| Главная > Вакуумные затворы > Щелевые затворы > |
Щелевые затворы
 | Щелевые затворы кассетного типа (корпусные)
Щелевые затворы кассетного типа имеют стандартную конструкцию с двумя крепежными фланцами, монтируются непосредственно к фланцам технологической установки (как проходная запорная арматура), разделяя камеры, которые необходимо вакуумно плотно изолировать друг от друга. Привод - пневматический, двухстороннего действия. Диаметр подложек, которые можно передать через затвор, - 300 мм (12 дюймов). |
 | Щелевые затворы открытого типа (бескорпусные)
Щелевые затворы открытого типа имеют один фланец для присоединения к вакуумной установке, конструкция затвора позволяет использовать его для вакуумно плотной изоляции портов, расположенных в вакуумном объеме установки. Привод - пневматический, двухстороннего действия. Тип уплотнения привода - сильфонный. Диаметр подложек, которые можно передать через затвор, - 300 мм (12 дюймов). |
|
давления
