Дополнительная магнитная система, позволяющая использовать мишени меньшего размера;
Любое расположение в вакууммной камере;
Компактные размеры;
Монтажное отверстие для вводов охлаждения диаметром от 17 мм;
Использование мишеней прямого и косвенного охлаждения;
Возможность распыления магнитных материалов;
Широкий диапазон давлений рабочего газа;
Широкий диапазон скорости распыления;
Простота монтажа в серийное отечественное оборудование для нанесения покрытий, в том числе в установки типа УВН, УРМ и другие.
Общие сведения
Вводы охлаждения магнетронов наружным диаметром 6 мм выполнены гибкими трубками из нержавеющей стали, что позволяет легко располагать и монтировать магнетроны в любом удобном месте вакуумной камеры.
Устройства магнетронного распыления могут быть укомплектованы фланцами, обеспечивающими подачу и слив охлаждающей жидкости, в том числе фланцами, выполненными по техническому заданию заказчика. Минимальный размер монтажного отверстия в вакуумной камере для размещения фланца, обеспечивающего
подвод обеих трубок охлаждения, составляет 17 мм.
Варианты исполнения
Семейство устройств магнетронного распыления АВ5110 имеет унифицированный корпус диаметром 120 мм и включает в себя магнетроны постоянного тока для работы с мишенями непосредственного и (или) косвенного охлаждения. Отличительной особенностью семейства АВ5110 является наличие дополнительной магнитной системы, причем конструкция магнетронов позволяет обеспечить замену основной магнитной системы на дополнительную без демонтажа его корпуса из вакуумной камеры. Дополнительная магнитная система позволяет использовать мишени меньшего размера, что полезно, например, при распыленмии дорогостоящих материалов.
АВ5110 магнетрон постоянного тока для работы с мишенями косвенного охлаждения основной и дополнительной магнитной систем;
АВ5111 магнетрон постоянного тока для работы с мишенями непосредственного охлаждения основной магнитной системы и косвенного охлаждения дополнительной магнитной системы;
АВ5112 магнетрон постоянного тока для работы с мишенями косвенного и непосредственного охлаждения основной магнитной системы и косвенного охлаждения дополнительной магнитной системы.
Основные технические характеристики
Параметр
Ед.изм.
Устройства магнетронного распыления семейства АВ5110
Назначение:
–
Распыление проводящих мишеней
Тип:
–
Магнетрон постоянного тока
Габаритные размеры корпуса магнетрона:
мм
Ø120 × 25
Способ монтажа в вакууммной камере:
–
На одной стойке
Kоличество вводов охлаждения:
шт
2
Способ монтажа вводов охлаждения:
–
С использованием фланцев семейства АВ3710 или посредством иного вакууммно плотного соединения
Внешний диаметр вводов охлаждения:
мм
Ø6 ± 0.1
Тип магнитной системы:
–
Постоянные магниты
Количество сменных магнитных систем:
шт
2, основная магнитная система (ОМС) и дополнительная магнитная система (ДМС)
Вся информация о товарах, услугах и ценах, предоставленная на данном интернет-сайте, носит исключительно информационный характер и
ни при каких условиях не является публичной офертой, определяемой положениями Статьи 437 Гражданского кодекса Российской Федерации.
давления
