ООО "АВАКС"
    Научно-производственная фирма

    ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ












    Консультации on-line:
    ICQ: 281785897
    Skype: AVACUUM

    E-mail: info@avacuum.ru
    Web: https://www.avacuum.ru

    Тел: +7 (812) 702-82-28
    +7 (812) 372-55-45
    Факс: +7 (812) 372-55-45

    Главная > Вакуумные затворы > Щелевые затворы > Щелевые затворы кассетного типа (корпусные) >

    Щелевые затворы кассетного типа (корпусные)


    Щелевые затворы кассетного типа имеют стандартную конструкцию с двумя крепежными фланцами, монтируются непосредственно к фланцам технологической установки (как проходная запорная арматура), разделяя камеры, которые необходимо вакуумно плотно изолировать друг от друга. Привод - пневматический, двухстороннего действия. Диаметр подложек, которые можно передать через затвор, - 300 мм (12 дюймов).

    XGT222 вид со стороны седла затвора
    XGT311 вид со стороны седла затвора

    Щелевой затвор кассетного типа A
    мм
    B
    мм
    Порт подачи воздуха Вес,
    мм
    Размер подложки
    мм (дюймы)
    XGT222-32222 222 32 M5x0.8 12 200 мм (8")
    XGT222-46236 236 46 M5x0.8 12 200 мм (8")
    XGT312-50336 336 50 Rс1/8 20 300 мм (12")




    • ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ВАКУУМНЫХ ЩЕЛЕВЫХ ЗАТВОРОВ

    Материал уплотнения седла затвора: - FKM (витон)в стандартном исполнении
    Привод штока затвора сильфонный
    Тип привода затвора: пневматический, двухстороннего действия
    Рабочее давление воздуха: 4.5-6 бар
    Время открытия/закрытия: 0.6-1.0 сек
    Диапазон давлений, на который рассчитан затвор: 7.5х103 - 1x10-8 Торр
    Разность давлений (для открытия затвора): 40 Торр и менее
    Рабочая температура: 5-150оС (Затвор)
    5-60оС(привод)
    Натекание по гелию (при диф. давлении 7.5х103 Торр): 6.5×10-10 Па м3/сек (уплотнение - FKM)
    Натекание по гелию внешнее: 6.5×10-11 Па м3/сек
    Гарантированное количество циклов (откр./закр): не менее 2000000
    Дополнительное оборудование/варианты исполнения: - индикаторы закрытого/открытого состояния
    - уплотнение Kalrez - по заказу
    - встроенный нагреватель
    - исполнение в стандарте MESK (Half MESK, Full MESK)