Научно-производственная компания "АВАКС" | Вакуумное оборудование, напыление покрытий | Вакуумные затворы | Щелевые затворы | Щелевые затворы кассетного типа (корпусные)

Щелевые затворы кассетного типа имеют стандартную конструкцию с двумя крепежными фланцами, монтируются непосредственно к фланцам технологической установки (как проходная запорная арматура), разделяя камеры, которые необходимо вакуумно плотно изолировать друг от друга. Привод - пневматический, двухстороннего действия. Диаметр подложек, которые можно передать через затвор, - 300 мм (12 дюймов).


XGT222		вид со стороны седла затвора

XGT311		вид со стороны седла затвора

Щелевой затвор кассетного типа	A мм	B мм	Порт подачи воздуха	Вес, мм	Размер подложки мм (дюймы)
XGT222-32222	222	32	M5x0.8	12	200 мм (8")
XGT222-46236	236	46	M5x0.8	12	200 мм (8")
XGT312-50336	336	50	Rс1/8	20	300 мм (12")

• ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ВАКУУМНЫХ ЩЕЛЕВЫХ ЗАТВОРОВ

Материал уплотнения седла затвора:	- FKM (витон)в стандартном исполнении
Привод штока затвора	сильфонный
Тип привода затвора:	пневматический, двухстороннего действия
Рабочее давление воздуха:	4.5-6 бар
Время открытия/закрытия:	0.6-1.0 сек
Диапазон давлений, на который рассчитан затвор:	7.5х10³ - 1x10^-8 Торр
Разность давлений (для открытия затвора):	40 Торр и менее
Рабочая температура:	5-150^оС (Затвор) 5-60^оС(привод)
Натекание по гелию (при диф. давлении 7.5х10³ Торр):	6.5×10^-10 Па м³/сек (уплотнение - FKM)
Натекание по гелию внешнее:	6.5×10^-11 Па м³/сек
Гарантированное количество циклов (откр./закр):	не менее 2000000
Дополнительное оборудование/варианты исполнения:	- индикаторы закрытого/открытого состояния - уплотнение Kalrez - по заказу - встроенный нагреватель - исполнение в стандарте MESK (Half MESK, Full MESK)