Щелевые затворы кассетного типа имеют стандартную конструкцию с двумя крепежными фланцами, монтируются непосредственно к фланцам технологической установки (как проходная запорная арматура), разделяя камеры, которые необходимо вакуумно плотно изолировать друг от друга. Привод - пневматический, двухстороннего действия. Диаметр подложек, которые можно передать через затвор, - 300 мм (12 дюймов).
Дополнительное оборудование / варианты исполнения: индикаторы закрытого / открытого состояния; уплотнение Kalrez - по заказу; встроенный нагреватель; исполнение в стандарте MESK (Half MESK, Full MESK).
Технические характеристики
Характеристика (параметр)
Ед.изм.
Щелевой затвор кассетного типа XGT
Материал уплотнения седла затвора:
–
FKM (витон) в стандартном исполнении
Привод штока затвора:
–
сильфонный
Тип привода затвора:
–
пневматический, двухстороннего действия
Рабочее давление воздуха:
бар
4.5 - 6
Время открытия / закрытия:
сек
0.6 - 1.0
Диапазон давлений, на который рассчитан затвор:
Торр
7.5×103 - 1×10-8
Разность давлений (для открытия затвора):
Торр
≤ 40
Рабочая температура (затвор):
оС
5 - 150
Рабочая температура (привод):
оС
5 - 60
Натекание по гелию (при диф. давлении 7.5×103 Торр):
Вся информация о товарах, услугах и ценах, предоставленная на данном интернет-сайте, носит исключительно информационный характер и
ни при каких условиях не является публичной офертой, определяемой положениями Статьи 437 Гражданского кодекса Российской Федерации.
давления
