Электронным пучком

Резистивно

Магнетронное распыление

Испарителя

Тигля

Металлы

Al

Алюминий

+

+

ПТ, ВЧ

W

BN

660

2.70

677

821

1010

Ba

Барий

+

+

ПТ,
ВЧ

W, Mo, Ta

Al₂O₃, VC

2300

2.34

1278

1548

1797

Be

Бериллий

+

+

ПТ,
ВЧ

W, Ta

BeO, C, VC

271

9.80

330

410

520

Bi

Висмут

+

+

ВЧ

W, Ta, Mo

1278

1.85

710

878

1000

B

Бор

+

-

ВЧ

-

C, VC

725

3.51

545

627

735

Cd

Кадмий

+

+

+

W, Mo, Ta

Al₂O₃, КВАРЦ

321

8.64

64

120

180

Ca

Кальций

+

+

-

W

Al₂O₃, КВАРЦ

839

1.54

272

357

459

Ce

Церий

-

+

-

НЕРЖ

КВАРЦ

798

~6.70

970

1150

1380

Cr

Хром

+

+

ВЧ, ПТ

W, Ta

1857

7.20

837

977

1157

Co

Кобальт

+

+

ПТ, ВЧ

W, Nb

Al₂O₃, BeO

1857

7.20

837

977

1157

Cu

Медь

+

+

ПТ, ВЧ

Mo

Al₂O₃, Mo, Ta

1495

8.9

850

990

1200

Er

Эрбий

+

+

ПТ, ВЧ

W, Ta

-

1083

8.92

727

857

1017

Eu

Европий

+

+

ВЧ, ПТ

W, Ta

Al₂O₃

1529

9.07

650

775

930

Ga

Галлий

+

-

-

-

Al₂O₃, BeO, КВАРЦ

30

5.90

619

742

907

Au

Золото

+

+

W

W

Al₂O₃, BN, VC

1064

19.32

807

947

1132

In

Индий

+

+

ПТ, ВЧ

W, Mo

Графит, Al₂O₃

157

7.30

487

597

742

Ir

Иридий

F

-

ПТ, ВЧ

-

ThO₂

2410

22.42

1850

2080

2380

Fe

Железо

+

+

ПТ, ВЧ

W

Al₂O₃, BeO

1535

7.86

858

998

1180

Pb

Свинец

+

+

ПТ, ВЧ

W, Mo

Al₂O₃, КВАРЦ

328

11.34

342

427

497

Li

Литий

+

+

-

Ta, НЕРЖ

Al₂O₃, BeO

181

0.53

227

307

407

Mg

Магний

+

+

ПТ, ВЧ

W, Mo, Ta, Cb

Al₂O₃, VC

649

1.74

185

247

327

Mn

Марганец

-

-

-

-

-

1244

7.20

507

572

647

Hg

Ртуть

+

-

ПТ, ВЧ

-

-

-39

13.55

-68

-42

-6

Mo

Молибден

+

+

ПТ, ВЧ

Ta

Al₂O₃

2610

10.2

1592

1822

2117

Nd

Неодим

+

+

ПТ, ВЧ

W

Al₂O₃, BeO, VC

1021

7.01

731

871

1062

Ni

Никель

+

+

ПТ, ВЧ

W

-

1455

8.90

927

1072

1262

Nb

Ниобий

+

-

ПТ, ВЧ

-

-

2468

8.57

1728

1977

2287

Os

Осмий

+

+

ПТ, ВЧ

W

Al₂O₃, BeO

2700

22.48

2170

2430

2760

Pd

Палладий

+

+

ПТ, ВЧ

W

C, ThO₂

1554

12.02

842

992

1192

Pt

Платина

-

+

-

Mo

КВАРЦ

1772

21.45

1292

1492

1747

K

Калий

-

-

-

-

-

63

0.86

23

60

125

Ra

Радий

P

-

ПТ, ВЧ

-

-

700

5 (?)

246

320

416

Re

Рений

+

+

ПТ, ВЧ

W

ThO₂, VC

3180

20.53

1928

2207

2571

Rh

Родий

-

-

ПТ, ВЧ

-

КВАРЦ

1966

12.4

1277

1472

1707

Rb

Рубидий

+

ПТ, ВЧ

W

-

39

1.48

-3

37

111

Ru

Рутений

+

+

ВЧ

W

Al₂O₃, BeO

2310

12.3

1780

1990

2260

Sc

Скандий

+

+

W

W

Al₂O₃

1541

2.99

714

837

1002

Ag

Серебро

-

+

-

Ta, НЕРЖ

КВАРЦ

962

10.5

847

958

1105

Na

Натрий

+

+

ВЧ, ПТ

W, Ta, Mo

VC

98

0.97

74

124

192

Sr

Стронций

+

-

ПТ, ВЧ

-

-

769

2.6

239

309

403

Ta

Тантал

+

+

ВЧ

W, Ta

Al₂O₃, КВАРЦ

2996

16.6

1960

2240

2590

Te

Теллур

+

+

ПТ

W, Ta

Al₂O₃, КВАРЦ

452

6.25

157

207

277

Tl

Таллий

+

+

-

W, Ta,Mo

-

304

11.85

280

360

470

Th

Торий

+

+

ПТ, ВЧ

W

TiC

1875

11.7

1430

1660

1925

Ti

Титан

+

-

ВЧ, ПТ

-

-

1660

4.5

1067

1235

1453

W

Вольфрам

+

+

ПТ, ВЧ

W, Mo

-

3410

19.35

2117

2407

2757

V

Ванадий

+

+

ПТ, ВЧ

Mo, W, Ta

Al₂O₃, КВАРЦ

1890

5.96

1162

1332

1547

Zn

Цинк

+

+

ВЧ, ПТ

W

-

420

7.14

127

177

250

Zr

Цирконий

+

-

-

-

Al₂O₃, BeO, КВАРЦ

1852

6.49

1477

1702

1987

Dy

Диспрозий

+

ВЧ, ПТ

Ta

-

1412

8,55

625

750

900

Gd

Гадолиний

+

+

ВЧ, ПТ

Ta

Al₂O₃

1313

7,9

760

900

1175

Sb

Сурьма

"+"

ВЧ, ПТ

Mo,Ta

BN, C, Al₂O₃

630

6,68

279

345

425

Ge

Германий

+

+

ПТ, ВЧ

W, C, Ta

КВАРЦ, Al₂O₃

937

5,35

812

957

1167

Hf

Гафний

+

-

ПТ, ВЧ

-

-

2227

13,31

2160

2250

3090

Ho

Гольмий

+

+

-

W, Ta

-

1474

8,8

650

770

950

Lu

Лутеций

+

+

ВЧ, ПТ

Ta

Al₂O₃

1663

9,84

-

-

1300

Ni/Cr

Нихром IV

+

+

ПТ, ВЧ

Al₂O₃, VC, BeO

1395

8,5

847

987

1217

Ni/Fe

Permalloy

+

ПТ

W

Al₂O₃, VC

1395

8,7

947

1047

1307

P

Фосфор

-

-

-

-

Al₂O₃

44.1

1,82

327

361

402

Pu

Плутоний

-

+

-

W

-

641

19,84

-

-

-

Po

Полоний

-

-

-

-

КВАРЦ

254

9,4

117

170

244

Pr

Празеодим

+

+

ВЧ, ПТ

Ta

-

931

6,77

800

950

1150

Tc

Технеций

-

-

-

-

-

2200

11,5

1570

1800

2090

Tb

Тербий

+

+

ВЧ

Ta

Al₂O₃

1356

8,23

800

950

1150

Sn

Олово

+

+

ПТ, ВЧ

Mo

Al₂O₃

232

7,28

682

807

997

U

Уран

+

+

-

Mo, W

-

1132

19,05

1132

1327

1582

Yb

Иттербий

+

+

ПТ, ВЧ

Ta

-

819

6,96

520

590

690

Y

Иттрий

+

+

ВЧ, ПТ

W, Ta

Al₂O₃

1522

4,47

830

973

1157

La

Лантан

+

+

ВЧ

W, Ta

Al₂O₃

921

6,15

990

1212

1388

Al₂O₃

Оксид Аллюминия

+

ВЧ РЕАКТИВНОЕ

W

-

2072

3,97

Oxide -

-

1550

As₂O₃

Оксид Мышьяка

-

-

-

-

312

3,74

-

-

-

B₂O₃

Оксид Бора

+

-

Pt, Mo

-

~450

1,81

-

-

~1400

BaO

Оксид Бария

+

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Pt

Al₂O₃

1918

5,72

-

-

~1300

BeO

Оксид Бериллия

+

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

-

-

2530

3,01

-

-

1900

Bi₂O₃

Оксид Висмута

+

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Pt

-

860

8,55

-

-

~1400

CaO

Оксид Кальция

-

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

W, Mo

ZrO₂

2614

~3,3

-

-

~1700

CdO

Оксид Кадмия

-

ВЧ РЕАКТИВНОЕ

-

-

>1500

6,95

-

-

~530

Ce₂O₃

Оксид Церия (III)

+

-

W

-

1692

6,86

-

-

-

CeO₂

Оксид Церия (IV)

+

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

W

-

~2600

7,13

1890

2000

2310

CoO

Оксид Кобальта

-

ПТ-R, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

-

-

1795

6,45

-

-

-

Cr₂O₃

Оксид Хрома

+

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

W, Mo

-

2266

5,21

-

-

~2000

Cu₂O

Оксид Меди

+

ПТ-R, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Ta

Al₂O₃

1235

6

-

-

~600

Dy₂O₃

Оксид Диспрозия

-

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Ir

-

2340

7,81

-

-

~1400

Er₂O₃

Оксид Эрбия

-

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Ir

-

Infus.

8,64

-

-

~1600

Eu₂O₃

Оксид Европия

+

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Ir, Ta, W

ThO₂

-

7,42

-

-

~1600

Ga₂O₃

Оксид Галлия

-

+

ВЧ

Pr, W

-

1900

6,44

-

-

-

Gd₂O₃

Оксид Гадолиния

+

+

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Ir

-

2330

7,41

-

-

-

GeO

Оксид Германия (II)

-

-

ВЧ

-

КВАРЦ

710

-

-

-

500

GeO2

Оксид Германия (III)

+

+

ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Ta, Mo

КВАРЦ, Al₂O₃

1086

6,24

-

-

~625

HfO₂

Оксид Гафния

+

+

ПТ, ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

W

-

2758

9,68

-

-

~2500

Ho₂O₃

Оксид Гольмия

-

+

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Ir

-

2370

8,41

-

-

-

In₂O

Оксид Индия (I)

-

-

ВЧ

-

-

~600

6,99

-

-

650

In₂O₃

Оксид Индия (III)

+

+

-

W, Pt

Al₂O₃

850

7,18

-

-

~1200

La₂O₃

Оксид Лантана

+

+

ВЧ

W, Ta

-

2307

6,51

-

-

1400

Li₂O

Оксид Лития

-

+

ВЧ

Pt, Ir

-

>1700

2,01

-

-

850

Lu₂O₃

Оксид Лутеция

-

+

ВЧ

Ir

-

-

9,42

-

-

1400

MgO

Оксид Магния

+

-

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

-

C, Al₂O₃

2852

3,58

-

-

1300

MoO₃

Оксид Молибдена

-

+

ВЧ

Mo, Pt

Al₂O₃, BN

795

4,69

-

-

~900

NB₂O₃

Оксид Ниобия (III)

-

+

ВЧ, ПТ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

W

-

1780

7,5

-

-

-

Nb₂O₅

Оксид Ниобия (V)

-

+

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

W

-

1485

4,47

-

-

-

NbO

Оксид Ниобия (II)

-

+

ВЧ

Pt

-

-

7,3

-

-

1100

Nd₂O₃

Оксид Неодима

+

+

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Ta, W

ThO₂

~1900

7,24

-

-

~1400

NiO

Оксид Никеля

-

-

ВЧ РЕАКТИВНОЕ

-

Al₂O₃

1984

6,67

-

-

~1470

Os₂O₃

Оксид Осмия

-

-

-

-

-

-

-

-

-

-

PbO

Оксид Мышьяка

-

+

ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Pt

КВАРЦ, Al₂O₃

886

9,53

-

-

~550

PdO

Оксид Палладия

-

-

ВЧ РЕАКТИВНОЕ

-

Al₂O₃

870

9,7

-

-

575

Pr₂O₃

Оксид Празеодима

+

+

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Ir

ThO₂

-

7,07

-

-

1400

PtO₂

Оксид Платины

-

-

ВЧ РЕАКТИВНОЕ

-

-

450

10,2

-

-

-

SB₂O₃

Оксид Сурьмы

+

ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Pt

BN, Al₂O₃

656

5,2

-

-

~300

Sc₂O₃

Оксид Скандия

+

-

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

-

-

2300

3,86

-

-

~400

SiO

Оксид кремния (I I)

+

+

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Ta

Ta

>1702

2,13

-

-

850

SiO₂

Оксид Кремния (IV)

+

-

ВЧ

-

Al₂O₃

1610

~2,65

*

*

1025*

Sm₂O₃

Оксид Самария

+

+

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Ir

ThO₂

2350

8,35

-

-

-

SnO2

Оловянный Оксид

+

+

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

W

КВАРЦ, Al₂O₃

1630

6,95

-

-

~1000

SrO

Оксид Стронция

-

+

ВЧ

Mo

Al₂O₃

2430

4,7

-

-

1500

Ta₂O₅

Оксид
Тантала

+

+

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Ta

VC

1872

8,2

1550

1780

1920

TB₂O₃

Оксид Тербия

-

+

ВЧ

Ir

-

2387

7,87

-

-

1300

Tb₄O₇

Перекись Тербия

-

+

ВЧ

Ta

-

-

-

-

-

-

ThO₂

Оксид Тория

+

+

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

W

-

3220

9,86

-

-

~2100

Ti₂O₃

Оксид Титана (III)

+

+

ВЧ

W

-

2130

4,6

-

-

-

Tm₂O₃

Оксид Тулия

-

+

ВЧ

Ir

-

-

8,9

-

-

1500

U₂O₃

Оксид Урана (III)

-

+

ВЧ РЕАКТИВНОЕ

W

-

1300

8,3

-

-

-

UO₂

Оксид Урана (IV)

-

+

ВЧ

W

-

2878

10,96

-

-

-

V₂O₅

Оксид Ванадия (V)

-

-

ВЧ

-

КВАРЦ

690

3,36

-

-

~500

VO₂

Оксид Ванадия (IV)

-

-

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

-

-

1967

4,34

-

-

~575

WO₃

Оксид Вольфрама

+

+

ВЧ РЕАКТИВНОЕ

W, Pt

-

1473

7,16

-

-

980

Y₂O₃

Оксид Иттрия

+

+

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

W

C

2410

5,01

-

-

~2000

YB₂O₃

Оксид Иттербия

-

+

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

Ir

-

2346

9,17

-

-

~1500

ZnO

Оксид Цинка

+

-

ВЧ РЕАКТИВНОЕ

-

-

1975

5,61

-

-

~1800

ZrO₂

Оксид Циркония

+

+

ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

W

-

~2700

5,89

-

-

~2200