Угловые сильфонные вакуумные клапаны с пневматическим управлением XLD (фланцы ISO-KF, корпус из Al сплава, P2)
XLD-xx, XLDV-xx

Высокая надежность при низкой стоимости; Высокая стойкость по отношению к агрессивным газам; Отсутствие загрязнений, связанных с тяжелыми металлами; Малый вес и габариты, компактность; Однородность температуры в объёме клапана при прогреве; Большой выбор опций, расширяющих возможности использования клапанов

Угловые клапаны серии XLD сильфонного типа с пневматическим приводом одностороннего действия рассчтаны на диапазон давлений от атмосферного до 1х10^-6 Па. Материал корпуса - алюминиевый сплав, сильфонного узла - нержавеющая сталь. С фланцами ISO-KF выпускаются модификации с диаметром условного прохода (ДУ) 25, 40, 50, 63, 80 мм.

Клапаны XLD-xx с DN63 и DN80 снабжены фланцами ISO-KF (не ISO-K!). Клапаны с фланцами ISO-K имеют обозначение с буквой D: XLD-xxD, подробнее>>>

В зависимости от исполнения диапазон рабочих температур составляет 5-60^оС (стандартное исполнение) или 5-150^оС (высокотемпературное исполнение, доступно не для всех модификаций). Достоинством клапанов с корпусом, выполненым из алюминия, является низкая стоимость, низкий вес, возможность использования при работе с агрессивными газами и существенно более высокая однородность температуры во внутреннем объеме клапана при его прогреве.

Угловые клапана серии XLDV имею аналогичную конструкцию и отличаются наличием дополнительного соленоида, управляющего подачей воздуха в пневмоцилиндр. Клапана XLDV не выпускаются в исполнении, предназначенном для работы при высоких темпетатурах.

Для клапанов серий XLD/XLDV предусмотрено большое количество опций: визуальный индикатор открытого состояния, встроеный нагреватель (до 100 или 120^оС), сигнализация открытого и(или) закрытого состояния, различные материалы для уплотнения седла, питание дополнительного соленоида различных стандартов.

Стандартным материалом уплотнения является FKM (фторкаучук (витон)). По заказу уплотнение клапана может быть выполнено из материалов с повышенной химической стойкостью (в том числе к агрессивным газам).

Тип/Геометрия:	тарельчатый угловой
Изоляция штока привода:	сильфонная (нерж. сталь, гидроформованный)
Внешнее уплотнение:	FKM (по заказу - другие материалы)
Уплотнение седла клапана:	FKM (по заказу - другие материалы)
Диаметр условного прохода (DN):	25, 40, 50, 63, 80 мм
Материал корпуса:	Al сплав A6063
Минимальное остаточное давление:	1×10-8 Торр
Производитель:	SMC Corp., Япония

Клапаны XLD (без пневмораспределителя)

Клапаны XLDV (с пневмораспределителем)

Характеристика (параметр)	Ед.изм.	XLDV-25	XLDV-40	XLDV-50	XLDV-63	XLDV-80
Тип привода *)	–	Н.З.	Н.З.	Н.З.	Н.З.	Н.З.
Диапазон рабочих температур	°C	5 - 50	5 - 50	5 - 50	5 - 50	5 - 50
Проводимость, главный выхлопной клапан	л/с	≥14	≥45	≥80	≥160	≥200
Проводимость, клапан предварительного выхлопа	л/с	≥ 0.5 - 3	≥2 - 8	≥2.5 - 11	≥4 - 18	≥4 - 18
Натекание, внутреннее уплотнение	м3×Па/с	≤1.3×10-10 (при нормальных условиях)
Натекание, внешнее уплотнение	м3×Па/с	≤1.3×10-11 (при нормальных условиях)
Диапазон давлений	Па	от атмосферного до 1×10-5
Присоединительные фланцы	–	KF25	KF40	KF50	KF63	KF80
Рабочее (управляющее) давление воздуха	МПа	0.4-0.7	0.4-0.7	0.4-0.7	0.4-0.7	0.4-0.7
Масса	кг	0.57	1.1	1.9	3.5	5.7
Материал корпуса	–	Al сплав A6063
Материал сильфона	–	нержавеющая сталь AISI316L
Материал уплотнений	–	фторкаучук (FKM, витон)
Присоединительные порты для подачи давления воздуха	–	M5	M5	M5	M5	M5
Присоединительные порты для сброса давления воздуха	–	M5	M5	M5	M5	M5
Время закрытия **)	сек	0.1	0.21	0.24	0.26	0.28
Ресурс, циклов	–	не менее 2 млн. циклов

Примечания:

*)	Н.З. - нормально закрытый.
**)	При управляющем давлении 0,5 МПа.

Клапаны XLD (без пневмораспределителя)

Клапаны XLDV-25 (c пневмораспределителем)

Клапаны XLDV-xx, xx = 40-80 мм (c пневмораспределителем)