ООО "АВАКС"
Научно-производственная фирма

ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ













Консультации on-line:
ICQ: 281785897
Skype: AVACUUM

E-mail: info@avacuum.ru
Web: https://www.avacuum.ru

Тел: +7 (812) 702-82-28
+7 (812) 372-55-45
Факс: +7 (812) 372-55-45

Техническая информация > Свойства металлов и оксидов >

Материал
Название
Метод напыления
Материал

Т плавления,

°С

Плотность,

г/см3

Т при данном давлении паров,
p=1.33 • 10-6Па,
°C

Т при данном давлении паров,
p=1.33 • 10-4Па,
°C
Т при данном давлении паров,
p=1.33 • 10-2Па,
°C

Электронным пучком

Резистивно

Магнетронное распыление

Испарителя

Тигля

Металлы

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Al

Алюминий

+

+

ПТ, ВЧ

W

BN

660

2.70

677

821

1010

Ba

Барий

+

+

ПТ,
ВЧ

W, Mo, Ta

Al2O3, VC

2300

2.34

1278

1548

1797

Be

Бериллий

+

+

ПТ,
ВЧ

W, Ta

BeO, C, VC

271

9.80

330

410

520

Bi

Висмут

+

+

ВЧ

W, Ta, Mo

 

1278

1.85

710

878

1000

B

Бор

+

-

ВЧ

-

C, VC

725

3.51

545

627

735

Cd

Кадмий

+

+

+

W, Mo, Ta

Al2O3, КВАРЦ

321

8.64

64

120

180

Ca

Кальций

+

+

-

W

Al2O3, КВАРЦ

839

1.54

272

357

459

Ce

Церий

-

+

-

НЕРЖ

КВАРЦ

798

~6.70

970

1150

1380

Cr

Хром

+

+

ВЧ, ПТ

W, Ta

 

1857

7.20

837

977

1157

Co

Кобальт

+

+

ПТ, ВЧ

W, Nb

Al2O3, BeO

1857

7.20

837

977

1157

Cu

Медь

+

+

ПТ, ВЧ

Mo

Al2O3, Mo, Ta

1495

8.9

850

990

1200

Er

Эрбий

+

+

ПТ, ВЧ

W, Ta

-

1083

8.92

727

857

1017

Eu

Европий

+

+

ВЧ, ПТ

W, Ta

Al2O3

1529

9.07

650

775

930

Ga

Галлий

+

-

-

-

Al2O3, BeO, КВАРЦ

30

5.90

619

742

907

Au

Золото

+

+

W

W

Al2O3, BN, VC

1064

19.32

807

947

1132

In

Индий

+

+

ПТ, ВЧ

W, Mo

Графит, Al2O3

157

7.30

487

597

742

Ir

Иридий

F

-

ПТ, ВЧ

-

ThO2

2410

22.42

1850

2080

2380

Fe

Железо

+

+

ПТ, ВЧ

W

Al2O3, BeO

1535

7.86

858

998

1180

Pb

Свинец

+

+

ПТ, ВЧ

W, Mo

Al2O3, КВАРЦ

328

11.34

342

427

497

Li

Литий

+

+

-

Ta, НЕРЖ

Al2O3, BeO

181

0.53

227

307

407

Mg

Магний

+

+

ПТ, ВЧ

W, Mo, Ta, Cb

Al2O3, VC

649

1.74

185

247

327

Mn

Марганец

-

-

-

-

-

1244

7.20

507

572

647

Hg

Ртуть

+

-

ПТ, ВЧ

-

-

-39

13.55

-68

-42

-6

Mo

Молибден

+

+

ПТ, ВЧ

Ta

Al2O3

2610

10.2

1592

1822

2117

Nd

Неодим

+

+

ПТ, ВЧ

W

Al2O3, BeO, VC

1021

7.01

731

871

1062

Ni

Никель

+

+

ПТ, ВЧ

W

-

1455

8.90

927

1072

1262

Nb

Ниобий

+

-

ПТ, ВЧ

-

-

2468

8.57

1728

1977

2287

Os

Осмий

+

+

ПТ, ВЧ

W

Al2O3, BeO

2700

22.48

2170

2430

2760

Pd

Палладий

+

+

ПТ, ВЧ

W

C, ThO2

1554

12.02

842

992

1192

Pt

Платина

-

+

-

Mo

КВАРЦ

1772

21.45

1292

1492

1747

K

Калий

-

-

-

-

-

63

0.86

23

60

125

Ra

Радий

P

-

ПТ, ВЧ

-

-

700

5 (?)

246

320

416

Re

Рений

+

+

ПТ, ВЧ

W

ThO2, VC

3180

20.53

1928

2207

2571

Rh

Родий

-

-

ПТ, ВЧ

-

КВАРЦ

1966

12.4

1277

1472

1707

Rb

Рубидий

 

+

ПТ, ВЧ

W

-

39

1.48

-3

37

111

Ru

Рутений

+

+

ВЧ

W

Al2O3, BeO

2310

12.3

1780

1990

2260

Sc

Скандий

+

+

W

W

Al2O3

1541

2.99

714

837

1002

Ag

Серебро

-

+

-

Ta, НЕРЖ

КВАРЦ

962

10.5

847

958

1105

Na

Натрий

+

+

ВЧ, ПТ

W, Ta, Mo

VC

98

0.97

74

124

192

Sr

Стронций

+

-

ПТ, ВЧ

-

-

769

2.6

239

309

403

Ta

Тантал

+

+

ВЧ

W, Ta

Al2O3, КВАРЦ

2996

16.6

1960

2240

2590

Te

Теллур

+

+

ПТ

W, Ta

Al2O3, КВАРЦ

452

6.25

157

207

277

Tl

Таллий

+

+

-

W, Ta,Mo

-

304

11.85

280

360

470

Th

Торий

+

+

ПТ, ВЧ

W

TiC

1875

11.7

1430

1660

1925

Ti

Титан

+

-

ВЧ, ПТ

-

-

1660

4.5

1067

1235

1453

W

Вольфрам

+

+

ПТ, ВЧ

W, Mo

-

3410

19.35

2117

2407

2757

V

Ванадий

+

+

ПТ, ВЧ

Mo, W, Ta

Al2O3, КВАРЦ

1890

5.96

1162

1332

1547

Zn

Цинк

+

+

ВЧ, ПТ

W

-

420

7.14

127

177

250

Zr

Цирконий

+

-

-

-

Al2O3, BeO, КВАРЦ

1852

6.49

1477

1702

1987

Dy

Диспрозий

+

 

ВЧ, ПТ

Ta

-

1412

8,55

625

750

900

Gd

Гадолиний

+

+

ВЧ, ПТ

Ta

Al2O3

1313

7,9

760

900

1175

Sb

Сурьма

 

"+"

ВЧ, ПТ

Mo,Ta

BN, C, Al2O3

630

6,68

279

345

425

Ge

Германий

+

+

ПТ, ВЧ

W, C, Ta

КВАРЦ, Al2O3

937

5,35

812

957

1167

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Hf

Гафний

+

-

ПТ, ВЧ

-

-

2227

13,31

2160

2250

3090

Ho

Гольмий

+

+

-

W, Ta

-

1474

8,8

650

770

950

Lu

Лутеций

+

+

ВЧ, ПТ

Ta

Al2O3

1663

9,84

-

-

1300

Ni/Cr

Нихром IV

+

+

ПТ, ВЧ

 

Al2O3, VC, BeO

1395

8,5

847

987

1217

Ni/Fe

Permalloy

 

+

ПТ

W

Al2O3, VC

1395

8,7

947

1047

1307

P

Фосфор

-

-

-

-

Al2O3

44.1

1,82

327

361

402

Pu

Плутоний

-

+

-

W

-

641

19,84

-

-

-

Po

Полоний

-

-

-

-

КВАРЦ

254

9,4

117

170

244

Pr

Празеодим

+

+

ВЧ, ПТ

Ta

-

931

6,77

800

950

1150

Tc

Технеций

-

-

-

-

-

2200

11,5

1570

1800

2090

Tb

Тербий

+

+

ВЧ

Ta

Al2O3

1356

8,23

800

950

1150

Sn

Олово

+

+

ПТ, ВЧ

Mo

Al2O3

232

7,28

682

807

997

U

Уран

+

+

-

Mo, W

-

1132

19,05

1132

1327

1582

Yb

Иттербий

+

+

ПТ, ВЧ

Ta

-

819

6,96

520

590

690

Y

Иттрий

+

+

ВЧ, ПТ

W, Ta

Al2O3

1522

4,47

830

973

1157

La

Лантан

+

+

ВЧ

W, Ta

Al2O3

921

6,15

990

1212

1388

Оксиды

Al2O3

Оксид Аллюминия

+

 

ВЧ РЕАКТИВНОЕ

W

-

2072

3,97

Oxide -

-

1550

As2O3

Оксид Мышьяка

-

 

-

-

-

312

3,74

-

-

-

B2O3

Оксид Бора

+

 

-

Pt, Mo

-

~450

1,81

-

-

~1400

BaO

Оксид Бария

+

 

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Pt

Al2O3

1918

5,72

-

-

~1300

BeO

Оксид Бериллия

+

 

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

-

-

2530

3,01

-

-

1900

Bi2O3

Оксид Висмута

+

 

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Pt

-

860

8,55

-

-

~1400

CaO

Оксид Кальция

-

 

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

W, Mo

ZrO2

2614

~3,3

-

-

~1700

CdO

Оксид Кадмия

-

 

ВЧ РЕАКТИВНОЕ

-

-

>1500

6,95

-

-

~530

Ce2O3

Оксид Церия (III)

+

 

-

W

-

1692

6,86

-

-

-

CeO2

Оксид Церия (IV)

+

 

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

W

-

~2600

7,13

1890

2000

2310

CoO

Оксид Кобальта

-

 

ПТ-R, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

-

-

1795

6,45

-

-

-

Cr2O3

Оксид Хрома

+

 

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

W, Mo

-

2266

5,21

-

-

~2000

Cu2O

Оксид Меди

+

 

ПТ-R, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Ta

Al2O3

1235

6

-

-

~600

Dy2O3

Оксид Диспрозия

-

 

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Ir

-

2340

7,81

-

-

~1400

Er2O3

Оксид Эрбия

-

 

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Ir

-

Infus.

8,64

-

-

~1600

Eu2O3

Оксид Европия

+

 

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Ir, Ta, W

ThO2

-

7,42

-

-

~1600

Ga2O3

Оксид Галлия

-

+

ВЧ

Pr, W

-

1900

6,44

-

-

-

Gd2O3

Оксид Гадолиния

+

+

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Ir

-

2330

7,41

-

-

-

GeO

Оксид Германия (II)

-

-

ВЧ

-

КВАРЦ

710

-

-

-

500

GeO2

Оксид Германия (III)

+

+

ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Ta, Mo

КВАРЦ, Al2O3

1086

6,24

-

-

~625

HfO2

Оксид Гафния

+

+

ПТ, ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

W

-

2758

9,68

-

-

~2500

Ho2O3

Оксид Гольмия

-

+

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Ir

-

2370

8,41

-

-

-

In2O

Оксид Индия (I)

-

-

ВЧ

-

-

~600

6,99

-

-

650

In2O3

Оксид Индия (III)

+

+

-

W, Pt

Al2O3

850

7,18

-

-

~1200

La2O3

Оксид Лантана

+

+

ВЧ

W, Ta

-

2307

6,51

-

-

1400

Li2O

Оксид Лития

-

+

ВЧ

Pt, Ir

-

>1700

2,01

-

-

850

Lu2O3

Оксид Лутеция

-

+

ВЧ

Ir

-

-

9,42

-

-

1400

MgO

Оксид Магния

+

-

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

-

C, Al2O3

2852

3,58

-

-

1300

MoO3

Оксид Молибдена

-

+

ВЧ

Mo, Pt

Al2O3, BN

795

4,69

-

-

~900

NB2O3

Оксид Ниобия (III)

-

+

ВЧ, ПТ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

W

-

1780

7,5

-

-

-

Nb2O5

Оксид Ниобия (V)

-

+

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

W

-

1485

4,47

-

-

-

NbO

Оксид Ниобия (II)

-

+

ВЧ

Pt

-

-

7,3

-

-

1100

Nd2O3

Оксид Неодима

+

+

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Ta, W

ThO2

~1900

7,24

-

-

~1400

NiO

Оксид Никеля

-

-

ВЧ РЕАКТИВНОЕ

-

Al2O3

1984

6,67

-

-

~1470

Os2O3

Оксид Осмия

-

-

-

-

-

-

-

-

-

-

PbO

Оксид Мышьяка

-

+

ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Pt

КВАРЦ, Al2O3

886

9,53

-

-

~550

PdO

Оксид Палладия

-

-

ВЧ РЕАКТИВНОЕ

-

Al2O3

870

9,7

-

-

575

Pr2O3

Оксид Празеодима

+

+

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Ir

ThO2

-

7,07

-

-

1400

PtO2

Оксид Платины

-

-

ВЧ РЕАКТИВНОЕ

-

-

450

10,2

-

-

-

SB2O3

Оксид Сурьмы

+

 

ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Pt

BN, Al2O3

656

5,2

-

-

~300

Sc2O3

Оксид Скандия

+

-

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

-

-

2300

3,86

-

-

~400

SiO

Оксид кремния (I I)

+

+

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Ta

Ta

>1702

2,13

-

-

850

SiO2

Оксид Кремния (IV)

+

-

ВЧ

-

Al2O3

1610

~2,65

*

*

1025*

Sm2O3

Оксид Самария

+

+

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Ir

ThO2

2350

8,35

-

-

-

SnO2

Оловянный Оксид

+

+

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

W

КВАРЦ, Al2O3

1630

6,95

-

-

~1000

SrO

Оксид Стронция

-

+

ВЧ

Mo

Al2O3

2430

4,7

-

-

1500

Ta2O5

Оксид
Тантала

+

+

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Ta

VC

1872

8,2

1550

1780

1920

TB2O3

Оксид Тербия

-

+

ВЧ

Ir

-

2387

7,87

-

-

1300

Tb4O7

Перекись Тербия

-

+

ВЧ

Ta

-

-

-

-

-

-

ThO2

Оксид Тория

+

+

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

W

-

3220

9,86

-

-

~2100

Ti2O3

Оксид Титана (III)

+

+

ВЧ

W

-

2130

4,6

-

-

-

Tm2O3

Оксид Тулия

-

+

ВЧ

Ir

-

-

8,9

-

-

1500

U2O3

Оксид Урана (III)

-

+

ВЧ РЕАКТИВНОЕ

W

-

1300

8,3

-

-

-

UO2

Оксид Урана (IV)

-

+

ВЧ

W

-

2878

10,96

-

-

-

V2O5

Оксид Ванадия (V)

-

-

ВЧ

-

КВАРЦ

690

3,36

-

-

~500

VO2

Оксид Ванадия (IV)

-

-

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

-

-

1967

4,34

-

-

~575

WO3

Оксид Вольфрама

+

+

ВЧ РЕАКТИВНОЕ

W, Pt

-

1473

7,16

-

-

980

Y2O3

Оксид Иттрия

+

+

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

W

C

2410

5,01

-

-

~2000

YB2O3

Оксид Иттербия

-

+

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Ir

-

2346

9,17

-

-

~1500

ZnO

Оксид Цинка

+

-

ВЧ РЕАКТИВНОЕ

-

-

1975

5,61

-

-

~1800

ZrO2

Оксид Циркония

+

+

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

W

-

~2700

5,89

-

-

~2200