Активные емкостные датчики ReBorn RBM350 с термокомпенсацией
Прецизионное измерение давления (точность - до 0,25%);
Независимость измерений от типа газа;
Аналоговый (0-10 В) выход;
Керамический сенсор (чувствительный элемент);
Возможность использования в автоматизированных системах управления;
Простота монтажа (установки)
• ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ
Емкостные датчики (также называемые "баратронами" по наименованию серии приборов MKS Instruments) обеспечивают прецизионное измерение остаточного давления (предназначены для низкого и среднего вакуума, от атмосферного давления до 1×10-4 Торр).
• ВАРИАНТЫ ИСПОЛНЕНИЯ
Емкостные датчики RBM350 выпускаются в термокомпенсированном исполнении и позволяют производить измерение давления с точностью 0.25%.
Датчики RPM350 различаются диапазоном измерения (хх, см. раздел "Технические характеристики") и присоединительными фитингами:
– RBM350xxT1 - фланцевое присоединение ISO-KF16
– RBM350xxT2 - фланцевое присоединение CF16
– RBM350xxT3 - трубка OD1/2" под компрессионное соединение
– RBM350xxT4 - тип присоединения VCR: MVCR1/4"
– RBM350xxT5 - тип присоединения VCR:FVCR1/4"
– RBM350xxT6 - тип присоединения VCR:FVCR1/2"
• ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ЕМКОСТНЫХ ДАТЧИКОВ RBM350xxT (x=13,12,11,10,01) (с термокомпенсацией)
Характеристика / Параметр
Ед.изм
RBM35013T
RBM35012T
RBM35011T
RBM35010T
RBM35001T
Диапазон измерений
Торр
1000 - 1
100 - 0.1
10 - 0,01
1 - 0.001
0.1 - 0.0001
Предельное давление
бар (абс)
3
3
3
3
3
Давление разрушения
бар (абс)
5
5
5
5
5
Погрешность измерения давления
% изм.
0.25
0.25
0.25
0.25
0.25
Температурный дрейф нуля
% F.S./°C
0.005
0.005
0.005
0.005
0.005
Максимальный температурный дрейф
% F.S./°C
0,04
0,04
0,04
0,04
0,04
Разрешение
% F.S.
0,003
0,003
0,003
0,003
0,003
Время отклика
мс
30
30
30
30
130
Встроенный индикатор
–
нет
нет
нет
нет
нет
Напряжение питания, постоянное
В
14-30
14-30
14-30
14-30
14-30
Присоединительный разъем
–
DB15
DB15
DB15
DB15
DB15
Аналоговый выход
–
0.1 – 10.5
0.1 – 10.5
0.1 – 10.5
0.1 – 10.5
0.1 – 10.5
Присоединительный фитинг
–
KF16, CF16, OD½, MVCR¼, FVCR¼ или FVCR½
Габаритные размеры（длина×ширина×высота）
мм
60×60×120
60×60×120
60×60×120
60×60×120
60×60×120
Вес
г
~ 300
~ 300
~ 300
~ 300
~ 300
• ГАБАРИТНЫЕ РАЗМЕРЫ
АКСЕССУАРЫ ДЛЯ ПРИСОЕДИНЕНИЯ И ПОДКЛЮЧЕНИЯ ДАТЧИКОВ
давления
