Группа компаний "АВАКС"
    Надежное оборудование от ведущих производителей и собственного производства

    ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ















    Консультации on-line:
    ICQ: 281785897
    Skype: AVACUUM

    E-mail: info@avacuum.ru
    Web: https://www.avacuum.ru

    Тел: +7 (812) 702-82-28
    +7 (812) 372-55-45
    Факс: +7 (812) 372-55-45

    АВАКС в социальных сетях:

    Техническая информация > Свойства металлов и оксидов >

    Материал
    Название
    Метод напыления
    Материал

    Т плавления,

    °С

    Плотность,

    г/см3

    Т при данном давлении паров,
    p=1.33 • 10-6Па,
    °C

    Т при данном давлении паров,
    p=1.33 • 10-4Па,
    °C
    Т при данном давлении паров,
    p=1.33 • 10-2Па,
    °C

    Электронным пучком

    Резистивно

    Магнетронное распыление

    Испарителя

    Тигля

    Металлы

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

    Al

    Алюминий

    +

    +

    ПТ, ВЧ

    W

    BN

    660

    2.70

    677

    821

    1010

    Ba

    Барий

    +

    +

    ПТ,
    ВЧ

    W, Mo, Ta

    Al2O3, VC

    2300

    2.34

    1278

    1548

    1797

    Be

    Бериллий

    +

    +

    ПТ,
    ВЧ

    W, Ta

    BeO, C, VC

    271

    9.80

    330

    410

    520

    Bi

    Висмут

    +

    +

    ВЧ

    W, Ta, Mo

     

    1278

    1.85

    710

    878

    1000

    B

    Бор

    +

    -

    ВЧ

    -

    C, VC

    725

    3.51

    545

    627

    735

    Cd

    Кадмий

    +

    +

    +

    W, Mo, Ta

    Al2O3, КВАРЦ

    321

    8.64

    64

    120

    180

    Ca

    Кальций

    +

    +

    -

    W

    Al2O3, КВАРЦ

    839

    1.54

    272

    357

    459

    Ce

    Церий

    -

    +

    -

    НЕРЖ

    КВАРЦ

    798

    ~6.70

    970

    1150

    1380

    Cr

    Хром

    +

    +

    ВЧ, ПТ

    W, Ta

     

    1857

    7.20

    837

    977

    1157

    Co

    Кобальт

    +

    +

    ПТ, ВЧ

    W, Nb

    Al2O3, BeO

    1857

    7.20

    837

    977

    1157

    Cu

    Медь

    +

    +

    ПТ, ВЧ

    Mo

    Al2O3, Mo, Ta

    1495

    8.9

    850

    990

    1200

    Er

    Эрбий

    +

    +

    ПТ, ВЧ

    W, Ta

    -

    1083

    8.92

    727

    857

    1017

    Eu

    Европий

    +

    +

    ВЧ, ПТ

    W, Ta

    Al2O3

    1529

    9.07

    650

    775

    930

    Ga

    Галлий

    +

    -

    -

    -

    Al2O3, BeO, КВАРЦ

    30

    5.90

    619

    742

    907

    Au

    Золото

    +

    +

    W

    W

    Al2O3, BN, VC

    1064

    19.32

    807

    947

    1132

    In

    Индий

    +

    +

    ПТ, ВЧ

    W, Mo

    Графит, Al2O3

    157

    7.30

    487

    597

    742

    Ir

    Иридий

    F

    -

    ПТ, ВЧ

    -

    ThO2

    2410

    22.42

    1850

    2080

    2380

    Fe

    Железо

    +

    +

    ПТ, ВЧ

    W

    Al2O3, BeO

    1535

    7.86

    858

    998

    1180

    Pb

    Свинец

    +

    +

    ПТ, ВЧ

    W, Mo

    Al2O3, КВАРЦ

    328

    11.34

    342

    427

    497

    Li

    Литий

    +

    +

    -

    Ta, НЕРЖ

    Al2O3, BeO

    181

    0.53

    227

    307

    407

    Mg

    Магний

    +

    +

    ПТ, ВЧ

    W, Mo, Ta, Cb

    Al2O3, VC

    649

    1.74

    185

    247

    327

    Mn

    Марганец

    -

    -

    -

    -

    -

    1244

    7.20

    507

    572

    647

    Hg

    Ртуть

    +

    -

    ПТ, ВЧ

    -

    -

    -39

    13.55

    -68

    -42

    -6

    Mo

    Молибден

    +

    +

    ПТ, ВЧ

    Ta

    Al2O3

    2610

    10.2

    1592

    1822

    2117

    Nd

    Неодим

    +

    +

    ПТ, ВЧ

    W

    Al2O3, BeO, VC

    1021

    7.01

    731

    871

    1062

    Ni

    Никель

    +

    +

    ПТ, ВЧ

    W

    -

    1455

    8.90

    927

    1072

    1262

    Nb

    Ниобий

    +

    -

    ПТ, ВЧ

    -

    -

    2468

    8.57

    1728

    1977

    2287

    Os

    Осмий

    +

    +

    ПТ, ВЧ

    W

    Al2O3, BeO

    2700

    22.48

    2170

    2430

    2760

    Pd

    Палладий

    +

    +

    ПТ, ВЧ

    W

    C, ThO2

    1554

    12.02

    842

    992

    1192

    Pt

    Платина

    -

    +

    -

    Mo

    КВАРЦ

    1772

    21.45

    1292

    1492

    1747

    K

    Калий

    -

    -

    -

    -

    -

    63

    0.86

    23

    60

    125

    Ra

    Радий

    P

    -

    ПТ, ВЧ

    -

    -

    700

    5 (?)

    246

    320

    416

    Re

    Рений

    +

    +

    ПТ, ВЧ

    W

    ThO2, VC

    3180

    20.53

    1928

    2207

    2571

    Rh

    Родий

    -

    -

    ПТ, ВЧ

    -

    КВАРЦ

    1966

    12.4

    1277

    1472

    1707

    Rb

    Рубидий

     

    +

    ПТ, ВЧ

    W

    -

    39

    1.48

    -3

    37

    111

    Ru

    Рутений

    +

    +

    ВЧ

    W

    Al2O3, BeO

    2310

    12.3

    1780

    1990

    2260

    Sc

    Скандий

    +

    +

    W

    W

    Al2O3

    1541

    2.99

    714

    837

    1002

    Ag

    Серебро

    -

    +

    -

    Ta, НЕРЖ

    КВАРЦ

    962

    10.5

    847

    958

    1105

    Na

    Натрий

    +

    +

    ВЧ, ПТ

    W, Ta, Mo

    VC

    98

    0.97

    74

    124

    192

    Sr

    Стронций

    +

    -

    ПТ, ВЧ

    -

    -

    769

    2.6

    239

    309

    403

    Ta

    Тантал

    +

    +

    ВЧ

    W, Ta

    Al2O3, КВАРЦ

    2996

    16.6

    1960

    2240

    2590

    Te

    Теллур

    +

    +

    ПТ

    W, Ta

    Al2O3, КВАРЦ

    452

    6.25

    157

    207

    277

    Tl

    Таллий

    +

    +

    -

    W, Ta,Mo

    -

    304

    11.85

    280

    360

    470

    Th

    Торий

    +

    +

    ПТ, ВЧ

    W

    TiC

    1875

    11.7

    1430

    1660

    1925

    Ti

    Титан

    +

    -

    ВЧ, ПТ

    -

    -

    1660

    4.5

    1067

    1235

    1453

    W

    Вольфрам

    +

    +

    ПТ, ВЧ

    W, Mo

    -

    3410

    19.35

    2117

    2407

    2757

    V

    Ванадий

    +

    +

    ПТ, ВЧ

    Mo, W, Ta

    Al2O3, КВАРЦ

    1890

    5.96

    1162

    1332

    1547

    Zn

    Цинк

    +

    +

    ВЧ, ПТ

    W

    -

    420

    7.14

    127

    177

    250

    Zr

    Цирконий

    +

    -

    -

    -

    Al2O3, BeO, КВАРЦ

    1852

    6.49

    1477

    1702

    1987

    Dy

    Диспрозий

    +

     

    ВЧ, ПТ

    Ta

    -

    1412

    8,55

    625

    750

    900

    Gd

    Гадолиний

    +

    +

    ВЧ, ПТ

    Ta

    Al2O3

    1313

    7,9

    760

    900

    1175

    Sb

    Сурьма

     

    "+"

    ВЧ, ПТ

    Mo,Ta

    BN, C, Al2O3

    630

    6,68

    279

    345

    425

    Ge

    Германий

    +

    +

    ПТ, ВЧ

    W, C, Ta

    КВАРЦ, Al2O3

    937

    5,35

    812

    957

    1167

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

    Hf

    Гафний

    +

    -

    ПТ, ВЧ

    -

    -

    2227

    13,31

    2160

    2250

    3090

    Ho

    Гольмий

    +

    +

    -

    W, Ta

    -

    1474

    8,8

    650

    770

    950

    Lu

    Лутеций

    +

    +

    ВЧ, ПТ

    Ta

    Al2O3

    1663

    9,84

    -

    -

    1300

    Ni/Cr

    Нихром IV

    +

    +

    ПТ, ВЧ

     

    Al2O3, VC, BeO

    1395

    8,5

    847

    987

    1217

    Ni/Fe

    Permalloy

     

    +

    ПТ

    W

    Al2O3, VC

    1395

    8,7

    947

    1047

    1307

    P

    Фосфор

    -

    -

    -

    -

    Al2O3

    44.1

    1,82

    327

    361

    402

    Pu

    Плутоний

    -

    +

    -

    W

    -

    641

    19,84

    -

    -

    -

    Po

    Полоний

    -

    -

    -

    -

    КВАРЦ

    254

    9,4

    117

    170

    244

    Pr

    Празеодим

    +

    +

    ВЧ, ПТ

    Ta

    -

    931

    6,77

    800

    950

    1150

    Tc

    Технеций

    -

    -

    -

    -

    -

    2200

    11,5

    1570

    1800

    2090

    Tb

    Тербий

    +

    +

    ВЧ

    Ta

    Al2O3

    1356

    8,23

    800

    950

    1150

    Sn

    Олово

    +

    +

    ПТ, ВЧ

    Mo

    Al2O3

    232

    7,28

    682

    807

    997

    U

    Уран

    +

    +

    -

    Mo, W

    -

    1132

    19,05

    1132

    1327

    1582

    Yb

    Иттербий

    +

    +

    ПТ, ВЧ

    Ta

    -

    819

    6,96

    520

    590

    690

    Y

    Иттрий

    +

    +

    ВЧ, ПТ

    W, Ta

    Al2O3

    1522

    4,47

    830

    973

    1157

    La

    Лантан

    +

    +

    ВЧ

    W, Ta

    Al2O3

    921

    6,15

    990

    1212

    1388

    Оксиды

    Al2O3

    Оксид Аллюминия

    +

     

    ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    W

    -

    2072

    3,97

    Oxide -

    -

    1550

    As2O3

    Оксид Мышьяка

    -

     

    -

    -

    -

    312

    3,74

    -

    -

    -

    B2O3

    Оксид Бора

    +

     

    -

    Pt, Mo

    -

    ~450

    1,81

    -

    -

    ~1400

    BaO

    Оксид Бария

    +

     

    ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    Pt

    Al2O3

    1918

    5,72

    -

    -

    ~1300

    BeO

    Оксид Бериллия

    +

     

    ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    -

    -

    2530

    3,01

    -

    -

    1900

    Bi2O3

    Оксид Висмута

    +

     

    ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    Pt

    -

    860

    8,55

    -

    -

    ~1400

    CaO

    Оксид Кальция

    -

     

    ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    W, Mo

    ZrO2

    2614

    ~3,3

    -

    -

    ~1700

    CdO

    Оксид Кадмия

    -

     

    ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    -

    -

    >1500

    6,95

    -

    -

    ~530

    Ce2O3

    Оксид Церия (III)

    +

     

    -

    W

    -

    1692

    6,86

    -

    -

    -

    CeO2

    Оксид Церия (IV)

    +

     

    ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    W

    -

    ~2600

    7,13

    1890

    2000

    2310

    CoO

    Оксид Кобальта

    -

     

    ПТ-R, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    -

    -

    1795

    6,45

    -

    -

    -

    Cr2O3

    Оксид Хрома

    +

     

    ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    W, Mo

    -

    2266

    5,21

    -

    -

    ~2000

    Cu2O

    Оксид Меди

    +

     

    ПТ-R, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    Ta

    Al2O3

    1235

    6

    -

    -

    ~600

    Dy2O3

    Оксид Диспрозия

    -

     

    ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    Ir

    -

    2340

    7,81

    -

    -

    ~1400

    Er2O3

    Оксид Эрбия

    -

     

    ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    Ir

    -

    Infus.

    8,64

    -

    -

    ~1600

    Eu2O3

    Оксид Европия

    +

     

    ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    Ir, Ta, W

    ThO2

    -

    7,42

    -

    -

    ~1600

    Ga2O3

    Оксид Галлия

    -

    +

    ВЧ

    Pr, W

    -

    1900

    6,44

    -

    -

    -

    Gd2O3

    Оксид Гадолиния

    +

    +

    ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    Ir

    -

    2330

    7,41

    -

    -

    -

    GeO

    Оксид Германия (II)

    -

    -

    ВЧ

    -

    КВАРЦ

    710

    -

    -

    -

    500

    GeO2

    Оксид Германия (III)

    +

    +

    ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    Ta, Mo

    КВАРЦ, Al2O3

    1086

    6,24

    -

    -

    ~625

    HfO2

    Оксид Гафния

    +

    +

    ПТ, ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    W

    -

    2758

    9,68

    -

    -

    ~2500

    Ho2O3

    Оксид Гольмия

    -

    +

    ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    Ir

    -

    2370

    8,41

    -

    -

    -

    In2O

    Оксид Индия (I)

    -

    -

    ВЧ

    -

    -

    ~600

    6,99

    -

    -

    650

    In2O3

    Оксид Индия (III)

    +

    +

    -

    W, Pt

    Al2O3

    850

    7,18

    -

    -

    ~1200

    La2O3

    Оксид Лантана

    +

    +

    ВЧ

    W, Ta

    -

    2307

    6,51

    -

    -

    1400

    Li2O

    Оксид Лития

    -

    +

    ВЧ

    Pt, Ir

    -

    >1700

    2,01

    -

    -

    850

    Lu2O3

    Оксид Лутеция

    -

    +

    ВЧ

    Ir

    -

    -

    9,42

    -

    -

    1400

    MgO

    Оксид Магния

    +

    -

    ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    -

    C, Al2O3

    2852

    3,58

    -

    -

    1300

    MoO3

    Оксид Молибдена

    -

    +

    ВЧ

    Mo, Pt

    Al2O3, BN

    795

    4,69

    -

    -

    ~900

    NB2O3

    Оксид Ниобия (III)

    -

    +

    ВЧ, ПТ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    W

    -

    1780

    7,5

    -

    -

    -

    Nb2O5

    Оксид Ниобия (V)

    -

    +

    ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    W

    -

    1485

    4,47

    -

    -

    -

    NbO

    Оксид Ниобия (II)

    -

    +

    ВЧ

    Pt

    -

    -

    7,3

    -

    -

    1100

    Nd2O3

    Оксид Неодима

    +

    +

    ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    Ta, W

    ThO2

    ~1900

    7,24

    -

    -

    ~1400

    NiO

    Оксид Никеля

    -

    -

    ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    -

    Al2O3

    1984

    6,67

    -

    -

    ~1470

    Os2O3

    Оксид Осмия

    -

    -

    -

    -

    -

    -

    -

    -

    -

    -

    PbO

    Оксид Мышьяка

    -

    +

    ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    Pt

    КВАРЦ, Al2O3

    886

    9,53

    -

    -

    ~550

    PdO

    Оксид Палладия

    -

    -

    ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    -

    Al2O3

    870

    9,7

    -

    -

    575

    Pr2O3

    Оксид Празеодима

    +

    +

    ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    Ir

    ThO2

    -

    7,07

    -

    -

    1400

    PtO2

    Оксид Платины

    -

    -

    ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    -

    -

    450

    10,2

    -

    -

    -

    SB2O3

    Оксид Сурьмы

    +

     

    ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    Pt

    BN, Al2O3

    656

    5,2

    -

    -

    ~300

    Sc2O3

    Оксид Скандия

    +

    -

    ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    -

    -

    2300

    3,86

    -

    -

    ~400

    SiO

    Оксид кремния (I I)

    +

    +

    ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    Ta

    Ta

    >1702

    2,13

    -

    -

    850

    SiO2

    Оксид Кремния (IV)

    +

    -

    ВЧ

    -

    Al2O3

    1610

    ~2,65

    *

    *

    1025*

    Sm2O3

    Оксид Самария

    +

    +

    ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    Ir

    ThO2

    2350

    8,35

    -

    -

    -

    SnO2

    Оловянный Оксид

    +

    +

    ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    W

    КВАРЦ, Al2O3

    1630

    6,95

    -

    -

    ~1000

    SrO

    Оксид Стронция

    -

    +

    ВЧ

    Mo

    Al2O3

    2430

    4,7

    -

    -

    1500

    Ta2O5

    Оксид
    Тантала

    +

    +

    ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    Ta

    VC

    1872

    8,2

    1550

    1780

    1920

    TB2O3

    Оксид Тербия

    -

    +

    ВЧ

    Ir

    -

    2387

    7,87

    -

    -

    1300

    Tb4O7

    Перекись Тербия

    -

    +

    ВЧ

    Ta

    -

    -

    -

    -

    -

    -

    ThO2

    Оксид Тория

    +

    +

    ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    W

    -

    3220

    9,86

    -

    -

    ~2100

    Ti2O3

    Оксид Титана (III)

    +

    +

    ВЧ

    W

    -

    2130

    4,6

    -

    -

    -

    Tm2O3

    Оксид Тулия

    -

    +

    ВЧ

    Ir

    -

    -

    8,9

    -

    -

    1500

    U2O3

    Оксид Урана (III)

    -

    +

    ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    W

    -

    1300

    8,3

    -

    -

    -

    UO2

    Оксид Урана (IV)

    -

    +

    ВЧ

    W

    -

    2878

    10,96

    -

    -

    -

    V2O5

    Оксид Ванадия (V)

    -

    -

    ВЧ

    -

    КВАРЦ

    690

    3,36

    -

    -

    ~500

    VO2

    Оксид Ванадия (IV)

    -

    -

    ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    -

    -

    1967

    4,34

    -

    -

    ~575

    WO3

    Оксид Вольфрама

    +

    +

    ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    W, Pt

    -

    1473

    7,16

    -

    -

    980

    Y2O3

    Оксид Иттрия

    +

    +

    ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    W

    C

    2410

    5,01

    -

    -

    ~2000

    YB2O3

    Оксид Иттербия

    -

    +

    ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    Ir

    -

    2346

    9,17

    -

    -

    ~1500

    ZnO

    Оксид Цинка

    +

    -

    ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    -

    -

    1975

    5,61

    -

    -

    ~1800

    ZrO2

    Оксид Циркония

    +

    +

    ВЧ, ВЧ РЕАКТИВНОЕ

    W

    -

    ~2700

    5,89

    -

    -

    ~2200