Научно-производственная компания "АВАКС" | Вакуумное оборудование, напыление покрытий | Вакуумные затворы

Фланцы вакуумные

Уплотнения

вакуумные

Монтажные

Щелевые затворы

Щелевые затворы кассетного типа (корпусные)

Щелевые затворы кассетного типа имеют стандартную конструкцию с двумя крепежными фланцами, монтируются непосредственно к фланцам технологической установки (как проходная запорная арматура), разделяя камеры, которые необходимо вакуумно плотно изолировать друг от друга. Привод - пневматический, двухстороннего действия. Диаметр подложек, которые можно передать через затвор, - 300 мм (12 дюймов).

Щелевые затворы открытого типа (бескорпусные)

Щелевые затворы открытого типа имеют один фланец для присоединения к вакуумной установке, конструкция затвора позволяет использовать его для вакуумно плотной изоляции портов, расположенных в вакуумном объеме установки. Привод - пневматический, двухстороннего действия. Тип уплотнения привода - сильфонный. Диаметр подложек, которые можно передать через затвор, - 300 мм (12 дюймов).