титана

+

-

ВЧ, ПТ

-

-

2900

4,5

-

-

-

TlI

Йодид
Таллия

-

-

ВЧ

-

КВАРЦ

440

7,1

-

-

~250

ThBr₄

Бромид
Тория

-

+

-

Mo

-

610

5,67

-

-

-

ThC₂

Карбид
Тория

-

-

ВЧ, ПТ

-

C

2655

8,96

-

-

~2300

ThF₄

Фторид
Тория

+

+

ВЧ

Mo

VC

>900

6,32

-

-

~750

ThS₂

Сульфид Тория

-

-

ВЧ

-

-

1925

7,3

-

-

-

Tm

Тулий

+

+

ПТ

Ta

Al₂O₃

1545

9,32

461

554

680

SnSe

Олова
Селенид

+

-

ВЧ

-

КВАРЦ

861

6,18

-

-

~400

SnS

Олова Сульфид

-

-

ВЧ

-

КВАРЦ

882

5,22

-

-

~450

SnTe

Олова Теллурид

-

-

ВЧ

-

КВАРЦ

780

6,48

-

-

~450

TiB₂

Борид
Титана

+

-

ВЧ, ПТ

-

-

2900

4,5

-

-

-

UP₂

Фосфид
Урана

-

+

ВЧ

Ta

-

-

8,57

-

-

1200

US

Сульфид Урана (II)

-

-

-

-

-

>2000

10,87

-

-

-

US₂

Сульфид Урана (IV)

-

+

ВЧ

W

-

>1100

7,96

-

-

-

VB₂

Борид
Ванадия

-

-

ВЧ, ПТ

-

-

2400

5,1

-

-

-

VC

Карбид Ванадия

-

-

ВЧ, ПТ

-

-

2810

5,77

-

-

~1800

VN

Ванадий Нитрид

-

-

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ, ПТ

-

-

2320

6,13

-

-

-

VSi₂

Силицид Ванадия

-

-

ВЧ

-

-

1700

4,42

-

-

-

YbF₃

Фторид Иттербия

-

+

ВЧ

Mo

-

1157

-

-

-

~800

YF₃

Фторид Иттрия

-

-

ВЧ

-

-

1387

4,01

-

-

-

Zn₃Sb₂

Цинка Антимонид

-

-

ВЧ

-

-

570

6,33

-

-

-

ZnBr₂

Цинка
Бромид

-

+

ВЧ

W

C

394

4,2

-

-

~300

ZnF₂

Цинка
Фторид

-

+

ВЧ

Pt, Ta

КВАРЦ

872

4,95

-

-

~800

Zn₃N₂

Цинка
Нитрид

-

+

ВЧ

Mo

-

-

6,22

-

-

-

ZnSe

Цинка Селенид

-

+

ВЧ

Ta, W, Mo

КВАРЦ

>1100

5,42

-

-

660

ZnS

Цинка Сульфид

+

+

ВЧ

Ta, Mo

-

1700

3,98

-

-

~800

ZnTe

Цинка Теллурид

-

+

ВЧ

Mo, Ta

-

1239

6,34

-

-

~600

ZrB₂

Циркония Борид

+

-

ВЧ, ПТ

-

-

~3200

6,09

-

-

-

ZrC

Циркония Карбид

-

-

ВЧ, ПТ

-

-

3540

6,73

-

-

~2500

ZrN

Циркония Ниртид

-

-

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ, ПТ

-

-

2980

7,09

-

-

-

ZrSi₂

Циркония Силицид

-

-

ВЧ, ПТ

-

-

1700

4,88

-

-

-