ООО "АВАКС"
Научно-производственная фирма

ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ • КОМПОНЕНТЫ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ • РАСХОДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ













Консультации on-line:
ICQ: 281785897
Skype: AVACUUM

E-mail: info@avacuum.ru
Web: https://www.avacuum.ru

Тел: +7 (812) 702-82-28
+7 (812) 372-55-45
Факс: +7 (812) 372-55-45

Главная > Вакуумные затворы > Щелевые затворы > Щелевые затворы кассетного типа (корпусные) >

Щелевые затворы кассетного типа (корпусные)


Щелевые затворы кассетного типа имеют стандартную конструкцию с двумя крепежными фланцами, монтируются непосредственно к фланцам технологической установки (как проходная запорная арматура), разделяя камеры, которые необходимо вакуумно плотно изолировать друг от друга. Привод - пневматический, двухстороннего действия. Диаметр подложек, которые можно передать через затвор, - 300 мм (12 дюймов).

XGT222 вид со стороны седла затвора
XGT311 вид со стороны седла затвора

Щелевой затвор кассетного типа A
мм
B
мм
Порт подачи воздуха Вес,
мм
Размер подложки
мм (дюймы)
XGT222-32222 222 32 M5x0.8 12 200 мм (8")
XGT222-46236 236 46 M5x0.8 12 200 мм (8")
XGT312-50336 336 50 Rс1/8 20 300 мм (12")




• ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ВАКУУМНЫХ ЩЕЛЕВЫХ ЗАТВОРОВ

Материал уплотнения седла затвора: - FKM (витон)в стандартном исполнении
Привод штока затвора сильфонный
Тип привода затвора: пневматический, двухстороннего действия
Рабочее давление воздуха: 4.5-6 бар
Время открытия/закрытия: 0.6-1.0 сек
Диапазон давлений, на который рассчитан затвор: 7.5х103 - 1x10-8 Торр
Разность давлений (для открытия затвора): 40 Торр и менее
Рабочая температура: 5-150оС (Затвор)
5-60оС(привод)
Натекание по гелию (при диф. давлении 7.5х103 Торр): 6.5×10-10 Па м3/сек (уплотнение - FKM)
Натекание по гелию внешнее: 6.5×10-11 Па м3/сек
Гарантированное количество циклов (откр./закр): не менее 2000000
Дополнительное оборудование/варианты исполнения: - индикаторы закрытого/открытого состояния
- уплотнение Kalrez - по заказу
- встроенный нагреватель
- исполнение в стандарте MESK (Half MESK, Full MESK)