Сильфонные вакуумные затворы с пневматическим приводом

Вакуумные затворы с фланцами ISO-KF используются в высоковакуумных и сверхвысоковакуумных магистралях и системах с небольшим диаметром условного прохода (до 50 мм) в качестве компактной запорной арматуры. Имеют пневматический привод двойного действия (подача давления в исполнительный пневмоцилиндр необходима как для открытия затвора, так и для его закрытия). Трехпозиционные затворы могут использоваться для дросселирования откачки. Присоединяются к вакуумной системе с помощью хомутов ISO-KF и центрующих колец с уплотнением. Материал вакуумных затворов - нержавеющая сталь, уплотнение "тарелки" затвора - витон (FKM). По конструкции можно выбрать из шиберных или дисковых.

Вакуумные затворы с фланцами ISO-F, ISO-K используются в высоковакуумных и сверхвысоковакуумных магистралях и системах с диаметром условного прохода от 63 мм и более в качестве запорной арматуры. Имеют пневматический привод двойного действия (подача давления в исполнительный пневмоцилиндр необходима как для открытия затвора, так и для его закрытия). Присоединяются к вакуумной системе к фланцам ISO-F или к фланцам ISO-K с помощью односторонних струбцин или накидных фланцев ISO-F со стопорными кольцами. Центрующие кольца с уплотнением обеспечивают вакуумно-плотное соединение. Материал вакуумных затворов - нержавеющая сталь или Al сплав, уплотнение "тарелки" затвора - витон (FKM).

Вакуумные затворы с фланцами CF ("conflat") используются в сверхвысоковакуумных магистралях и системах с диаметром условного прохода от 40 до 320 мм в качестве проходной запорной арматуры (в том числе компактной). Присоединяются к вакуумной системе с аналогичным фланцам стандарта CF с использованием медных уплотнений (прокладок). Имеют пневматический привод двойного действия (подача давления в исполнительный пневмоцилиндр необходима как для открытия затвора, так и для его закрытия). Материал вакуумных затворов - нержавеющая сталь, уплотнение "тарелки" затвора - витон (FKM).

Используются в технологических высоковакуумных и свервысоковакуумных установках для вакуумно плотной изоляции камер (или портов) установки, а также для организации процессов шлюзования (загрузки, передачи в вакууме). Основная область применения - в полупроводниковом исследовательском и промышленном оборудовании. Имеют пневматический привод двухстороннего действия (давление воздуха подается в исполнительный пневматический цилиндр затвора как для его открытия, так и для его закрытия). Материал основных компонентов щелевого затвора - нержавеющая сталь. Рассчитаны на использование для передачи подложек диаметром до 12 дюймов (300 мм).