Научно-производственная компания "АВАКС" | Вакуумное оборудование, напыление покрытий | Вакуумные затворы | Щелевые затворы | Щелевые затворы открытого типа (бескорпусные)

Щелевые затворы открытого типа имеют один фланец для присоединения к вакуумной установке, конструкция затвора позволяет использовать его для вакуумно плотной изоляции портов, расположенных в вакуумном объеме установки. Привод - пневматический, двухстороннего действия. Тип уплотнения привода - сильфонный. Диаметр подложек, которые можно передать через затвор, - 300 мм (12 дюймов). Материал вакуумных затворов - нержавеющая сталь, уплотнение "тарелки" затвора - витон (FKM).


XGT221

XGT311

Щелевой затвор открытого типа	A мм	B мм	C мм	D мм	Порт подачи воздуха	Вес, кг
XGT221-32222	222	32	235	45	M5x0.8	8
XGT221-46236	236	46	249	59	M5x0.8	8
XGT311-50336	336	50	348	62	Rс1/8	14

• ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ВАКУУМНЫХ ЩЕЛЕВЫХ ЗАТВОРОВ

Материал уплотнения седла затвора:	- FKM (витон)в стандартном исполнении
Привод штока затвора	сильфонный
Тип привода затвора:	пневматический, двухстороннего действия
Рабочее давление воздуха:	4.5-6 бар
Время открытия/закрытия:	0.6-1.0 сек
Диапазон давлений, на который рассчитан затвор:	7.5х10³ - 1x10^-8 Торр
Разность давлений (для открытия затвора):	40 Торр и менее
Рабочая температура:	5-150^оС (Затвор) 5-60^оС(привод)
Натекание по гелию (при диф. давлении 7.5х10³ Торр):	6.5×10^-10 Па м³/сек (уплотнение - FKM)
Натекание по гелию внешнее:	6.5×10^-11 Па м³/сек
Гарантированное количество циклов (откр./закр):	не менее 2000000
Дополнительное оборудование:	- индикаторы закрытого/открытого состояния - уплотнение Kalrez - по заказу -встроенный нагреватель