| Главная > Вакуумные затворы > Щелевые затворы > Щелевые затворы кассетного типа (корпусные) > |
Щелевые затворы кассетного типа (корпусные)
|
|
Щелевые затворы кассетного типа имеют стандартную конструкцию с двумя крепежными фланцами, монтируются непосредственно к фланцам технологической установки (как проходная запорная арматура), разделяя камеры, которые необходимо вакуумно плотно изолировать друг от друга. Привод - пневматический, двухстороннего действия. Диаметр подложек, которые можно передать через затвор, - 300 мм (12 дюймов).
|
 |
 |
 |
| XGT222 |
|
вид со стороны седла затвора |
 |
 |
 |
| XGT311 |
|
вид со стороны седла затвора |
| Щелевой затвор кассетного типа |
A
мм |
B
мм |
Порт подачи воздуха |
Вес,
мм |
Размер подложки
мм (дюймы) |
| XGT222-32222 |
222 |
32 |
M5x0.8 |
12 |
200 мм (8") |
| XGT222-46236 |
236 |
46 |
M5x0.8 |
12 |
200 мм (8") |
| XGT312-50336 |
336 |
50 |
Rс1/8 |
20 |
300 мм (12") |
• ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ВАКУУМНЫХ ЩЕЛЕВЫХ ЗАТВОРОВ
| Материал уплотнения седла затвора: |
- FKM (витон)в стандартном исполнении |
| Привод штока затвора |
сильфонный |
| Тип привода затвора: |
пневматический, двухстороннего действия |
| Рабочее давление воздуха: |
4.5-6 бар |
| Время открытия/закрытия: |
0.6-1.0 сек |
| Диапазон давлений, на который рассчитан затвор: |
7.5х103 - 1x10-8 Торр |
| Разность давлений (для открытия затвора): |
40 Торр и менее |
| Рабочая температура: |
5-150оС (Затвор)
5-60оС(привод) |
| Натекание по гелию (при диф. давлении 7.5х103 Торр): |
6.5×10-10 Па м3/сек (уплотнение - FKM) |
| Натекание по гелию внешнее: |
6.5×10-11 Па м3/сек |
| Гарантированное количество циклов (откр./закр): |
не менее 2000000 |
| Дополнительное оборудование/варианты исполнения: |
- индикаторы закрытого/открытого состояния
- уплотнение Kalrez - по заказу
- встроенный нагреватель
- исполнение в стандарте MESK (Half MESK, Full MESK)
|
|
|
давления
