Модернизация вакуумных установок

Общие сведения

Задачей модернизации является создание установки (или оснащение установки отдельной системой или системами), соответствующей современным технологическим требованиям, по своим характеристикам (в том числе по показателям надежности) не уступающей западным аналогам и приспособленной к технологическому процессу, необходимому заказчику.

Степень модернизации установки может быть различна, она зависит от конкретных пожеланий заказчика. При глубокой модернизации выполняется комплекс работ, охватывающий все без исключения системы установки. В качестве комплектующих мы используем детали и узлы, являющиеся на настоящий момент стандартными для промышленного технологического оборудования и рассчитанные на продолжительный срок эксплуатации.

При проведении работ по модернизации вакуумного оборудования, в зависимости от типа и состояния оборудования, от целей и задач, поставленных заказчиком, возможны следующие варианты:

• улучшение технических характеристик одной или нескольких систем установки;
• замена одной или несколько систем установки новыми, разработанными на основе современных комплектующих, в том числе комплектующих ведущих мировых производителей;
• оснащение вакуумного оборудования новыми дополнительными системами и узлами, не входившими ранее в состав установки и необходимыми для постановки технологического процесса, необходимого заказчику;
• изменение функционального назначения установки.

При проведение комплекса работ, затрагивающего все системы установки, в результате модернизации фактически создается новая современная установка, соответствующая современным технологическим требованиям и требованиям надежности. В последнем случае от новой установки “модернизированная” отличается только более низким уровнем вложения финансовых средств.

При проведении работ по модернизации используется индивидуальный подход к решению каждой задачи, позволяющий полностью учесть все требования и пожелания заказчика, связанные с функциональным назначением установки, ее конструкцией, особенностями технологических процессов, для проведения которых она предназначена. Большой опыт разработки технологических процессов и оборудования позволяет нам выбирать оптимальные варианты комплектации установок и их систем, а также оптимизировать затраты на проведение модернизации. Работы выполняются на основе технического задания, разработанного совместно с заказчиком.

Результаты модернизации

Технологическим результатом проведения работ по модернизации является возможность осуществления всех необходимых заказчику технологических процессов на модернизированном оборудовании. В случае, если при модернизации осуществляется автоматизация технологических процессов, уменьшается вероятность ошибок оператора и повышается выход годных.

Техническим результатом модернизации является система установки или установка в целом, выполненная с использованием современных комплектующих, технические параметры которой не уступают оборудованию или компонентам ведущих производителей нового вакуумного оборудования.

Финансовым результатом модернизации является экономия (более чем в 2 раза) финансовых средств.

Модернизация имеющегося оборудования, проведенная на высоком техническом уровне, является во многих случаях не только единственно возможным выходом из положения, но и удачным решением, альтернативным приобретению нового вакуумного оборудования.

Пример модернизации

Пример бюджетной модернизации “средней глубины”, проведенной с установкой вакуумного напыления УВН-71П 1980 года выпуска с изменением функционального назначения установки, приведен на фотографиях справа.

Модернизированная установка укомплектована следующими системами:

• системой магнетронного распыления (2 магнетрона постоянного тока с диаметром мишени 90 мм, рабочий ток до 3 А, рабочее напряжение 300-400 В)
• системой резистивного испарения (2 испарителя на одной позиции напыления);
• системой нагрева до 300^оС на основе галогенных источников излучения с измерением температуры;
• одноканальной системой подачи рабочего газа;
• системой поддержания постоянного давления в вакуумной камере;
• системой автоматического перевода карусели на заданную оператором позицию напыления;
• системой контроля толщины осаждаемых покрытий на основе кварцевого резонатора;
• защитными экранами.

Назначение установки – изготовление омических контактов к GaAs и другим полупроводникам. Возможно осаждение 4-х типов покрытий в одном вакуумном цикле, предусмотрена возможность соиспарения с резистивных позиций. Управление системой откачки и технологическими процессами - ручное.