| Главная > Вакуумные затворы > Щелевые затворы > Щелевые затворы открытого типа (бескорпусные) > |
Щелевые затворы открытого типа (бескорпусные)
|
|
Щелевые затворы открытого типа имеют один фланец для присоединения к вакуумной установке, конструкция затвора позволяет использовать его для вакуумно плотной изоляции портов, расположенных в вакуумном объеме установки. Привод - пневматический, двухстороннего действия. Тип уплотнения привода - сильфонный. Диаметр подложек, которые можно передать через затвор, - 300 мм (12 дюймов). Материал вакуумных затворов - нержавеющая сталь, уплотнение "тарелки" затвора - витон (FKM).
|
| Щелевой затвор открытого типа |
A
мм |
B
мм |
C
мм |
D
мм |
Порт подачи воздуха |
Вес,
кг |
| XGT221-32222 |
222 |
32 |
235 |
45 |
M5x0.8 |
8 |
| XGT221-46236 |
236 |
46 |
249 |
59 |
M5x0.8 |
8 |
| XGT311-50336 |
336 |
50 |
348 |
62 |
Rс1/8 |
14 |
• ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ВАКУУМНЫХ ЩЕЛЕВЫХ ЗАТВОРОВ
| Материал уплотнения седла затвора: |
- FKM (витон)в стандартном исполнении |
| Привод штока затвора |
сильфонный |
| Тип привода затвора: |
пневматический, двухстороннего действия |
| Рабочее давление воздуха: |
4.5-6 бар |
| Время открытия/закрытия: |
0.6-1.0 сек |
| Диапазон давлений, на который рассчитан затвор: |
7.5х103 - 1x10-8 Торр |
| Разность давлений (для открытия затвора): |
40 Торр и менее |
| Рабочая температура: |
5-150оС (Затвор)
5-60оС(привод) |
| Натекание по гелию (при диф. давлении 7.5х103 Торр): |
6.5×10-10 Па м3/сек (уплотнение - FKM) |
| Натекание по гелию внешнее: |
6.5×10-11 Па м3/сек |
| Гарантированное количество циклов (откр./закр): |
не менее 2000000 |
| Дополнительное оборудование: |
- индикаторы закрытого/открытого состояния
- уплотнение Kalrez - по заказу
-встроенный нагреватель
|
|
|
давления
