
Материал |
Название |
Метод напыления |
Материал |
Т плавления,
°С |
Плотность,
г/см3 |
Т при данном давлении паров,
p=1.33 • 10-6Па,
°C |
Т при данном давлении паров,
p=1.33 • 10-4Па,
°C |
Т при данном давлении паров,
p=1.33 • 10-2Па,
°C |
Электронным пучком |
Резистивно |
Магнетронное распыление |
Испарителя |
Тигля |
Металлы |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Al |
Алюминий |
+ |
+ |
ПТ, ВЧ |
W |
BN |
660 |
2.70 |
677 |
821 |
1010 |
Ba |
Барий |
+ |
+ |
ПТ,
ВЧ |
W, Mo, Ta |
Al2O3, VC |
2300 |
2.34 |
1278 |
1548 |
1797 |
Be |
Бериллий |
+ |
+ |
ПТ,
ВЧ |
W, Ta |
BeO, C, VC |
271 |
9.80 |
330 |
410 |
520 |
Bi |
Висмут |
+ |
+ |
ВЧ |
W, Ta, Mo |
|
1278 |
1.85 |
710 |
878 |
1000 |
B |
Бор |
+ |
- |
ВЧ |
- |
C, VC |
725 |
3.51 |
545 |
627 |
735 |
Cd |
Кадмий |
+ |
+ |
+ |
W, Mo, Ta |
Al2O3, КВАРЦ |
321 |
8.64 |
64 |
120 |
180 |
Ca |
Кальций |
+ |
+ |
- |
W |
Al2O3, КВАРЦ |
839 |
1.54 |
272 |
357 |
459 |
Ce |
Церий |
- |
+ |
- |
НЕРЖ |
КВАРЦ |
798 |
~6.70 |
970 |
1150 |
1380 |
Cr |
Хром |
+ |
+ |
ВЧ, ПТ |
W, Ta |
|
1857 |
7.20 |
837 |
977 |
1157 |
Co |
Кобальт |
+ |
+ |
ПТ, ВЧ |
W, Nb |
Al2O3, BeO |
1857 |
7.20 |
837 |
977 |
1157 |
Cu |
Медь |
+ |
+ |
ПТ, ВЧ |
Mo |
Al2O3, Mo, Ta |
1495 |
8.9 |
850 |
990 |
1200 |
Er |
Эрбий |
+ |
+ |
ПТ, ВЧ |
W, Ta |
- |
1083 |
8.92 |
727 |
857 |
1017 |
Eu |
Европий |
+ |
+ |
ВЧ, ПТ |
W, Ta |
Al2O3 |
1529 |
9.07 |
650 |
775 |
930 |
Ga |
Галлий |
+ |
- |
- |
- |
Al2O3, BeO, КВАРЦ |
30 |
5.90 |
619 |
742 |
907 |
Au |
Золото |
+ |
+ |
W |
W |
Al2O3, BN, VC |
1064 |
19.32 |
807 |
947 |
1132 |
In |
Индий |
+ |
+ |
ПТ, ВЧ |
W, Mo |
Графит, Al2O3 |
157 |
7.30 |
487 |
597 |
742 |
Ir |
Иридий |
F |
- |
ПТ, ВЧ |
- |
ThO2 |
2410 |
22.42 |
1850 |
2080 |
2380 |
Fe |
Железо |
+ |
+ |
ПТ, ВЧ |
W |
Al2O3, BeO |
1535 |
7.86 |
858 |
998 |
1180 |
Pb |
Свинец |
+ |
+ |
ПТ, ВЧ |
W, Mo |
Al2O3, КВАРЦ |
328 |
11.34 |
342 |
427 |
497 |
Li |
Литий |
+ |
+ |
- |
Ta, НЕРЖ |
Al2O3, BeO |
181 |
0.53 |
227 |
307 |
407 |
Mg |
Магний |
+ |
+ |
ПТ, ВЧ |
W, Mo, Ta, Cb |
Al2O3, VC |
649 |
1.74 |
185 |
247 |
327 |
Mn |
Марганец |
- |
- |
- |
- |
- |
1244 |
7.20 |
507 |
572 |
647 |
Hg |
Ртуть |
+ |
- |
ПТ, ВЧ |
- |
- |
-39 |
13.55 |
-68 |
-42 |
-6 |
Mo |
Молибден |
+ |
+ |
ПТ, ВЧ |
Ta |
Al2O3 |
2610 |
10.2 |
1592 |
1822 |
2117 |
Nd |
Неодим |
+ |
+ |
ПТ, ВЧ |
W |
Al2O3, BeO, VC |
1021 |
7.01 |
731 |
871 |
1062 |
Ni |
Никель |
+ |
+ |
ПТ, ВЧ |
W |
- |
1455 |
8.90 |
927 |
1072 |
1262 |
Nb |
Ниобий |
+ |
- |
ПТ, ВЧ |
- |
- |
2468 |
8.57 |
1728 |
1977 |
2287 |
Os |
Осмий |
+ |
+ |
ПТ, ВЧ |
W |
Al2O3, BeO |
2700 |
22.48 |
2170 |
2430 |
2760 |
Pd |
Палладий |
+ |
+ |
ПТ, ВЧ |
W |
C, ThO2 |
1554 |
12.02 |
842 |
992 |
1192 |
Pt |
Платина |
- |
+ |
- |
Mo |
КВАРЦ |
1772 |
21.45 |
1292 |
1492 |
1747 |
K |
Калий |
- |
- |
- |
- |
- |
63 |
0.86 |
23 |
60 |
125 |
Ra |
Радий |
P |
- |
ПТ, ВЧ |
- |
- |
700 |
5 (?) |
246 |
320 |
416 |
Re |
Рений |
+ |
+ |
ПТ, ВЧ |
W |
ThO2, VC |
3180 |
20.53 |
1928 |
2207 |
2571 |
Rh |
Родий |
- |
- |
ПТ, ВЧ |
- |
КВАРЦ |
1966 |
12.4 |
1277 |
1472 |
1707 |
Rb |
Рубидий |
|
+ |
ПТ, ВЧ |
W |
- |
39 |
1.48 |
-3 |
37 |
111 |
Ru |
Рутений |
+ |
+ |
ВЧ |
W |
Al2O3, BeO |
2310 |
12.3 |
1780 |
1990 |
2260 |
Sc |
Скандий |
+ |
+ |
W |
W |
Al2O3 |
1541 |
2.99 |
714 |
837 |
1002 |
Ag |
Серебро |
- |
+ |
- |
Ta, НЕРЖ |
КВАРЦ |
962 |
10.5 |
847 |
958 |
1105 |
Na |
Натрий |
+ |
+ |
ВЧ, ПТ |
W, Ta, Mo |
VC |
98 |
0.97 |
74 |
124 |
192 |
Sr |
Стронций |
+ |
- |
ПТ, ВЧ |
- |
- |
769 |
2.6 |
239 |
309 |
403 |
Ta |
Тантал |
+ |
+ |
ВЧ |
W, Ta |
Al2O3, КВАРЦ |
2996 |
16.6 |
1960 |
2240 |
2590 |
Te |
Теллур |
+ |
+ |
ПТ |
W, Ta |
Al2O3, КВАРЦ |
452 |
6.25 |
157 |
207 |
277 |
Tl |
Таллий |
+ |
+ |
- |
W, Ta,Mo |
- |
304 |
11.85 |
280 |
360 |
470 |
Th |
Торий |
+ |
+ |
ПТ, ВЧ |
W |
TiC |
1875 |
11.7 |
1430 |
1660 |
1925 |
Ti |
Титан |
+ |
- |
ВЧ, ПТ |
- |
- |
1660 |
4.5 |
1067 |
1235 |
1453 |
W |
Вольфрам |
+ |
+ |
ПТ, ВЧ |
W, Mo |
- |
3410 |
19.35 |
2117 |
2407 |
2757 |
V |
Ванадий |
+ |
+ |
ПТ, ВЧ |
Mo, W, Ta |
Al2O3, КВАРЦ |
1890 |
5.96 |
1162 |
1332 |
1547 |
Zn |
Цинк |
+ |
+ |
ВЧ, ПТ |
W |
- |
420 |
7.14 |
127 |
177 |
250 |
Zr |
Цирконий |
+ |
- |
- |
- |
Al2O3, BeO, КВАРЦ |
1852 |
6.49 |
1477 |
1702 |
1987 |
Dy |
Диспрозий |
+ |
|
ВЧ, ПТ |
Ta |
- |
1412 |
8,55 |
625 |
750 |
900 |
Gd |
Гадолиний |
+ |
+ |
ВЧ, ПТ |
Ta |
Al2O3 |
1313 |
7,9 |
760 |
900 |
1175 |
Sb |
Сурьма |
|
"+" |
ВЧ, ПТ |
Mo,Ta |
BN, C, Al2O3 |
630 |
6,68 |
279 |
345 |
425 |
Ge |
Германий |
+ |
+ |
ПТ, ВЧ |
W, C, Ta |
КВАРЦ, Al2O3 |
937 |
5,35 |
812 |
957 |
1167 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Hf |
Гафний |
+ |
- |
ПТ, ВЧ |
- |
- |
2227 |
13,31 |
2160 |
2250 |
3090 |
Ho |
Гольмий |
+ |
+ |
- |
W, Ta |
- |
1474 |
8,8 |
650 |
770 |
950 |
Lu |
Лутеций |
+ |
+ |
ВЧ, ПТ |
Ta |
Al2O3 |
1663 |
9,84 |
- |
- |
1300 |
Ni/Cr |
Нихром IV |
+ |
+ |
ПТ, ВЧ |
|
Al2O3, VC, BeO |
1395 |
8,5 |
847 |
987 |
1217 |
Ni/Fe |
Permalloy |
|
+ |
ПТ |
W |
Al2O3, VC |
1395 |
8,7 |
947 |
1047 |
1307 |
P |
Фосфор |
- |
- |
- |
- |
Al2O3 |
44.1 |
1,82 |
327 |
361 |
402 |
Pu |
Плутоний |
- |
+ |
- |
W |
- |
641 |
19,84 |
- |
- |
- |
Po |
Полоний |
- |
- |
- |
- |
КВАРЦ |
254 |
9,4 |
117 |
170 |
244 |
Pr |
Празеодим |
+ |
+ |
ВЧ, ПТ |
Ta |
- |
931 |
6,77 |
800 |
950 |
1150 |
Tc |
Технеций |
- |
- |
- |
- |
- |
2200 |
11,5 |
1570 |
1800 |
2090 |
Tb |
Тербий |
+ |
+ |
ВЧ |
Ta |
Al2O3 |
1356 |
8,23 |
800 |
950 |
1150 |
Sn |
Олово |
+ |
+ |
ПТ, ВЧ |
Mo |
Al2O3 |
232 |
7,28 |
682 |
807 |
997 |
U |
Уран |
+ |
+ |
- |
Mo, W |
- |
1132 |
19,05 |
1132 |
1327 |
1582 |
Yb |
Иттербий |
+ |
+ |
ПТ, ВЧ |
Ta |
- |
819 |
6,96 |
520 |
590 |
690 |
Y |
Иттрий |
+ |
+ |
ВЧ, ПТ |
W, Ta |
Al2O3 |
1522 |
4,47 |
830 |
973 |
1157 |
La |
Лантан |
+ |
+ |
ВЧ |
W, Ta |
Al2O3 |
921 |
6,15 |
990 |
1212 |
1388 |
Оксиды |
Al2O3 |
Оксид Аллюминия |
+ |
|
ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
W |
- |
2072 |
3,97 |
Oxide - |
- |
1550 |
As2O3 |
Оксид Мышьяка |
- |
|
- |
- |
- |
312 |
3,74 |
- |
- |
- |
B2O3 |
Оксид Бора |
+ |
|
- |
Pt, Mo |
- |
~450 |
1,81 |
- |
- |
~1400 |
BaO |
Оксид Бария |
+ |
|
ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
Pt |
Al2O3 |
1918 |
5,72 |
- |
- |
~1300 |
BeO |
Оксид Бериллия |
+ |
|
ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
- |
- |
2530 |
3,01 |
- |
- |
1900 |
Bi2O3 |
Оксид Висмута |
+ |
|
ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
Pt |
- |
860 |
8,55 |
- |
- |
~1400 |
CaO |
Оксид Кальция |
- |
|
ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
W, Mo |
ZrO2 |
2614 |
~3,3 |
- |
- |
~1700 |
CdO |
Оксид Кадмия |
- |
|
ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
- |
- |
>1500 |
6,95 |
- |
- |
~530 |
Ce2O3 |
Оксид Церия (III) |
+ |
|
- |
W |
- |
1692 |
6,86 |
- |
- |
- |
CeO2 |
Оксид Церия (IV) |
+ |
|
ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
W |
- |
~2600 |
7,13 |
1890 |
2000 |
2310 |
CoO |
Оксид Кобальта |
- |
|
ПТ-R, ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
- |
- |
1795 |
6,45 |
- |
- |
- |
Cr2O3 |
Оксид Хрома |
+ |
|
ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
W, Mo |
- |
2266 |
5,21 |
- |
- |
~2000 |
Cu2O |
Оксид Меди |
+ |
|
ПТ-R, ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
Ta |
Al2O3 |
1235 |
6 |
- |
- |
~600 |
Dy2O3 |
Оксид Диспрозия |
- |
|
ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
Ir |
- |
2340 |
7,81 |
- |
- |
~1400 |
Er2O3 |
Оксид Эрбия |
- |
|
ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
Ir |
- |
Infus. |
8,64 |
- |
- |
~1600 |
Eu2O3 |
Оксид Европия |
+ |
|
ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
Ir, Ta, W |
ThO2 |
- |
7,42 |
- |
- |
~1600 |
Ga2O3 |
Оксид Галлия |
- |
+ |
ВЧ |
Pr, W |
- |
1900 |
6,44 |
- |
- |
- |
Gd2O3 |
Оксид Гадолиния |
+ |
+ |
ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
Ir |
- |
2330 |
7,41 |
- |
- |
- |
GeO |
Оксид Германия (II) |
- |
- |
ВЧ |
- |
КВАРЦ |
710 |
- |
- |
- |
500 |
GeO2 |
Оксид Германия (III) |
+ |
+ |
ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
Ta, Mo |
КВАРЦ, Al2O3 |
1086 |
6,24 |
- |
- |
~625 |
HfO2 |
Оксид Гафния |
+ |
+ |
ПТ, ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
W |
- |
2758 |
9,68 |
- |
- |
~2500 |
Ho2O3 |
Оксид Гольмия |
- |
+ |
ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
Ir |
- |
2370 |
8,41 |
- |
- |
- |
In2O |
Оксид Индия (I) |
- |
- |
ВЧ |
- |
- |
~600 |
6,99 |
- |
- |
650 |
In2O3 |
Оксид Индия (III) |
+ |
+ |
- |
W, Pt |
Al2O3 |
850 |
7,18 |
- |
- |
~1200 |
La2O3 |
Оксид Лантана |
+ |
+ |
ВЧ |
W, Ta |
- |
2307 |
6,51 |
- |
- |
1400 |
Li2O |
Оксид Лития |
- |
+ |
ВЧ |
Pt, Ir |
- |
>1700 |
2,01 |
- |
- |
850 |
Lu2O3 |
Оксид Лутеция |
- |
+ |
ВЧ |
Ir |
- |
- |
9,42 |
- |
- |
1400 |
MgO |
Оксид Магния |
+ |
- |
ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
- |
C, Al2O3 |
2852 |
3,58 |
- |
- |
1300 |
MoO3 |
Оксид Молибдена |
- |
+ |
ВЧ |
Mo, Pt |
Al2O3, BN |
795 |
4,69 |
- |
- |
~900 |
NB2O3 |
Оксид Ниобия (III) |
- |
+ |
ВЧ, ПТ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
W |
- |
1780 |
7,5 |
- |
- |
- |
Nb2O5 |
Оксид Ниобия (V) |
- |
+ |
ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
W |
- |
1485 |
4,47 |
- |
- |
- |
NbO |
Оксид Ниобия (II) |
- |
+ |
ВЧ |
Pt |
- |
- |
7,3 |
- |
- |
1100 |
Nd2O3 |
Оксид Неодима |
+ |
+ |
ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
Ta, W |
ThO2 |
~1900 |
7,24 |
- |
- |
~1400 |
NiO |
Оксид Никеля |
- |
- |
ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
- |
Al2O3 |
1984 |
6,67 |
- |
- |
~1470 |
Os2O3 |
Оксид Осмия |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
PbO |
Оксид Мышьяка |
- |
+ |
ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
Pt |
КВАРЦ, Al2O3 |
886 |
9,53 |
- |
- |
~550 |
PdO |
Оксид Палладия |
- |
- |
ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
- |
Al2O3 |
870 |
9,7 |
- |
- |
575 |
Pr2O3 |
Оксид Празеодима |
+ |
+ |
ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
Ir |
ThO2 |
- |
7,07 |
- |
- |
1400 |
PtO2 |
Оксид Платины |
- |
- |
ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
- |
- |
450 |
10,2 |
- |
- |
- |
SB2O3 |
Оксид Сурьмы |
+ |
|
ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
Pt |
BN, Al2O3 |
656 |
5,2 |
- |
- |
~300 |
Sc2O3 |
Оксид Скандия |
+ |
- |
ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
- |
- |
2300 |
3,86 |
- |
- |
~400 |
SiO |
Оксид кремния (I I) |
+ |
+ |
ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
Ta |
Ta |
>1702 |
2,13 |
- |
- |
850 |
SiO2 |
Оксид Кремния (IV) |
+ |
- |
ВЧ |
- |
Al2O3 |
1610 |
~2,65 |
* |
* |
1025* |
Sm2O3 |
Оксид Самария |
+ |
+ |
ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
Ir |
ThO2 |
2350 |
8,35 |
- |
- |
- |
SnO2 |
Оловянный Оксид |
+ |
+ |
ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
W |
КВАРЦ, Al2O3 |
1630 |
6,95 |
- |
- |
~1000 |
SrO |
Оксид Стронция |
- |
+ |
ВЧ |
Mo |
Al2O3 |
2430 |
4,7 |
- |
- |
1500 |
Ta2O5 |
Оксид
Тантала |
+ |
+ |
ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
Ta |
VC |
1872 |
8,2 |
1550 |
1780 |
1920 |
TB2O3 |
Оксид Тербия |
- |
+ |
ВЧ |
Ir |
- |
2387 |
7,87 |
- |
- |
1300 |
Tb4O7 |
Перекись Тербия |
- |
+ |
ВЧ |
Ta |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
ThO2 |
Оксид Тория |
+ |
+ |
ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
W |
- |
3220 |
9,86 |
- |
- |
~2100 |
Ti2O3 |
Оксид Титана (III) |
+ |
+ |
ВЧ |
W |
- |
2130 |
4,6 |
- |
- |
- |
Tm2O3 |
Оксид Тулия |
- |
+ |
ВЧ |
Ir |
- |
- |
8,9 |
- |
- |
1500 |
U2O3 |
Оксид Урана (III) |
- |
+ |
ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
W |
- |
1300 |
8,3 |
- |
- |
- |
UO2 |
Оксид Урана (IV) |
- |
+ |
ВЧ |
W |
- |
2878 |
10,96 |
- |
- |
- |
V2O5 |
Оксид Ванадия (V) |
- |
- |
ВЧ |
- |
КВАРЦ |
690 |
3,36 |
- |
- |
~500 |
VO2 |
Оксид Ванадия (IV) |
- |
- |
ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
- |
- |
1967 |
4,34 |
- |
- |
~575 |
WO3 |
Оксид Вольфрама |
+ |
+ |
ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
W, Pt |
- |
1473 |
7,16 |
- |
- |
980 |
Y2O3 |
Оксид Иттрия |
+ |
+ |
ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
W |
C |
2410 |
5,01 |
- |
- |
~2000 |
YB2O3 |
Оксид Иттербия |
- |
+ |
ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
Ir |
- |
2346 |
9,17 |
- |
- |
~1500 |
ZnO |
Оксид Цинка |
+ |
- |
ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
- |
- |
1975 |
5,61 |
- |
- |
~1800 |
ZrO2 |
Оксид Циркония |
+ |
+ |
ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ |
W |
- |
~2700 |
5,89 |
- |
- |
~2200 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|